新兴产业链图谱
11页1、IC制造单晶硅制片前道工艺IC设计抛光离子注入薄膜沉积刻蚀扩散光刻金属化氧化热处理激光退火涂胶测量光刻显影干刻湿刻去胶清洗PVD/溅射热处理清洗离子注入去胶清洗CMP抛光刷片清洗测量PVD/溅射CVD电镀清洗CVD制片拉晶精制晶棒检测晶棒裁切晶棒成长外径研磨研磨圆边切片封测PCMP抛光喷砂去疵化学蚀刻清洗封装检测背面减薄晶圆切割贴片引线键合模塑电镀切筋成型成品测试进料检测晶圆安装芯片粘接引线键合注塑电镀去溢料切筋/成型终测背面研磨测量剥膜晶圆清洗光学检测光学检测烘烤检测贴膜晶圆切割固化清洗激光打标电镀退火光学检测清洗设备氧化扩散炉RTP快速热处理设备激光退火设备涂胶/显影设备CD-SEM扫描电子显微镜光刻机涂胶/显影设备等离子刻蚀机湿法刻蚀机等离子去胶机清洗设备化学气相沉淀设备(气相外延炉)物理气相沉淀设备RTP快速热处理设备离子注入机等离子去胶机清洗设备刷片机清洗设备测量设备物理气相沉淀设备化学气相沉淀设备(气相外延炉)电镀设备清洗设备微波/等离子清洗机封装设备检测设备分选机晶圆安装机贴片机键合封装设备注塑机电镀设备切筋成型设备测试机/探针台/AOI激光探针台切割减薄机测量仪剥膜机清
2、洗设备测试机/探针台测试机/探针台/AOI烤炉X-ray设备贴膜机划片机烤箱等离子体清洗机退火炉测试机/探针台/AOI封装测试应用场景模拟检验电路布局规格制定逻辑设计EDAIP核PC医疗通信物联网消费电子信息安全汽车新能源工业互联数据中心自动驾驶AR/VR晶圆、特种气体光罩显影液特种气体光刻胶刻蚀液超净高纯化学试剂特种气体靶材超净高纯化学试剂超净高纯化学试剂靶材CMP抛光液、抛光垫超净高纯化学试剂特种气体电镀液超净高纯化学试剂研磨液/砂轮封装基板/引线框架键合丝塑封料、胶、磨具等电镀液蓝膜划片刀/划片液特种气体特种气体多晶硅半导体材料第一代:锗、硅第二代:砷化镓、磷化铟第三代:碳化硅、氮化镓后道工艺中游零部件上游原材料下游整车制造后市场服务供应与运营二手车交易汽车租售汽车金融汽车保险汽车维护养护汽车拆解回收锂电设备正极材料负极材料电解液隔膜其他电池包装镍酸锂锰酸锂三元材料磷酸铁锂钴酸锂碳酸锂钛酸锂碳材料石墨材料溶剂六氟磷酸锂溶剂聚丙烯PP聚乙烯PE极耳导电剂铝箔铜箔动力电池电控系统驱动电机碳化硅稀土PCB板IGBT芯片铁矿钴粉永磁材料硅钢片新能源汽车热管理系统电机控制器电池管理系统整车
3、控制器电路系统配电模块连接器充电模块直流换流器变频器继电器变速器半导体元件Pack车身及其附件方向盘车窗玻璃座椅后视镜仪表盘车灯等底盘车轮减震器刹车片后视镜转动轴车桥等汽车电子车载电子装置电子控制系统电容器阻燃剂轻量化BMS其他部件氢能源设备电子元器件新能源汽车新能源货车新能源客车新能源乘用车新能源商用车按用途分类按动力系统划分燃料电池汽车插电式混合动力汽车纯电动汽车纯电商用车插电式混合动力乘用车插电式混合动力商用车燃料电池客车燃料电池货车纯电乘用车新能源汽车制造造车新势力传统车企充电站交流充电桩直流充电桩社区有序慢充公共快充换电站能源补给体系动力电池回收网络消费者经销商汽车生产商动力电池生产企业汽车销售以旧换新以旧换新车辆流通汽车报废汽车报废拆解企业电池回收动力电池回收企业原材料提取再利用梯次利用其他领域(如通信电源系统)单体电池电池系统电机电控空调系统其他电池冷却板电子膨胀阀电子水泵热交换器电子水泵散热器压缩器冷凝器蒸发器PTC电子膨胀阀管路冷凝器膨胀阀蒸发器八通阀PTC电动压缩机其他电子水泵气液分离器动力电池热管理系统中游上游下游PET基膜氟膜涂锡铜带EVA无氧铜剪切拉直醋酸乙烯
4、酯乙烯共聚电池片封装背板T门TPTPET双玻组件按结构分类半导体材料工业硅硅片单晶炉拉晶多晶炉制锭多晶硅氯化氢还原炉尾气分离回收系统热氯法-氯化炉冷氯法-流化床单晶硅单晶硅制造流程还原气体干法回收氯化氢氢化三氯化硅三氯化硅铸锭多晶单晶切片多晶切片直拉单晶还原三氯氢硅提纯三氯化硅合成硅粉1:加料6:尾部生长5:等径生长3:缩颈生长2:熔化4:放肩生长电极引出&连接电池片银浆光伏玻璃铝边框玻璃外围保护玻璃边缘层压件密封胶接线盒光伏组件冶金级(金属硅)太阳能级电子级多晶硅按纯度分晶硅组件薄膜组件TPE单玻组件80%20%95.37%4.63%双面单玻单面单玻双面双玻单面双玻铜、铟、硒砷化镓碲化镉金属硅高分子化合物非晶态硅N型电池PERCHJT/HITIBCTBCHBCTOPCon双面PERCAI-BSFP型电池单面PERC硼扩散炉板式PECVD快速烧结炉自动分选机丝网印刷设备胶粘剂涂覆型背板复合型背板涂覆/复合型背板按生产工艺分类KPK电池片检测焊接和串焊组件层叠组件层压安装边框和接线盒成品测试组件封装工艺电池生产设计设备EPC逆变器汇流箱支架蓄电池控制器储能系统跟踪系统智能集成智能踏勘智能
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