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双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法.doc

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双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法双电容接口式微机械陀螺的信号检测方法在研究双电容接口式微机械陀螺构造与分析^p 传统差分电容检测方法对其驱动力的影响的根底上,提出了一种合适于该陀螺的新型信号检测方法,此方法具有两个显著特点:第一,可以使公共电容极板偏置到零电压,消除其对驱动力的影响,进而进步微机械陀螺的.系统灵敏度;第二,可以消除直流电压的不匹配以及失调电压对输出信号的影响.最后,通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性.作者：莫冰刘晓为谭晓昀尹亮丁学伟汤佳郁 MO Bing LIU Xiao-wei TAN Xiao-yun YIN Liang DING Xue-wei TANG Jia-yu 作者单位：哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001 刊名：传感技术学报 ISTIC PKU英文刊名：CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS 年，卷(期)：2023 19(5) 分类号：V2 【关键词】：^p ：微机械陀螺驱动力双电容接口信号检测第页共页。

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