俄歇电子能谱(AES)ppt课件.ppt

电子能谱及其应用Electron Spectroscopy and Applications,中国科学技术大学理化科学实验中心 合肥微尺度物质科学国家实验室(筹),麻茂生,.,参考文献,John F. Watts 4）表面元素的化学环境和键合等方面的研究AES可提供的信息,.,UPS主要用于提供: 1）清洁表面或有化学吸附物的表面的电子结构； 2）参与表面化学键的金属电子和分子轨道的组合等信息； 3）有关电子激发和电荷转移的信息; 4）用于确定材料的功函数及费米能级的位置 广泛用于研究分子结构、构象分析、互变异构等，还可用于吸附、催化、腐蚀以及微电子学的研究工作中UPS可提供的信息,.,1.1.3、应用领域,由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子结构 电子能谱可进行表面元素的定性和定量分析，元素组成的选区和微区分析，非均相样品中元素组成的表面分布分析和深度剖析，原子和分子的价带结构分析，在某些情况下还可对元素的化学状态、分子结构等进行研究 是一种用途广泛的现代分析实验技术和表面分析的有力工具，广泛应用于科学研究和工程技术的诸多领域中。

应用领域,材料物理学键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金的构成与分凝、粘附(adhesion)、迁移(migration)与扩散； 化学化工元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化还原、光化学； 催化科学元素组成、活性、表面化学反应、催化剂中毒； 腐蚀科学吸附、分凝、气体表面反应、氧化、钝化； 材料科学电子能谱是研究各种镀层、涂层和表面处理层(钝化层、保护层等)的最有效手段，广泛应用于金属、高分子等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析 微电子技术电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件性能有很大影响 薄膜研究如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电池薄膜等层间扩散，离子注入应用XPS的工业,粘合Adhesion、农业Agriculture、汽车制造Automotive、电池Battery、生物材料Biomaterials、生物医学Biomedical、生物技术Biotechnology、罐装食品Canning、催化剂Catalyst、陶瓷Ceramic、化学制品Chemical、计算机Computer、化妆品Cosmetics、电子工业Electronics、能源Energy、环境Environmental、纤维织物Fabrics、食品Food、燃料电池Fuel cells、地质Geology、玻璃Glass、激光Laser、照明Lighting、润滑Lubrication、磁存储Magnetic storage、矿物学Mineralogy、采矿Mining、纳米技术Nanotechnology、核能Nuclear、包装Packaging、绘画Painting、纸张和木材Paper and wood、电镀Plating、聚合物与塑料Polymer and plastic、印刷Printing、记录Recording、半导体Semiconductor、钢铁Steel、纺织Textiles、薄膜涂层Thin-film coating、焊接Welding,,,,,,.,,.,XPS的典型应用,分子取向 自组装分子单层构造取向，浓度，厚度，覆盖度问题 变色表面的分析 逆向工程 表面改性 工艺过程监测 摩擦学,粘合；粘附 催化；催化作用 界面构造 表面清洁度 腐蚀/氧化 表面偏析 薄膜扩散 薄膜化学计量与层厚测算,.,.,1.2、电子能谱与表面灵敏性,一般来讲，分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。

表面分析技术以电子能谱为中心，作为信息载体的特征电子从被电子束或X射线照射的样品中发射出，然后到达能量分析器和检测器进行分析测量在电子能谱中，尽管轰击表面的X射线光子或高能电子可透入固体很深(1m)，但由于电子在固体中的非弹性散射截面很大，只有小部分电子保持原有特征能量而逸出表面可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的110 nm在固体较深处产生的电子也可能逸出，但在其逸出的路径中会与其它原子碰撞而损失能量，因而它们对分析是无用的电子能谱的表面灵敏性是在固体中输运而没有被散射的短距电子的结果 表1-1 不同粒子透入樣品的深度 粒子類型能量透入深度光子1,000 eV1,000 nm電子1,000 eV 2 nm離子1,000 eV 1 nm 实验表明电子在固体中非弹性散射截面很大，其非弹性平均自由程（具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离）很短因此只有在极浅表层中的小部分电子保持原有特征能量而逸出表面对于电子在物质中的输运，用不同的术语定义表面灵敏度 IMFP() 非弹性平均自由程具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位)，称为电子的非弹性平均自由程，在表面分析中是一个重要参数，它与电子能量和表面材料组成有关，它可用来估计具有不同特征能量的电子所携带的信息深度。

