便携式真空计校准装置系统介绍.docx

便携式真空计校准装置系统介绍 便携式真空计校准装置主要由校准室、抽气系统、进气系统三部分组成，整体尺寸为450mm×400mm×750mm，总重量小于40kg，装置的外形如图1所示 图1校准装置外观图 便携式真空计校准装置的原理构造如图2所示，RP为机械泵；TMP为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3分别是直径约为0.02，0.1，11mm的小孔；V1、V10为截止阀；V2为全金属角阀；V3、V4、V5、V6为波纹管截止阀；V7、V9为球阀；V11为带有标准体积的阀门；G1、G4为监测真空计；G2、G3是满量程为133，1.33×105Pa的电容薄膜真空计 图2校准装置原理图 1、校准室 校准室VC1是直径为200mm的球形容器，球形构造是真空计量标准的理想构造形式，气体分子可在球内容易到达均匀分布校准室的赤道上设计了5个CF35法兰和2个8VCR接口，用于安装被校准真空计和参考标准校准室及法兰均采用SUS316L钢材制成，内表面开展了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体校准室上安装了美国INFICON公司生产的电容薄膜真空计G2和G3作为参考标准。

2、抽气系统 抽气系统由主抽气分子泵TMP、机械泵RP、全金属角阀V2、旁通抽气阀门V3、小孔C3及阀门V10等组成分子泵对氮气的标称抽速为80L/s，通过全金属角阀和校准室连接在全金属角阀和校准室之间安装了直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气小孔C3，它对氮气的流导约为10L/s分子泵前级采用标称抽速为2L/s的机械泵，在机械泵和分子泵之间安装了电磁隔断阀V1，用于旁通抽气阀门V3打开时隔离分子泵和机械泵 3、进气系统 进气系统主要由稳压室VC2和阀门V5、V6、V7、V8、V11以及小孔C1、C2等组成，其中阀门V7与气源连接稳压室VC2是体积为2L的不锈钢容器，其上安装了皮拉尼真空计G1采用静态比对法和静态膨胀法校准时，关闭阀门V8、V9后通过V7及V5(或V6)直接进气；采用动态流量法校准时，先通过阀门V7、V8向VC2中引入一定压力的气体，然后关闭V7并打开V5(或V6)后，通过V8调节由VC2引入VC1中的气体压力 相关阅读： 便携式真空计校准装置 便携式真空计校准装置系统介绍 便携式真空计校准装置的校准方法介绍 便携式真空计校准装置的校准结果与讨论 。