《后清洗生产培训》
26页1、刻蚀刻蚀编辑课件编辑课件Rena结构Rena生产原理Inoxside界面操作与等离子刻蚀比较编辑课件编辑课件RenaRena水平刻水平刻蚀清洗机蚀清洗机1 11.1.冷水机;冷水机;5.5.上料台;上料台;2.2.上位机;上位机;6.rena6.rena柱式指示灯及其急停开关柱式指示灯及其急停开关;3.3.抽风管及其调节阀;抽风管及其调节阀;7.7.前玻璃窗前玻璃窗.4.4.集中供液柱式指示灯及其急停开关集中供液柱式指示灯及其急停开关;1532674编辑课件编辑课件RenaRena各部件功能介绍各部件功能介绍-1-11.1.冷水机冷水机:给冷却器提供冷却水给冷却器提供冷却水.2.2.上位机上位机:向向PLCPLC输入运行参数输入运行参数,监控其运行监控其运行.3.3.抽风管及其调节阀抽风管及其调节阀:排设备内废气排设备内废气,调节调节,监视抽风负压监视抽风负压.4.4.集中供液柱式指示灯及其急停开关集中供液柱式指示灯及其急停开关:柱式指示灯显示集中柱式指示灯显示集中供液运行状态供液运行状态,急停开关用于应急停止集中供液设备急停开关用于应急停止集中供液设备.5.5.上料台上料台:用于设备
2、供料放硅片用于设备供料放硅片.6.rena6.rena柱式指示灯及其急停开关柱式指示灯及其急停开关:柱式指示灯显示柱式指示灯显示renarena运行运行状态状态,急停开关用于应急停止急停开关用于应急停止renarena设备设备.7.7.前玻璃窗前玻璃窗:监视设备内硅片运行情况监视设备内硅片运行情况,保护设备内气体流动保护设备内气体流动,隔绝设备尾气隔绝设备尾气.4编辑课件编辑课件Rena水平刻水平刻蚀清洗机蚀清洗机28.8.电柜;电柜;12.12.排放管道;排放管道;9.9.后玻璃盖板;后玻璃盖板;13.13.自动补液槽;自动补液槽;10.10.下料台;下料台;14.14.集中供液管路集中供液管路 ;11.11.供气,供水管道;供气,供水管道;15.15.传送滚轴传送滚轴.89101112131415编辑课件编辑课件RenaRena各部件功能介绍各部件功能介绍-2-28.8.电柜电柜:放置安装设备总电源开关放置安装设备总电源开关,各断路开关各断路开关,电脑机箱以电脑机箱以及及PLC(PLC(设备总控制器设备总控制器).).9.9.后玻璃盖板后玻璃盖板:监视设备各部件运行情况监视设备各部
3、件运行情况,保护设备内气体流保护设备内气体流动动,隔绝设备尾气隔绝设备尾气.10.10.下料台下料台:用于刻蚀后硅片卸片用于刻蚀后硅片卸片(插片插片).).11.11.供气供气,供水管道供水管道:供给设备正常运转使用的压缩空气供给设备正常运转使用的压缩空气,纯水纯水,自来水以及冷却水自来水以及冷却水.12.12.排放管道排放管道:用于排去设备废水用于排去设备废水.13.13.自动补液槽自动补液槽:用于储存设备自动运行时补偿的化学品用于储存设备自动运行时补偿的化学品.14.14.集中供液管路集中供液管路:用于集中供液向自动补液槽添加化学品用于集中供液向自动补液槽添加化学品以及以及renarena的首次加液的首次加液.15.15.传动滚轴传动滚轴:用于用于renarena设备内传送硅片设备内传送硅片.6编辑课件编辑课件Rena水平刻蚀清洗机各槽分布图1.Etch bath;5.Hf bath;2.Rinse 1;6.rinse 3DI-Water spray;3.Alkaline rinse;7.dryer 2。4.Rinse 2;1234567编辑课件编辑课件Rena各槽功能介绍 1.1
4、.上料台放片上料台放片 2.2.刻蚀槽刻边刻蚀槽刻边 3.3.洗槽去残液洗槽去残液 6.HF6.HF槽去磷硅玻璃槽去磷硅玻璃 5.洗槽去残液洗槽去残液 4.KOH喷淋去多孔硅喷淋去多孔硅 7.洗槽去残液洗槽去残液 8.风刀吹干风刀吹干 9.下料台插片下料台插片编辑课件编辑课件Rena各槽功能介绍槽名槽名 主要功能主要功能实现情况实现情况Etch-bath刻蚀硅片边缘及背面的PN结,刻蚀线不超过硅片边缘1.5mm,无刻不通现象。此槽需循环流量,刻蚀液温度,气体流动稳定。刻蚀速率下降越慢越好。风刀吹去硅片上面的刻蚀槽残液。良好Rinse 1循环喷淋水洗去刻蚀后吸附在硅片上的刻蚀液,并风刀吹去积在硅片上的洗槽槽液。良好Alkaline-rinseKOH喷淋去除硅片表面的多孔硅及其杂质,去除扩散形成的染色.并风刀吹去积在硅片上面的KOH残液。KOH溶液依靠冷却水降温保持在20左右。良好Rinse 2循环喷淋水洗去去多孔硅后吸附在硅片上的碱液,并风刀吹去积在硅片上的洗槽槽液。良好Hf-bathHF循环冲刷喷淋去除硅片表面的磷硅玻璃,并风刀吹去积在硅片上的HF残液良好Rinse 3循环喷淋水洗去去
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