esd规格标谁

1、Prepared by: QA1-1 Date：2006-04-20,ESD规格标准,2,ESD规格标准,标准量测 一、接地及连接系统 A：生产设备金属部分至接地线阻抗量测 B：静电防护接地线 C：大地接地 二、人员接地 A：静电鞋、静电环 B：工作服 三、保护区域 A：工作表面 B：地板 C：静电椅、台车 D：离子风扇 E：料架 F：输送带 四、设备 A：AC电源工具 B：烙铁接地 C：放大镜,3,ESD规格标准,名词解释 一、ESD 静电放电 二、ESDS Items 静电敏感元件 三、EPA 静电放电防护区,4,ESD规格标准,一、接地及连接系统 A：生产设备金属部分至接地线阻抗量测（连续性生产设备及单一设备） 步驟 1：將三用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於設備（須於無塗裝之機台金屬表面）, 一端置於接地線上, 量測設備到接地線的阻抗值, 如果阻抗值 10, 即符合要求. 否則即不符合 步驟 2 : 如不符合, 須檢查是否確實接觸良好, 並改善之 步驟 3：改善後重測, 並記錄讀值. A：生产设备金属部分至接地线阻抗量测（设备与设备） 將三用電錶（表面阻抗計

2、）打開，選用量測電阻值功能， 將電錶之量測點一端置於設備上, 另一端置於另一設備上, 量測設備到設備的阻抗值, 如果 阻值 10 , 即符合要求. 否則即不符合.,須於無塗裝之機台金屬表面,接地線,量測時須確認接地線的位置,須於無塗裝之機台金屬表面,5,ESD规格标准,一、接地及连接系统 B：静电防护接地线：包含總檢桌及固定式料架之ESD接地線測試 步驟 1.將三用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於ESD接地線(，圖9), 一端置於ESD共同接地點/電源接地插座, 或搭接鄰近之已量測通過之ESD接地線量測之 量測ESD接地線的阻抗值, 如果阻抗值 10, 即符合要求. 否則即不符合。如ESD接地之共通接地點端/電源接地插座太遠，請使用延長線 步驟 2 : 如不符合, 須檢查是否確實接觸良好, 並改善之 步驟 3：改善後重測, 貼上符合標示 NOTE: 1.量測時間為每年1、4、7、10月15號前，標籤顏色為綠（13月）、黃（46月）、 銀（79月）、橙（1012）月 2.本標籤由轄區單位張貼維護，IPQC執行稽核於轄區單位檢測者後簽名，如發現不符合者應告知轄區主管 3

3、.標籤之語言以英文為主，各local site 可自行加註當地語言。但以不修改標籤內容為原則,6,ESD规格标准,一、接地及连接系统 C：大地接地 由厂务完成,7,ESD规格标准,一、人员接地 A：静电环、静电鞋 步驟 1.將三用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於ESD接地線(，圖9), 一端置於ESD共同接地點/電源接地插座, 或搭接鄰近之已量測通過之ESD接地線量測之 量測ESD接地線的阻抗值, 如果阻抗值 10, 即符合要求. 否則即不符合。如ESD接地之共通接地點端/電源接地插座太遠，請使用延長線 步驟 2 : 如不符合, 須檢查是否確實接觸良好, 並改善之 步驟 3：改善後重測, 貼上符合標示 NOTE: 1.量測時間為每年1、4、7、10月15號前，標籤顏色為綠（13月）、黃（46月）、 銀（79月）、橙（1012）月 2.本標籤由轄區單位張貼維護，IPQC執行稽核於轄區單位檢測者後簽名，如發現不符合者應告知轄區主管 3.標籤之語言以英文為主，各local site 可自行加註當地語言。但以不修改標籤內容為原則,8,ESD规格标准,二、人员接地 B：工作服

4、 步驟1: 將工作服置於絕緣體的桌面上，將雙袖打開。(Fig.16) 步驟2: 將表面阻抗計打開，輸出電壓選擇(100V), 把重錘兩端置於兩個袖子上，量測兩袖之間的阻抗值, 如果阻抗值介於1.0 104 1.0 1011 即符合要求. 否則即不符合 步驟3: 如果量測結果不符合, 即應清潔後再測試, 如仍無法PASS, 即需更換 步驟 4：改善後重測, 記錄讀值,9,ESD规格标准,三、保护区域 A：工作表面 接地扣線是否與靜電桌墊及接地線連接良好，當發現脫落時立即扣上 步驟1: 將表面阻抗計打開, 壓於靜電桌墊中間, 或以重錘置於桌墊可用約90 100公分的二點, 如讀值介於1.0 104 1.0 109 , 即可PASS測試 步驟2: 但是如果測試結果為邊緣值( 1.0109 ), 即需以重錘重測做為最終的PASS 或FAIL之依據 步驟3: 如果測試結果不符合, 即應清潔後再測試, 如仍無法PASS, 即需更換 步驟4: 以重錘量測桌墊與ESD grounding wire及桌墊與桌墊間之阻抗值, 如阻抗值是 1.0109 表示可PASS測試, 否則失敗, 需檢查是否有接觸不良

