氦质谱检漏仪在电工电子工业中的应用精
4页1、氦质谱检漏仪在电工电子工业中的应用一、前言电工电子产品由于密封不良,将会造成产品的漏气漏液,从而降低电性能,有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象,甚至使产品破坏丧失全部功能,以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同,应对产品提出不同的密封要求,据此国家标准局于1982年批准了GB2423,2382关于“电工电子产品基本环境试验规程试验Q:密封”做为国家级标准,这个标准完全等效于国际IEC65-2-17试验Q密封的正文部分。而试验导则则完全等效于国际IEC-68-2-17试验密封的附录部分。设置本标准的目的是为了采用下述试验确定电工电子产品的密封性能。其中规定的Qa、Qf、和QI是借助于浸液方式并伴随不同的辅助手段检验实验样品的密封情况,可检漏率大于10-4Pa.m3S-1 (10-3barcm3S-1。Qc、Qd试验的可检漏年率范围在10-410-6 Pa.m3S-1(10-310-5barcm3S-1。Qk则是用氦质谱检漏仪检验微量漏气情况,它可以确定小于Pa.m3S-1的漏率。近年来由于电子工业的发展,空间探索活动的增加,检漏技术得到了快速发展,它的重要标志是将以氦为示踪气
2、体的氦质谱检漏仪已快速地进入了各个适用的领域。氦质谱检漏同其它检方法相比,除检漏方法不同之外,以它的检测灵敏度高、速度快,可进行定性、定量、定点的检测特别是选择无破坏性、无毒,无危险的隋性气体氦为示踪气体,使它成为今天检漏仪器当中的佼佼者。在许多科学领域和制造业中,氦质谱检漏仪已成为控制和监督产品质量的首选装备。尤其近几年来,电工电子产品的监督检验部门和生产厂家,制冷、汽车、航空、航天等行业强化“以质量求生存”的意识,他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时,不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。二、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理,以氦为示踪气体,对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动,而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离,这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检
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