默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环评报告书.pdf

默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书1目目 录录1.概述概述.11.1.项目由来.11.2.项目特点.21.3.环境影响评价工作程序.31.4.分析判定情况.61.5.主要环境问题.291.6.评价结论.302.总则总则.312.1.编制依据.312.2.评价因子及评价标准.402.3.评价工作等级和评价重点.492.4.评价范围和环境敏感区.532.5.相关规划和环境功能区划.543.建设项目建设项目概况及概况及工程分析工程分析.853.1.拟建项目工程分析.853.2.拟建项目影响因素分析.983.3.污染源强及污染物排放分析.1174.环境现状调查与评价环境现状调查与评价.1334.1.自然环境概况.1334.2.污染源调查.1404.3.环境质量现状调查与评价.1615.环境影响预测和评价环境影响预测和评价.1855.1.建设期环境影响分析.185默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书25.2.运营期环境影响预测与评价.1906.环境保护措施及其可行性论证环境保护措施及其可行性论证.2486.1.废气治理措施.2486.2.废水治理措施.2666.3.噪声治理措施.2716.4.固废防治措施.2726.5.土壤和地下水防治措施.2776.6.环境风险防范措施分析.2806.7.污染治理措施经济可行性论证.3026.8.环保投资及“三同时”验收.3037.环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析.3057.1.项目经济效益分析.3057.2.环保经济损益分析.3067.3小结.3068.环境管理与监测计划环境管理与监测计划.3078.1污染物排放总量控制分析.3078.2环境管理.3138.3环境监测计划.3168.4“三同时”验收监测建议清单.3188.5开展泄漏检测与修复（LDAR）工作.3189.结论与建议结论与建议.3199.1项目概况.3199.2环境质量现状.3199.3污染物排放情况.3209.4主要环境影响.321默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书39.5公众意见采纳情况.3229.6环境保护措施.3229.7环境影响经济损益分析.3239.8环境管理与监测计划.3239.9清洁生产水平.3249.10结论.3249.11建议.324默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书4附件清单附件清单:附件 1：江苏省投资项目备案证、登记信息表（项目代码：2205-320552-89-01-692228）附件 2：化联办会议纪要（张家港保税区 2022 年度第二次化工建设项目审批前联合会商会议纪要，张保化审20222 号）附件3：中国石油与化学工业联合会 战略性新兴产业论证意见附件4：营业执照附件5：土地红线图附件6：所在区域规划环评审查意见（关于张家港保税区产业发展规划环境影响报告书的审查意见（环审201979 号）附件7：环境质量监测报告附件8：环评报告建设单位确认书附件9：建设项目环境基础信息表默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书11.概述概述1.1.项目由来项目由来默克电子科技（张家港）有限公司成立于2021 年，是由默克投资（中国）有限公司出资设立的，位于张家港市北京路与渤海路交叉口东南方向地块。

随着电子科技的高速发展，半导体芯片制造行业是当今投入最高，高技术含量最高的行业之一默克的半导体材料事业部开发的各类产品正是当今电子科技的核心，推动着通信、出行、医疗等诸多领域的变革默克的半导体科技业务主要为生产及销售高纯度电子化学应用材料，覆盖了整个晶圆加工的价值链及封装主要服务群体为国内晶圆大厂包括但不限于中芯国际、华虹宏力、长鑫存储、长江存储、台积电、英特尔、三星默克的生产、研发和销售遍布中国沿海和内地默克的电子部门致力于提供创新、高质量的高性能材料，丰富人们的生活，例如液晶显示材料、有机发光材料、用于涂料和化妆品行业的效果颜料，以及用于电子产业的半导体材料和解决方案前驱体材料是薄膜沉积工艺中的关键材料，而薄膜沉积工艺是集成电路制造过程中的关键工艺沉积不同材料的薄膜能够精确控制集成电路内部构造的成型，以实现不同的电气特性硅烷A 主要用于原子层沉积（ALD）薄膜制备工艺，常见应用为填充半导体衬底上的缝隙，国内存储芯片制造商的高端产品都会用到本产品；硅烷B 的常见应用为硅通孔（TSV）衬垫，半导体存储芯片的位线垫片，以及衬底缝隙填充等在半导体生产工艺中，从刻蚀，沉积，掺杂等到最后的封装，几乎每一步都离不开电子特气。

电子特气乙硼烷在3D 储存芯片的制程中起着至关重要的作用它的主要应用在worldline以及contactfilling 工艺中乙硼烷可以增强六氟化钨（WF6）在氮化钛（TiN）壁垒上的沉积，以便提高紧密的、具有低电阻率的保形和无空隙填充仓储部分服务于中国半导体产业和企业，主要服务对象为国内默克其他子公司，子公司客户所需的货物从海外进口，暂存于本项目拟建的电子材料相关的专业性化学品仓库内，可以避免中美贸易风险带来的地缘政治影响，确保供默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书2应链的稳定性综上，默克电子科技（张家港）有限公司在考察了张家港保税区的环境后，拟投资55000万元建设年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储新建项目，危险化学品仓库为电子化工材料有关的专业性危险化学品仓储项目，旨在建设全方位纯化、混配、分裝生产及销售为一体的大规模电子化学品基地，根据调研可知，该产品具有良好的发展前景可产生较高的经济效益，主要产品应用于半导体行业，促进区域经济的繁荣发展，为地区带来部分就业岗位，可为园区创造较高的经济效益、环保效益和社会效益。

