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可编程扫描控制器说明书

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卖家[上传人]：cl****1

文档编号：470256605

上传时间：2023-12-15

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1、可编程扫描控制器说明书一：产品概述3二：技术参数3三：产品示意图4四：操作方法4扫描控制器编辑4扫描控制器运行5五：接口及连线5六：附录7表 5- 1外控接口引脚定义6表 6- 1数码管显示含义7图3- 1后面板示意图4图3- 2前面板示意图4图 5- 1输出接口连线图7一：产品概述可编程扫描控制器能够对电子枪的光斑进行智能化、自动化控制。可以通过控制器的编程控制光斑的大小，精确定位光斑位置，编辑控制光斑的运行轨迹。使得坩埚内膜料能够均匀稳定蒸发。编辑的数据可以永久保存，方便下次直接使用。通过前面板的LED点阵模块对光斑的运行轨迹进行直观形象的观测，以便实时了解坩埚内光斑情况。LED点阵模块其形状对应为坩埚形状，每一个亮点对应坩埚内的相应位置。仪器既可以手动选择运行方式，也可以通过外控实现完全自动化控制，简捷方便。仪器采用1U尺寸，外观新颖小巧，轻便美观。操作界面简单，容易使用。并且采用多种手段消除干扰，。使设备能安全、可靠、稳定地运行。二：技术参数供电：220VAC 50/60Hz。自动控制BCD码为24V输入有效控制；输出位置电压-10V-+10V；输出扫描电

2、压0V-10V；能够存储8种运行状态，每种运行状态可存储最多32个轨迹点；光斑大小分为10个档次，0-9分别从最小到最大铺满整个坩锅；轨迹运行速率分为10档次，从2Hz到100Hz；工作温度 5-45；每一台仪器控制一台枪。三：产品示意图后面板示意图图3- 1后面板示意图前面板示意图图3- 2前面板示意图四：操作方法本产品通过预先编程，然后运行，对电子枪光斑进行控制。下面分别介绍仪器的编辑和使用方法。扫描控制器编辑打开电源后按下键或通电中直接按下键，数码管显示后，再按键后显示ED后进入到编辑状态。在编辑状态下，可以通过键在ED、DIA、SD三个界面间进行切换。其中ED代表的是运行状态的编号。DIA代表的是光斑大小。SD代表的是光斑的运行速度。当数码管显示ED 时，按键左边的选择ED 号0-7。当数码管显示DIA 时，按键左边的选择DIA 号0-9。当数码管显示SD 时，按键左边的选择SD 号0-9。当设定完相应的代号后，切换到DIA界面下，按键存储DIA、SD的数据。切换到ED后，LED点阵模块处有灯亮，通过键旁边的键移动亮灯的位置，进行运动轨迹的编辑。注意每移动到

3、需要编辑的点时都要按键进行存储。编辑完一种运行状态后，可以改变ED号，进行另一种状态的编辑，每次编辑都需要对DIA、SD设定的数据进行存储。编辑完成后，需要按下键复位后，编辑数据才能有效。扫描控制器运行在运行之前需要将电子枪控制盒上的EXT钮子开关拨到上边。如果要使用本仪器控制光斑的大小，请将SCAN钮子开关拨到上边。如果要使用本仪器控制光斑的位置移动，请将POS钮子开光拨到上边。打开电源后按下键或通电中直接按下键后，数码管显示，等待10秒后，系统自动进入运行状态。默认的是进入自动选择运行状态，数码管显示AUTO。可以通过键切换是使用自动还是手动来选择运行状态。在自动状态AUTO下，通过外控发送指令选择相应的运行状态。在手动状态RUN下，通过按键旁边的键选择相应的运行状态。五：接口及连线前面板上有1手控盒接口，后面板上有1个电源插头，1个9芯针端DB插件为RS232接口，用于程序写入。1个9芯针端DB插件为外控接口，用于自动选择运行轨迹。1个9芯孔端的DB插件为输出接口，连接到电子枪控制盒的相应接口。外控接口共1、3、5接DC0V，2、4、6分别接DC24V对应的选定BCD0，BCD1，BCD2，以选择不同的运行状态。外控接口连线状态与运行状态（ED数据）对应关系见表5-1.状态引脚2脚4脚6脚0低低低1高低低2低高低3高高低4低低高5高低高6低高高7高高高表 5- 1外控接口引脚定义注：高为接DC24V，低为不接或接DC0V。前面板接上受控盒后，通过旋转X、Y旋钮，可以实现运行轨迹的整体移动，可消除设备运行出现的一些小误差，达到理想的运行状态。输出DB接口接到电子枪控制盒后面的EXT SIG-2接插件。其相应的接线情况见图5-1.图 5- 1输出接口连线六：附录八段数码管显示对应的相应含义如下表6-1.表6-1AUTORUNEDDIASD表 6- 1数码管显示含义7

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