压力传感器工艺
14页MEMS压力传感器简介及工艺,目录,MEMS压力传感器就是利用MEMS技术加工制造的压力传感器。 作用是将压力这个物理量转化为电量来测量。 特点:体积小、重量轻、精度高、温度特性好。,分类: 目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器。 两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。,硅压阻式压力传感器,硅电容式压力传感器,传感器的制造工艺与半导体集成电路平面工艺兼容, 这就满足了传感器向智能化方向发展的要求。产生了微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路等集成一体的MEMS器件。 与压阻式压力传感器相比, 电容式压力传感器具有高灵敏度、低噪声和较大的动态范围等显著的优点。,接触式电容压力传感器由硅膜片、衬底、衬底电极和绝缘层构成。 左图是没有受到压力作用的情况, 上下电极间是一个电容结构; 右图是受压力作用后硅膜片变形的情况。这时, 可以发现电极间距d 发生了相应的变化。,MEMS的制造技术主要包括两类技术:集成电路技术和微机械加工技术。这两类加工技术的基本材料都是用硅。 集成电路技术:包括光刻、扩散、氧化等。 微机械加工技术:体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(利用X光深层曝光、电铸、机械加工)等。,一种基于MEMS的电容压力传感器主要制作工艺过程如下:,图a:清洗,图b:湿氧氧化,图c:涂胶,光刻,图d:刻蚀,图e:干氧氧化,图f:硼(B)扩散,图g:键合,图h:腐蚀,图i:干法刻蚀,图j:湿法腐蚀,图k:溅射,在所有的微系统制造工艺中,工件的几何形状由掩模来定义,针对所设计的空腔型三维形体,通过腐蚀去掉多余的牺牲材料,由离子注入和扩散来控制局部材料的性质和特点,以达到改变选择区域硅基底的电导的目的。,总结: 基于mems电容式压力传感器的设计和mems工艺制作,由工件几何形状决定了加工的工艺流程,而工艺是制约微机电系统器件能否达到设计要求的关键。可以通过改善敏感元件、电容器的物理特性,改变传感器的尺寸,进一步提高传感器的工作范围、灵敏度等。,谢谢观看!,
《压力传感器工艺》由会员小**分享,可在线阅读,更多相关《压力传感器工艺》请在金锄头文库上搜索。
2020年高考真题——理科综合(全国卷Ⅲ)+Word版含答案
2021年绝味鸭脖策划书
2021年熟食店创业方案
2021年熟食店开店策划
2021年卤菜店创业计划书
2021年周黑鸭网络营销策划方案
东大21年1月考试《现代设计方法》考核作业
谈我国行政管理效率的现状及其改观对策(论文)
单证员考试-备考辅导-复习资料:无贸易背景信用证案分析.docx
土木工程毕业生答辩自述.docx
建筑学毕业后工作状态真实写照.doc
C#代码规范(湖南大学).doc
xx区食药监局2019年工作总结及2020年工作计划
2019年中医院药物维持治疗门诊工人先锋号先进事迹
2019年度xx乡镇林长制工作总结
2019年性艾科工作计划书
2019年人才服务局全国扶贫日活动开展情况总结
关于组工信息选题的几点思考
摘了穷帽子 有了新模样
2019年某集团公司基层党支部书记培训班心得体会
2024-01-31 15页
2024-01-31 21页
2024-01-31 37页
2024-01-31 30页
2024-01-31 22页
2024-01-31 48页
2024-01-31 32页
2024-01-31 40页
2024-01-31 31页
2024-01-31 20页