镀膜真空术语全集

1、.镀膜真空术语全集（中英文对照）5.分压真空计（分压分析器）5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer ：5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer：5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：5-8.飞行时间质谱仪time of flightmass spectrometer：6.真空计校准6-1.标准真空计reference gauges：6-2.校准系统 system of calibration ：6-3.校准系数 K calibration coefficient ：

2、6-4.压缩计法 meleod gauge method：6-5.膨胀法 expansion method：6-6.流导法 flowmethod：4. 1.真空系统 vacuum system1-1.真空机组 pump system：1-2.有油真空机组pump system used oil ：1-3.无油真空机组oil free pump system1-4.连续处理真空设备 continuous treatment vacuum plant：1-5.闸门式真空系统vacuum system with an air-lock ：1-6.压差真空系统differentiallypumped vacuum system：1-7.进气系统 gas admittance system：2.真空系统特性参量;.2-1.抽气装置的抽速volume flowrate of a pumping unit ：2-2.抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacu

3、um system：2-4.真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：2-5.真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：2-6.极限压力 ultimate pressure：2-7.残余压力 residual pressure：2-8.残余气体谱residual gas spectrum：2-9.基础压力 base pressure：2-10.工作压力 working pressure：2-11.粗抽时间 roughing time：2-12.抽气时间 pump-down time ：2-13.真空系统时间常数time constant of a vacuum system：2-14.真空系统进气时间venting time：3.真空容器3-1.真空容器；真空室vacuum chamber：3-2.封离真空装置sealed vacuum device：3-3.真空钟罩 vacuum bell jar：3-4.真空容器底板vacuum base plate：3-5.真空岐管 vacu

4、um manifold ：3-6.前级真空容器（贮气罐）backing reservoir：3-7.真空保护层outer chamber：3-8.真空闸室 vacuum air lock：3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condensing vapor：4.真空封接和真空引入线4-1.永久性真空封接permanent seal ：;.4.2. 玻璃 分级过渡封接graded seal ：4-3.压缩玻璃金属封接*pressionglass -to-metal seal：4-4.匹配式玻璃金属封接matched glass-to-metal seal：4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-metal seal：4-6.半永久性真空封接semi-permanent seal ：4-7.可拆卸的真空封接demountable joint ：4-8.液体真空封接liquidseal4-9.熔融金属真空封接molten metal seal：4-10.研磨面搭接封接ground and lapped seal：4-11.真空法兰连接vacuum flange connec

5、tion ：4-12.真空密封垫vacuum-tight gasket：4-13.真空密封圈ring gasket：4-14.真空平密封垫flat gasket：4-15.真空引入线feedthrough leadthrough：4-16.真空轴密封shaft seal：4-17.真空窗 vacuum window ：4-18.观察窗 viewing window ：5.真空阀门5-1.真空阀门的特性characteristic of vacuum valves： .真空阀门的流导 conductance of vacuum valves： .真空阀门的阀座漏气率 leak rate of the vacuum seat：5-2.真空调节阀regulating valve ：5-3.微调阀micro-adjustable valve：5-4.充气阀 charge valve：5-5.进气阀 gas admittance valve ：5-6.真空截止阀break valve：5-7.前级真空阀backing valve ：;.5-8.旁通阀by-pass valve：5-9.主真空阀

6、main vacuum valve：5-10.低真空阀 low vacuum valve：5-11.高真空阀 high vacuum valve ：5-12.超高真空阀； UHV 阀 ultra-high vacuum valve ：5-13.手动阀 manually operated valve ：5-14.气动阀 pneumatically operated valve：5-15.电磁阀 electromagnetically operated valve：5-16.电动阀 valve withelectricallymotorized operation：5-17.挡板阀 baffle valve ：5-18.翻板阀 flap valve：5-19.插板阀 gate valve ：5-20.蝶阀 butterflyvalve ：6.真空管路6-1.粗抽管路 roughing line：6-2.前级真空管路backing line ：6-3.旁通管路； By-Pass 管路by-pass line ：6-4.抽气封口接头pumping stem：6-5.真空限流件limitingc

7、onductance：6-6.过滤器 filter ：5. 1.一般术语1-1 真空镀膜 vacuum coating：1-2 基片 substrate：1-3 试验基片 testing substrate：1-4 镀膜材料 coating material：1-5 蒸发材料 evaporation material：1-6 溅射材料 sputtering material：;.1-7 膜层材料 (膜层 材质)filmmaterial：1-8 蒸发速率 evaporation rate：1-9 溅射速率 sputtering rate：1-10 沉积速率 deposition rate：1-11 镀膜角度 coating angle：2.工艺2-1 真空蒸膜 vacuum evaporation coating：(1).同时蒸发 simultaneous evaporation：(2).蒸发场蒸发evaporation field evaporation：(3).反应性真空蒸发reactive vacuum evaporation：(4).蒸发器中的反应性真空蒸发reactive vacuum evaporation in evaporator：(5).直接加热的蒸发direct heating evaporation：(6).感应加热蒸发induced heating evaporation：(7). 电子束蒸发 electron beam evaporation：.激光束蒸发laser beam evaporation：(9).间接加热的蒸发indirect heating evaporation：(10).闪蒸 flash evaportion：2-2 真空溅射 vacuum sputtering：(1).反应性真空溅射reactive vacuum sputtering ：(2).偏压溅射 bias sputtering：(3).直流二级溅射direct current diode sputtering：(4).非对称性交流溅射asymmtric alternate current sputtering：(5).高频二极溅射high frequency diode sputter

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