AT 衰减长度从一特殊模型中得到的具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位)，这里弹性电子散射假设是可忽略的 SD 采样深度=3检测到的电子的百分比为95%时的信息深度） 对于能量在1001000eV的电子来说，非弹性散射平均自由程的典型值在13nm的量级，此一距离对大多数材料而言约为10个原子单层1.2.1、非弹性平均自由程,.,采样深度,实验上非弹性平均自由程是非常难测量的，实际上代之以测定包含弹性散射效应的称为衰减长度的参数 对于体相材料，电子在固体内部发生非弹性散射的几率正比于在固体中的行程长度 dI = -I -1 dx 部分积分 0 63%03 95% 采样深度：,,,,.,信息深度,.,1.2.2、非弹性平均自由程的估算,M.P.Seah和W.A.Dench(1979)综合了大量实测数据，总结出以下经验公式： 对纯元素： 对无机化合物： 对有机化合物： 式中：电子能量 E 的单位是eV；体密度的单位为kg m-3；平均单层厚度nm l值有多大 (nm)?,对元素硅 lm=0.41(aE)0.5 = 8单层 ln = 2.2nm 对氧化硅 lm=0.72(aE)0.5 = 13单层 ln = 3.3nm 两种情形下l为几个nm的量级 大多数l在13.5nm范围(Al Ka),.,1.3、表面科学与表面分析技术,表面是固体与其它相的直接界面。

通常表面被认为是固体最外表的110个原子单层(0.53nm)的范围 所有固体材料都通过其表面与所处的环境发生相互作用材料表面的组成和性质将决定表面的性质固体的表面 性质极大地影响材料的固体性质，及其在预期功能中的行为表现所以彻底了解材料的表面性质和行为是十分重要的 由于表面所具有的特殊性质和表面问题与基础理论和工程技术的密切关系，使得近年来对表面问题研究异常活跃表面科学虽然诞生的历史不长，但它被认为是当今发展最快，与技术关系最密切的一门前沿科学，它涉及物理学、化学、生物技术、材料科学等许多领域表面科学研究表面和表面有关的宏观和微观过程，从原子水平来认识和说明表面原子的化学、几何排列、运动状态、电子态等性质及其与表面宏观性质的联系 表面发生的过程对从半导体技术到异相催化等各个领域具有极大的实用性和重要意义对固体表面相关的问题的研究逐渐成为基础科学研究的前沿表面分析的主要内容,表面化学组成：表面元素组成，表面元素的分布，表面元素的化学态，表面化学键，化学反应等；实验技术：XPS、AES、SIMS、ISS 表面原子结构：表面层原子的几何配置，确定原子间的精确位置表面弛豫，表面再构，表面缺陷，表面形貌；实验技术：LEED、RHEED、EXAFS、SPM、FIM 表面原子态：表面原子振动状态，表面吸附(吸附能、吸附位)，表面扩散等；实验技术：EELS、RAIRS 表面电子态：表面电荷密度分布及能量分布(DOS)，表面能级性质，表面态密度分布，价带结构，功函数、表面的元激发。

实验技术：UPS、ARPES、STM,.,常用表面成分分析技术,XPS、AES和SIMS是目前广泛使用的三种表面分析技术XPS的最大特色在于能获取丰富的化学信息，对样品表面的损伤最轻微，定量分析较好SIMS的最大特色是检测灵敏度非常高，并可分析H和He以及同位素，可作微区、微量分析以及有机化学分析AES的最大特色是空间分辨力非常好，具有很高的微区分析能力，并可进行元素表面分布成像几种最常用表面成分分析技术比较,,,,,,.,二次离子质谱（SIMS）,优点： 对某些元素极其表面灵敏(10-6单层)；在静态模式下探测深度限制在最顶单层 可测所有元素，包括H和同位素识别 较好的横向分辨(1m) 在动态模式下同时深度剖析 在动态模式下具有探测搀杂级浓度的充分的灵敏度动态范围的唯一技术 Cluster相对强度的有限化学信息 缺点： 内禀的结构破坏性 SIMS过程内禀的复杂性并未很好理解主要问题是SIMS离子强度随化学和物理环境的变化有大量的可变性因素，这使得定量分析困难离子散射谱（ISS）,优点： 单个二体碰撞相互作用，因此探测深度局限在最顶单层10-210-3单层灵敏度 可测除H以外的所有元素。

同位素分离 缺点： 散射截面和离子中和截面并未很好了解，所以ISS只能在使用标样或用其它技术定标后才能定量 不能提供任何化学信息 内禀的结构破坏性 较好的横向分辨率(100m) 对高质量元素质量分辨差思考题,为什么说电子能谱是表面灵敏的分析技术? 其采样深度约有多少？ 电子能谱有何特点和优点？它可以分析哪些元素？有哪些主要的应用领域？,。