供输半导体级一般气体之配管工作程序.doc

帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.一般氣體配管工作程序帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.供輸半導體級一般氣體之配管工作程序1.適用範圍：本程序乃適用於半導體生產工廠中所安裝的供輸一般氣體用之配管工作2.氣體管路的種類：CDA, N2, O2, H2, He, Ar3.工作範圍：在這裡所定義的管線涵蓋範圍由各種不同氣體的起始點連接至各生產機台的 USE。

1) 分段點a 主管路（Main）為由氣體的起始流出點（ Gas yard）至無塵潔淨室中的第一組分支閥（Main Line）為止b) B 次主管（Submain）乃指由無塵潔淨室中之第一組分支閥至第二組分支閥（Submain Line）止c) 第二條管線由第二組分支閥開始至 point of use 分支點2) 壓縮乾空氣（CDA）對壓縮乾空氣而言,其管路在氣體流出點處需配有一乾燥空氣出口之過濾器,整個管線一直完成至各生產機台設備的連接點為止3) 氮氣（N 2）分為 PN2 及 GN2 :a) PN2：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥經過氮氣純化器（N 2 Purifier）至機台P.O.U.b) GN2：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥至機台 P.O.U.4) 氧氣（ O2）分為 PO2 及 GO2 :a) PO2：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥經過氧氣純化器（O 2 Purifier）至機台P.O.U.b) GO2：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥至機台 P.O.U.5) 氫氣（H 2）分為 PH2 及 GH2 :帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.a) PH2：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥經過氫氣純化器（H 2 Purifier）至機台P.O.U.。

b) GH2：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥至機台 P.O.U.6) 氦氣（He）分為 PHe 及 GHe :a) PHe：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥經過氦氣純化器（He Purifier）至機台P.O.U.b) GHe：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥至機台 P.O.U.7) 氬氣（Ar）分為 PAr 及 GAr :a) PAr：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥經過氬氣純化器（Ar Purifier）至機台P.O.U.b) GAr：其配管工作由 Gas Yard 的末端閥至機台 P.O.U.4.工作環境在工作現場需配有一臨時性潔淨棚,且所有配管工作的操作基本上必須在此區域內完成,以避免一些不當的污染此潔淨棚必須維持且控制在以下的環境條件下：1) 臨時性潔淨棚a) 微塵數目(靜態數,粒子大小 > 0.3um 者)位置 潔淨度庫房 10000切割工作區域 1000焊接工作區域 1000b) 條件 : 於焊接工作區域內,其溫度為 21C , 相對濕度則為 65%c) 氣流 : 每小時循環 60 次d) 環境 : 此潔淨棚需足以阻絕微粒、油污及其他外來物質。

2) 如何控制潔淨棚內的氣壓a) 藉由棚內空氣的循環與過濾可以控制微粒多寡b) 在此區域工作的工作者需穿著無塵衣鞋帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.5.工作完成之標準1) 焊接工作a) 兩條管線的尾端焊接主要利用自動焊接機來完成b) 彎頭部份大於及等於 15A 的管子需使用 90 的彎頭,小於及等於 1/2” 的管子則需使用彎管器c) 自動焊接機的狀況可藉由製作測試用樣品片來檢查 ; 至少每天做兩次,於早晨與下午焊接工作開始之前2) 氣體管材的處理a) 管線與零件的清潔：所有的管子與其零件需於製造後以管帽蓋住開口處、封裝後,始可運送至現場; 任何管子與零件在彎管、切割及焊接諸如此類工作之進行前 , 需確定其清潔度可維持的情形下始可拆封b) 氬氣 Purge ：在裝配好個別的預作管線且擺放好後, 每一單位均需以氬氣 Purge 乾潔。

3 純度提升的方法：用純氬氣來噴洗管線內部氬氣純度：99.99999）4 配管完成後的檢查：a) 外觀目檢：送樣本附表b) 焊接點目視檢查：1.上午及下午工作焊接前2.若遇停電或不可抗拒之因素後必須送樣本附表 c) 鎖入配件目檢d) 壓力/偵漏檢驗e) 微塵測試f) 純度測試5 預先允諾管線行經路線 :　為了避免由焊接工作的過程中因不斷修正而導致的損失，管線所經的路線必須先經由客戶召集各承包商進行套圖，一但經業主確認無誤施工後，路線若須變更，則一切因變更而增加的費用需由客戶自付6 強制性穿戴手套　：在進行每一個操作時必須穿上乾淨無塵膠質手套，嚴禁使用裸手操作帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.6.工作進行之步驟　：為了維持完成後的潔淨在所訂定之水準內，氣體供輸的管線工作必須儘可能地小心去完成。

