pecvd桨的位置设定剖析.ppt

PECVD桨位置设定,培训要点,桨的运动分类 桨的水平位置的设定 桨的垂直位置的设定 桨开炉门时的位置的设定,,,桨,桨运动分类,桨由碳化硅材料制成，具有耐高温等性能作用是将石墨舟放入或取出石英管 桨运动可分为： 1、EFM水平运动; 2、SLS垂直运动.,桨的水平位置的设定,步骤1、 进入CEASAR界面，如下图图5,,步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图桨的水平位置的设定,,步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图步骤5、点击setpoint出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）,如下图 minimum=0mm、maximum=2082mm、default（默认值）=0 mm.,,,,2 桨的垂直位置 桨的垂直位置可分为上位和下位（作用是将舟在炉管托起和放下的作用）,PECVD桨的垂直位置的设定,桨的上下位设置,步骤1、 进入CEASAR界面，如下图,,,,,步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图,,,,图15,步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图,,步骤4、点击SLS出现下图的状态（进入对桨的上下位设定）,图16,,步骤5、点击setpoint出现图下的状态（进入对桨的上下位值的设定）,图17,,,步骤6、点击GoUp出现下图的状态（进入桨的上位设定）,图18,点击GoDown出现下图状态(进入对桨的下位设定）,图19,PECVD开炉门桨的位置设定,,步骤1、 进入CEASAR界面，如下图,,,步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图,,,,步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图,,,步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图,,,,步骤5、点击setpoint出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）。

步骤6、输入22 出现下图的状态（进入开炉门时桨的位置的设定）,,开炉门时的状态,THANK YOU,。