
无损检测扫描各模式解释.doc
7页A-Scan扫描模式当材料内部的声阻抗发生变更时,一部分声波会被反射回来,剩余的声波会接着穿过样品或分界面,如:在晶界边界、内含物、裂纹、空洞、孔洞和分层等A-Scan的重要性:· 显示从样品表面的时间-距离的关系;· 分层和材料识别基于反射回波信号的极性;· 通过设定不同的电子门限来探讨样品内部特定深度的不规则的特性;· 材料的特性;B-ScanB-Scan扫描模式B-Scan得到的图像是穿过样品横截面的信息;--- 检查的厚度是由B-Scan的门限的宽度确定的(Thickness=V×T)· 实例如下:为同一样品不同位置的B-Scan图像;通过B-Scan横截面图像可以推断:· 界面的数量;· 界面的深度;· 缺陷的深度;注:KSI新增加了新的P-Scan扫描模式:一种自动执行多次B-Scan的扫描模式C-ScanC-Scan扫描模式 C-Scan图像是样品内部某一层(具有肯定厚度信息)的图像; --- 扫描层的厚度由门限的宽度确定; --- 扫描层的深度由门限的起先位置确定; · 实例如下:Wafer涂层 通过C-Scan图像可以推断:··· 缺陷的位置; · 缺陷的形态; · 缺陷的尺寸;D-Scan扫描模式D-Scan图像是通过样品对角线的图像;· 实例如下: 通过D-Scan图像可以推断:· 快速的了解样品内部的结构;· 对于斜焊接,通过设置门限的宽度和起先位置可以有效的检测焊接界面的缺陷;G-ScanG-Scan扫描模式 G-Scan扫描模式是多层扫描模式,区分与X-Scan扫描模式,在G-Scan扫描模式中,每一层扫描图像的门限起先位置,门限宽度都可以分别设置,包括增益、放射能量、滤波方式等也可以不同,每设置一个参数,可以存储在G-Scan存储器中,最终执行G-Scan,一次或多次在监视器上出现存储参数的图像;· 实例如下:同一样品,设置不同的门限参数存储后执行G-Scan图像X-ScanX-Scan扫描模式X-Scan扫描模式只要是设定一个扫描的总厚度门限,然后设定每层的门限厚度,X-Scan扫描模式可自动的依据扫描总厚度和每层的厚度自动生成(1--n)多层C-Scan图像;--- 层数的多少由设定的扫描的总厚度门限和每层厚度确定;依据X-Scan图像可以推断(除由C-Scan图像推断出的缺陷外):· 快速的了解样品内部的概况;· 缺陷在不同深度的位置;T-ScanT-Scan扫描模式T-Scan透射扫描模式是运用两个换能器,一个换能器用来放射超声波,超声波穿过样品,另一侧的换能器用来接收透过样品的超声波;· 实例如下:采纳T-Scan扫描模式,当接收换能器没有接收到放射的超声波信号时,用黑色表示,所以下图中黑色区域表示分层缺陷;3D-Scan3D-Scan扫描方式· 实例如下:利用超声波反射时间重建原理来生成的硅片焊接层的3D图像√。