序號 項目 步驟 備 註 製造地點1 材料檢查 ○逐項檢查各項材料是否符合訂單上的規格潔淨棚2345678機械切割氬氣沖洗　焊接及安裝安裝後的檢查工作最後清潔防塵帽蓋儲存○◎○●◎◎○切割至所需長度及使用機器將端點磨平充以氬氣，噴洗並清理管子末端部份由通過資格鑑定的技師負責焊接之相關工作分段逐一檢查清潔並以氮氣不斷噴洗以達潔淨要求將管子兩端覆以帽蓋並以塑膠套膜包裝整組封好運送之全部流程均在臨時性潔淨棚中操作、處理帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.1234管線預作之檢查工作臨時性架設分區安裝檢驗工作○○○●檢查欲架設地點確定所切割之管線符合預先設計之長度擺設好並焊接之外觀目檢、充以壓力及進行氣密試驗於架設管線之現場中進行56純度提升完成並測試◎●以氮氣噴洗乾燥進行純度測試現場附 註 : ○◎●-- 焊接組裝過程-- 純度維持及處理過程-- 檢驗過程1) 材料檢查材料一經遞送到施工單位則必須立即就其訂單規格來檢驗是否合格。

2) 臨時性潔淨棚現場臨時性潔淨棚其潔淨度較佳，因此所有的預作管線部份均需在臨時性潔淨棚內進行焊接管線材料則需儲存於庫房中，以便於管理3) 機械材料a) 在開始進行工作前,需先檢查使用的工具是否清潔b) 每一管線於切割時必定使用切管器且要避免小碎片進入管中帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.4) 切割完畢後的清洗每一段切割至所需長度的管子，最後均需以氮氣噴洗之，以避免殘留的小碎片留在內部噴洗完後立刻以帽蓋覆在兩端開口，並以塑膠套膜包裝好儲存,直到需要安裝這些管線前再拆封5) 配管工作之預作a) 檢查並確定所需的材料b) 實施試焊c) 進行焊接工作 (一般為尾端對焊) d) 焊點的外觀部份需擦亮之e) 確定預作的管子其長度與繪製圖或現場量測的相符。

f) 以帽蓋將兩端封住6) 管材之清洗a) 管子需以通過高純度的氮氣噴乾內部b) 以帽蓋封住兩端後,再以塑膠套膜重覆包裝好儲存之7) 管線支架的裝設a) 支架的材質由業主統一規定製作,且藉由裝配在天花板、牆緣、樑柱及設施等可固定管線之處b) 支架的擺設位置需依現場實際狀況予以量測並架配之c) 配管時需考慮管線工作處、氣體種類、維護及配設之美觀程度等d) 管線之間的架設間距至少為 20mm 以上e) 螺釘與螺帽基本為不銹鋼製品8) 管線架設工作a) 確定每一段製作的管子的編號符合它們要被擺放的位置無誤b) 先予以擺放至要被架設的位置以確定其長度適合原來的設計c) 使用塑膠方塊在末端支撐住，並小心使其保持的潔淨度避免被破壞; 點焊之d) 使用自動焊接機對焊e) 焊道的外觀部份需擦亮9) 使用自動焊接機的對焊法a) 處理管材的端面、凹槽斜角部份b) 使用高純度的氬氣以設定好的流速循環通入管中c) 將欲焊之兩管中心對準後沿圓周各點焊 3~4 處帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術部____________________________________________________________________修正版：88/12/22 Marketech International Corp.d) 焊接尾端處覆以乾淨塑膠袋,以隔絕大氣中之塵埃、水氣及不純物。

e) 即使焊接完成,也要繼續通以氬氣保持循環狀態,並使焊接處金屬基底降溫f) 將焊接操作如電流、時間等記錄之10）如何焊接小口徑的配件（Micro Fitting）Micro Fittin。