真空烧结炉说明书.doc

第 1 页 共 8 页 真空高温烧结真空高温烧结炉炉 说说明明书书 第 2 页 共 8 页 目目 录录 1 前言前言 .3 2 设备的工作原理设备的工作原理 .3 3 技术指标技术指标 .3 4 设备构成设备构成 .4 4.1 炉体总成.4 4.2 保温套.4 4.3 感应圈总成.5 4.4 集电装置.5 4.5 真空系统.5 4.6 水冷系统.5 4.7 电控系统.5 4.8 辅助系统.6 5 安装调试安装调试 .6 6 使用操作使用操作 .6 6.1 真空操作.6 6.2 加热升温操作.7 6.3 水路系统操作.7 6.4 充气系统操作.7 6.5 破真空操作.7 6.6 炉盖升降操作.7 7 注意事项注意事项 8 8 设备的保养设备的保养 8 第 3 页 共 8 页 1 前言前言 在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项， 熟悉设备的性能、功能及使用要求 高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设备， 能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用 设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点 2 设备的工作原理设备的工作原理 本高温烧结炉的加热方式采用 石墨电阻 加热，在 真空或特 定气氛条件下 利用石墨电阻发热 ，对物料进行加热 来达到工 艺要求。

3 技术指标技术指标 极限真空度：6.6×10-4 Pa； 系统漏率：停泵关机后残余气体压力≤0.66Pa/h； 工作区尺寸：立式加热区 Ø280×450mm（H） 均温区尺寸：Ø 180×220mm（H） 工作区温度：最高加热温度 2200℃； 工作区加热温度速率范围：≤35℃/Min； 第 4 页 共 8 页 4 设备构成设备构成 设备构成包括：炉体总成、保温套、石墨发热体、集电装置、 真空系统、水冷系统、变压器、电控系统及充气等辅助设备组成 4.1 炉体总成炉体总成 炉体采用圆形上开盖结构，炉体材质采用内、外层不锈钢 （304）结构炉盖上设有视察；炉体侧面设有真空管道、充气阀、 排气阀、进电法兰等接口，炉体底部留有安装等用的法兰接口 测温采用钨铼热偶作为测温热偶，热偶通过气缸推进，温度低 于 1000℃时采用钨铼测温，高于 1000℃气缸退出，红外测温显示温 度 4.2 石墨发热体石墨发热体 保温套侧面由三层石墨碳毡围成筒形，碳毡外有 2 层硅酸铝纤 维毡，外面有不锈钢壳组成底面由多层石墨碳毡，碳毡上面用石 墨板做支撑组成，整体放在炉腔内能完成保温功能 第 5 页 共 8 页 4.3 石墨发热体石墨发热体 石墨发热体放在保温层内，它是右 12 根石墨棒通过上下石墨圈 组合而成，石墨棒下端通过三根石墨电极引入三相电。

通过低电压 大电流使石墨发热 4.4 集电装置集电装置 集电装置由法兰板、进电铜管、铜排及附属零部件组成，其作 用主要满足将变压器与石墨发热体连接在一起完成电和水的供给 4.5 真空系统真空系统 真空系统由 KT-400 扩散泵、2X-70 旋片泵和相应的真空阀门、 管道组成主要满足炉腔所需的真空度要求且管路各段设置必要 的检漏接口 4.6 水冷系统水冷系统 水冷系统由水排、各分水路、阀门、压力表等组成 4.7 电控系统电控系统 控制方式：具备自动和手动控制功能自动控温仪表，可设定多 条升降温曲线采用日本岛电公司 FP93 温控器进行程序加热控温， 可编写 12 组工艺曲线，每级工艺曲线包括 20 段工序；采用进口红 外测温仪进行测温和钨铼热偶测温 第 6 页 共 8 页 5 安装调试安装调试 5.1 安装调试前先按设备的总图、地基图、水电气系统图正确恢复安 装 5.2 连接好内部和外部供给的水、电、气 5.3 进一步核对确认各个部位的连接关系及正确性 5.4 设备使用前各个控制开关均处在关闭或指定的位置，启动供水供 电供气系统，保证设备的水电气供给 6 使用操作使用操作 设备此时满足安装调试后的待工作条件。

6.1 真空操作真空操作 先关闭放气、充气阀、盖上炉盖、关闭所有的真空阀门，启动 机械泵并开启对应的阀门，对炉体进行抽真空，当真空度达到小于 等于 10Pa 时开启扩散泵，直至炉腔内真空度满足要求为止 6.2 加热升温操作加热升温操作 中频电源通电前检查水路是否正常，先将电源功率调节旋钮旋 至最小，做合主控开关、启动控制电源等准备工作，按启动电源按 钮启动电源，通过调节功率调节旋钮改变输出功率的大小来控制炉 第 7 页 共 8 页 内温度满足手动升温要求；另外将电源控制打到自动控制工位，通 过温控表的 PID 调节实现自动控温的目的 6.3 水路系统操作水路系统操作 水路系统由设备的循环水系统与用户的循环水系统对接组成完 整的水路循环系统，其操作是非经常性的，在设备正常工作条件下 无需对其进行操作 6.4 充气系统操作充气系统操作 按照具体工艺要求控制执行 6.5 破真空操作破真空操作 在关闭真空阀门且炉腔需破真空的条件下，打开放气阀对炉腔 放气至炉内外大气压力平衡 6.6 炉盖升降操作炉盖升降操作 在炉腔内破真空且炉内外压力平衡的条件下，启动炉盖升降按 钮实现炉盖升降 7 注意事项注意事项 7.1 为保证设备正常运行，工作中决不允许循环水中断。

7.2 在设备出现真空度急剧降低等各种异常现象时，按要求进行停机 第 8 页 共 8 页 检修和排除故障 7.3 设备运行过程中不可靠近和触摸带电部位，以防触电 7.4 长时间停炉不工作，真空室内要保持真空状态 7.5 用户循环水量不低于设备的总用水量 7.6 真空压力表压力达到最低时开启真空计 7.7 确保通入炉内的气体在安全纯度的比例范围内 8 设备的保养设备的保养 8.1 设备安装场地要通风良好，无腐蚀性气体 8.2 设备的各种配套的电器元件按各自的说明书进行维护和保养 8.3 每月要进行定期的常规检修和保养，半年或一年对设备进行必要 的大修 8.4 要经常检查设备有无异常情况，保证设备的良好运行 8.5 保证润滑部位润滑良好。