5、或漏接發生. 步驟5: 貼上合格標籤，並記錄量測值（桌面點對點量測數據）,桌輸送帶 墊，點對點量測,桌面到接地線的阻抗量測,兩個桌墊間的阻抗量測,10,ESD规格标准,三、保护区域 B：ESD防护地板 1）接地線對地 步驟1:將表面電阻既打開(輸出電壓選用100V)，把重錘之一端至於導電地板，另一端連接ESD 接地線，在464.5 m2的範圍區域內, 量測5點如果阻抗值介於1.0 104 1.0 109 步驟2: 如果量測結果不符合, 即應清潔後再測試, 如仍無法PASS, 即需更換 2) 點對點量測 步驟1: 將表面阻抗計打開(輸出電壓值選用100V), 把重錘置於ESD 防護地板 , 在464.5 m2的範圍區域內, 量測5點表面阻抗,兩重錘間距約100公分. 如果阻抗值介於1.0 104 1.0 109 步驟2: 如果量測結果不符合, 即應清潔後再測試, 如仍無法PASS, 即需更換,11,ESD规格标准,三、保护区域 C：靜電防護椅 / 台車 1)量測辦法：以高阻抗計連接重錘置放於銅片上及椅面/台車上，量測之如下圖，測試讀值小於109 者為合格 2) 貼上合格標籤 (同靜電桌墊

6、用標籤 ）,.將台車之導電鍊置放於銅片上.將表面阻抗計之重錘，一端置放於台車上，一端置放銅片上,12,ESD规格标准,三、保护区域 D：離子風扇 步驟 1：靜電壓測試器歸零 步驟 2：將蓄電盤裝到Field Meter 上 步驟 3：將蓄電盤充電至1kV，繼續步驟5之動作 步驟 4：將蓄電盤充電至-1kV，繼續步驟5之動作 步驟 5：將蓄電盤拿到離子風扇出風口，距出風口30公分，如field meter 讀值於5sec內 降低至0.1KV以下，表示該離子風扇作用正常 步驟6：將測試結果是否通過，記錄之,將蓄電盤拿到距離子風扇出風口30公分，如field meter 讀值於5sec內 降低至0.1Kv或 -0.1K以下，表示該離子風扇作用正常。,13,ESD规格标准,三、保护区域 E：1)固定式料架 將三用電錶打開，選用量測電阻值功能，將電錶之量測點一端置於料架（須於無塗裝之機台金屬表面）, 一端置於ESD接地線上, 量測料架到接地線的阻抗值, 如果阻抗值 109, 即符合要求. 否則即不符合 2)移動式料架，量測方法同台車 將台車之導電鍊置放於銅片上。 將表面阻抗計之重錘，一端置放於台車上，一端置放銅片上,料架上鋪設ESD防護板材，量測方法同包裝材,一端搭於ESD 接地線,14,ESD规格标准,三、保护区域 F：輸送帶 步驟1:將表面阻抗計打開, 把重錘兩端端置於輸送帶上兩點, 量測輸送帶的阻抗值, 如果阻抗值介於1.0 104 1.0 109, 即符合要求. 否則即不符合 步驟2: 將表面阻抗計打開, 把重錘一端夾在ESD 接地線, 一端置於輸送帶上, 量測輸送帶到ESD接地線的阻抗值, 如果阻抗值介於1.0 104 1.0 109, 即符合要求. 否則即不符合,15,ESD规格标准,四、设备 A：AC 電源之工具 a. 接地量測阻抗值於10 以下 b. 待測物非金屬部份，可能與產品接觸，阻抗值為107109 c. 以靜電壓測試器測試待測物非金屬部份，直接接觸產品者，靜電壓不得超過100V，距離30公分以內者靜電壓不得超過2000V. B:烙铁接地,16,ESD规格标准,四、设备 C：放大鏡 a.接地：量測插座接地端到鏡台金屬部份阻抗，不得大於10 b.可能ESDS接觸之放大鏡邊框靜電壓，不得大約100V,

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