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颗粒污染现象也好于APCVDPECVD工艺是典型的表面反应速率控制淀积方法，需要精确控制衬底温度最大特点是工艺温度较低，所淀积薄膜的台阶覆盖性、附着性也好于APCVD和PECVD但薄膜一般含有氢等气体副产物，质地较疏松，密度低2. 有一特定LPCVD工艺，在700℃下受表面反应速率限制，激活能为2eV，在此温度下淀积速率为100nm/min试问800℃时的淀积速率是多少?如果实测800℃的淀积速率值远低于所预期的计算值，可以得出什么结论？可以用什么方法证明？已知，薄膜淀积速率由表面反应控制时，有：G 1/k=5040K/eV ksCsksCTY E/kT，ks k0ea, NNG1e Ea/kT1 Ea/kT2 eEa(kT2 kT1)，Ea＝2eV, 1/kT1=5.18 eV-1, 1/kT2=4.70 eV-1 由此可得：G2e得800℃时的淀积速率是: G2 100 e2(5.18 4.70) 262（nm/min）如果实测值远低于所预期的计算值，表明该工艺在此温度范围不是受表面反应速率限制，而是气相质量输运速率限制，或在700~800℃范围内出现淀积速率由表面反应速率限制向气相质量输运速率限制的转变。

而在气相质量输运速率限制温区，温度升高淀积速率只有小幅增加可通过实测淀积速率反推温度，在所得温度之上进行LPCVD淀积，再测淀积速率，如果和800℃时的淀积速率接近，就表明上述分析是正确的3. 薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率非常慢，因此常作为硅片定域KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜，而PECVD氮化硅薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率快怎样才能用已淀积的PECVD氮化硅薄膜作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜？答：PECVD氮化硅薄膜含H、质地疏松，抗KOH水溶液中的腐蚀性能差可通过高温退火，使H逸出，薄膜致密化，从而提高抗腐蚀性，就能作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜退火温度约800℃，20min，即LPCVD氮化硅工艺温度如效果不理想，可升温延长时间4. 标准的卧式LPCVD的反应器是热壁式的炉管，衬底硅片被竖立装在炉管的石英舟上，反应气体从炉管前端进入后端抽出，从炉管前端到后端各硅片淀积薄膜的生长速率会降低，那么每个硅片边缘到中心淀积薄膜的生长速率将怎样?如何改善硅片之间和硅片第1页下一页Word文档免费下载：微电子习题答案(第3单元)（共4页，当前第1页）你可能喜欢· 制造技术· 毛概课后习题答案· 滑轮习题答案· 数据结构习题答案· 塑性力学习题答案· 补充习题答案· 应用光学习题答案· 基础化学习题答案· 先进制造技术7页· 机械制造技术基础题库7页· 先进制造技术答案3页· 先进制造技术复习3页· 先进制造技术问题和答案32页更多与“制造技术”相关的内容>>· 毛概课后习题答案56页· 毛概课后习题答案5页· 毛概课后习题答案26页· 大学毛概课后习题及其答案32页· 毛概课后习题答案13页更多与“毛概课后习题答案”相关的内容>>· 滑轮组习题及答案9页· 滑轮组习题含答案ppt15页· 滑轮组习题及答案3页· 滑轮习题及答案3页· 杠杆滑轮习题及答案10页更多与“滑轮习题答案”相关的内容>>· 严蔚敏《数据结构(c语言版)习题集》答案第六章树和二叉树文库9页· 数据结构(C语言版)习题及答案第四章9页· 数据结构(C语言版)习题及答案第九章7页· 数据结构(C语言版)习题及答案第二章10页· 数据结构(C语言版)第一二章习题答案9页更多与“数据结构习题答案”相关的内容>>· 弹性力学及塑性力学习题及答案河海张国荣18页· 弹塑性力学习题题库及答案24页· 材料力学第四版 II课后习题答案——配套孙训方教材(II-第2章考虑材料塑性的极限分析)5页· 弹塑性力学习题题库加答案24页· 弹塑性力学习题题库加答案24页更多与“塑性力学习题答案”相关的内容>>· 苏教版二年级下册补充习题识字7答案2页· 语文三下补充习题答案13页· 苏教版五年级下册语文《补充习题》答案7页· 第三章_向量与线性方程组补充习题答案8页· 第二章矩阵补充习题(含答案)6页更多与“补充习题答案”相关的内容>>· 光学信息技术原理及应用课后重点习题答案28页· 物理光学与应用光学第二版课件及课后习题答案61页· 应用光学习题及答案6页· 物理光学与应用光学第二版课件及课后习题答案2页· 光学信息技术原理及应用课后重点习题答案28页更多与“应用光学习题答案”相关的内容>>· 结构化学基础习题答案_周公度_第4版161页· 结构化学基础习题答案_周公度_第4版161页· 化学工程基础习题答案(武汉大学__第二版)30页· 界面化学基础习题参考答案22页· 基础生物化学习题有答案8页更多与“基础化学习题答案”相关的内容>>微电子习题答案(第3单元)的相关文档搜索· 微电子器件习题答案· 有限单元法习题答案· 单元音练习题及答案· 微电子概论习题· 微电子器件习题· 微电子器件可靠性习题· 物理3 2课后习题答案· 数学必修2习题3.3答案微电子习题答案(第3单元)相关文档· 微电子习题答案(第1单元)1/2 同系列文档朝鲜历届领导人资料朝鲜现状为什么南会分裂朝鲜的近代史微电子习题答案(第2单元) 微电子习题答案(第3单元)1/2 相关文档推荐...· 微电子习题答案(第2单元)1/2 同系列文档朝鲜历届领导人资料朝鲜现状为什么南会分裂朝鲜的近代史微电子习题答案(第1单元) 微电子习题答案(第3单元)1/2 相关文档推荐...· 微电子学概论复习题及答案(详细版)微电子学一二三章复习题暂无评价 2页 2下载券数据库系统概论第四版期......由此可形成用户自己的单元库; 单元库:一组单元电路的集合; 经过优化设计、并...· 第3单元习题答案第3单元习题答案_理学_高等教育_教育专区。

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