本次新建项目拟建区域为张家港市北京路与渤海路交叉口东南方向地块，厂区用地面积约68.6 亩，拟新建1 座半导体前驱材料生产厂房（甲类）、1 座电子特气生产厂房（甲类）、5 座甲类仓库、1 座甲类剧毒库、1 座甲类危废库、公用工程站、办公楼及其他配套工程，产品为165 吨半导体前驱材料，包括100吨硅烷A 以及65 吨硅烷B，150 万升电子特气（乙硼烷）以及16 余种危险化学品的仓储经营目前该项目已于2022 年5 月12 日通过江苏省张家港保税区管理委员会立项，立项编号：张保投资备2022109 号，项目代码：2205-320552-89-01-692228本项目采用目前最先进的生产技术，涉及的工艺仅为纯化、提纯工艺，不涉及化学反应，更不涉及高危工艺，本项目所生产的半导体前驱材料以及电子特气材料均为鼓励类项目涉及的技术上成熟可靠，社会效益显著，且具有一定的抗风险能力，符合国家鼓励发展政策，符合企业实际情况和企业发展需要1.2.项目特点项目特点本项目前驱体材料和电子特气生产工艺均采用德国默克集团共享技术前驱体材料和电子特气成品的生产均采用物理方式对已合成好的原材料进行纯化、混配及分装本项目主要生产过程为物理过程，无化学反应，更不涉及高危工艺，自动化程度较高，沿用默克集团在台湾、韩国、美国等地的生产经验，其生产工艺成熟可靠，生产设备先进安全，各项管理理念完善，已安全生产多年，工艺稳定，技术成熟，安全可靠。

危险化学品仓储项目为电子化工材料有默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书3关的专业性危险化学品仓储项目本项目在使用有机溶剂时采取密闭储存、装卸和投料的措施，减少有机废气扩散半导体前驱材料（硅烷A、硅烷B）生产工艺所产生的有机气体，采用管道收集后用二级活性炭吸附塔处理，处理后的有机废气通过15m 高排气筒排放；电子特气（乙硼烷）生产工艺产生的废气，低浓度的采用干式吸附器处理，处理后的废气通过25m 高排气筒排放，高浓度的采用焚烧+布袋除尘处理，燃烧产生的粉尘气体采用管道收集后通布袋除尘器过滤处理后通过一根排气筒排放；实验室生产的酸性气体，采用洗涤塔处理，处理后通过15m 高排气筒排放，产生的有机废气通过二级活性炭处理，处理后通过15m 高排气筒排放；危废仓库产生的有机废气通过二级活性炭处理，处理后通过 15m 高排气筒排放；剧毒库产生的废气用过干式吸附过滤处理后通过 25 米高排气筒排放项目生产工序产生的工艺废水：含氨氮的经“过滤+RO+蒸发”工艺重复套用，蒸出水冷凝后回用；初期雨水和生活污水接管到张家港保税区胜科水务污水厂。

本项目危废交给有资质的固体废弃物处理厂处理，生活垃圾委托环卫部门处置，固废零排放1.3.环境影响评价工作程序环境影响评价工作程序根据建设项目的环境影响评价分类管理名录（2021 年版），该项目分别属于“二十三、化学原料和化学品制造业 26”中“44、专用化学产品制造266”单纯物理分离、物理提纯、混合、分装的（不产生废水或挥发性有机物的除外）、“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39”中“81.电子元件及电子专用材料制造 398半导体材料制造；电子化工材料制造”以及“五十三、装卸搬运和仓储业 59”中“149 危险品仓储594（不含加油站的油库；不含加气站的气库）其他（含有毒、有害、危险品的仓储；含液化天然气库）”，本次环境影响评价类别按照登记最高的单项确定，应当编制环境影响报告书，阐明项目建设对周边环境的影响及污染防治措施的可靠性和稳定性，以确保社会、经济与环境同步的可持续发展的战略目标默克电子科技（张家港）有限公司委托苏州清泉环保科技有限公司开展“年默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书4产 165 吨半导体前驱材料及 150 万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目”的环境影响评价工作。

接受任务委托后，评价单位有关成员在熟悉资料、踏勘建设地现场的基础上，根据项目的特点和项目地区域环境特征，按照环境影响评价技术导则要求，开展环境影响评价工作，编制了该项目的环境影响报告书本项目评价工作程序见图1.3-1默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书5图1.3-1 评价工作程序图依据相关规定确定环境影响评价文件类型1 研究相关技术文件和其他有关文件2 进行初步工程分析3 开展初步的环境现状调查1 环境影响识别和评价因子筛选2 明确评价重点和环境保护目标3 确定工作等级、评价范围和评价标准制定工作方案环境现状调查监测与评价建设项目工程分析1 各环境要素环境影响预测与评价2 各专题环境影响分析与评价1 提出环境保护措施，进行技术经济论证2 给出污染物排放清单3 给出建设项目环境影响评价结论编制环境影响报告书第第一一阶阶段段第第二二阶阶段段第第三三阶阶段段默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目环境影响报告书61.4.分析判定情况分析判定情况1.4.1.产业政策相符性产业政策相符性（1）对照鼓励外商投资产业目录（2020 年版），本项目产品电子特气属于该目录鼓励类第三大类“制造业”第十项“化学原料和化学制品制造业”第67 小项“大型、高压、高纯度工业气体（含电子气体含电子气体）的生产和供应”；本项目危险化学品的仓储经营属于该目录中鼓励类第五大类“交通运输、仓储和邮政业”第412 小项“物流业务相关仓储设施建设，特别是自动化高架立体仓储设施，包装包装、加工加工、配送业务相关的仓储一体化设施建设配。