少子寿命测量仪操作规程.docx

WT-2000PV少子寿命测量仪操作规程少子寿命测量仪操作规程一、 开机1、检测所有电源连接无误后，按Power键依次打开DOS系统（上面）和Window系统（下面）的工控机2、预热（10分钟以上） 3、检测前准备:WINTAU32 8.07.121 2 registered to S[JFile Edit Vbw1 Macro FVocess Arithi□i 一 一iNode ► 1Infeialce ||（1） 双击^^wmtau32图标进入软件；（2） 每次开机后点击Measure/Iiiitialize进行初始化二、检测检测时可以釆用手动检测或者自动检测的方式一）手动检测1、点击Load Wafei^1上料，会弹出"confiim"对话框，如果点击“ok”则放入样品正常上料，如点击"cancel"则可自由移动探头、样品台硅锭要与检测 托盘保持平行；2、检查设备翻盖内的互锁装置"INTERLOCK OVERRIDE"旁边的红色指示灯,闪烁后方可检测;3、 上料结束后，设备会自动画出样品的轮廓，点击屏幕上方工具栏中的AUTOSETTING 回，设备会自动设置监测参数；4、 点击工具栏中的MAP/Resume图标倉_进行扫描（mapping后结果如下图所示）；5、点击File\Save保存结果;1. 打描图2. 颜色刻度3. 测量数据结果6、在Histogram的对话框MIN里填写最小值（根据厂家所需填写，一般为2）,然后在MIN下方对应的空格里单击左键，设备会自动剔除扫描图中少子寿命少于2 的部分；7、 在图像左边线单击右键，待探头移动到相应位置后，对齐探头左起第一道白 线在硅锭上画垂线；8、 在图像右边线单击右键，待探头移动到制定位置后，对齐探头左起第一道白 线在硅锭上画垂线；9、 填写检测报表；10、 单击unload ware 建下料;（二）自动检测（1）在自动检测之前确定是否有需要改动的参数，如不需要直接按MEASURE进 行自动扫描；如需则点击工具栏中的MEASURE OPTIONSZ对话框中的Loating进行 修改，修改完毕后点击MEASURE进行自动扫描。

2） 待弹出Lode sample对话框后，进行上料上料完成后，单击“0K”，设备开始自动扫描；（3）其后操作与手动检测第5步至第10步相同三、关机1、 关机前取出所有样品2、 关闭 wmtau32 软件|呦或File\Exito3、 关闭 Windows 系统工控机 Start'Shut Down4、 关掉真空泵5、 如果Windows系统工控机在Windows关闭后未自动关闭，按下按钮关闭Windows工控机6、关闭DOS机的电源附录1：工具栏工具栏（图1J）显示软件快捷操作方式□ u-PCDB Q □ O 口 口夕E田金Q'Iu-PCD:选择测试的项目2、 I"；打开之前保存的数据3、 旧；保存测试的数据4、 I®：打印测试的数据5、 罔；打开或关闭Measurement Information对■话框6、 I匚；打开或关闭Distribution窗口7、I匕I ；矩形内包含区域8、 〔◎；圆形内包含区域9、 口；矩形外包含区域10、I口：圆形外包含区域11、I夕；点擦除12、心 放人查看所选区域13」田:多个窗I I排列14、 All.：全部关闭15、 A；整体放大或缩小16、 卩眾 V;放人或缩小至指定比例。

17、 |引I ：关闭wmtau32软件附录2：测试栏测试栏显示软件测试功能当前具体操作项目4> I® :打开recorder窗I I5、 8inch 2d：样品的尺寸6、 I命J上料，右侧的下拉列表可以选择样品形状，特征等7、 ；从存片器中上料（另选项目）8、 廐：下料9、 h ；开始新测试，删除旧测试10、I同:进行autosetting自动测试11> I©：选择测试的点数目12、 昼；进行扫描，继续扫描13、 IG ：全自动测试，包扌舌存储和autosettmgo14、 ①S测试菜单15、 I® ；停止检测16、戸；option菜单 oX=12 mmY=8 mmR=14.5mmLifetime [us]:511.52附录3：状态栏状态栏显示软件状态及当前探头所处点的状态WS5.14OK机体维护说明：硬件维护：1） WT-2000均已调好水平，因此不要随意移动机器，如需移动，请在调水平2） 不要用手移动探头，如需更改高度，清与主管工程师联系3） 不要随意调整软件里的任何设置，如需调整，须上报主管工程师4） 测量需盖好盖子，不用时请也盖好盖子5）每天测屋前，请用吸尘器清理设备中的赃物并用无尘布擦洗将机器擦干净。

Wintau32软件更新：对Wintau32软件进行更新时需要分别对"Windows机和Dos机进行更新 Windows机更新：1） 首先确认得到wintau32.exe软件2） 关闭wintau32软件3） 备份软件，将c: \wintau32文件夹整体复制4） 删除c: \wintau32文件夹下禺护"和画落“文件5） 将新的wintau32.exe粘贴到c: \wintau32卜覆盖原文件Dos机更新：1） 将wsos2.exe文件拷贝到c:\wintau32文件夹卜2） 确保windows机和dos机处于开机状态，打开wmtau32软件3） 选择 measurement\options,打开options 窗 I I打开interface 选项卡。