晶硅太阳能电池表面钝化技术-beneq.pdf

应用晶硅太阳能电池表面钝化技术晶硅太阳能电池表面钝化工业化镀膜技术由于持续地对降低生产成本和提高转化效率的要求，晶 硅(c–Si)太阳能电池的表面钝化就变得越来越必要了 目前通过高质量的表面钝化技术提高太阳能电池的转化 效率已广泛成为一个工业标准原子层沉积技术原子层沉积（ALD）是一种有序的气相镀膜技术，该技术 可以制备完全保型的和无针孔的 薄膜基于ALD技术在 通过表面钝化提高晶硅太阳能电池转化效率方面的良好 表现，ALD技术已开始进入光伏行业 芬兰倍耐克公司 的ALD设备和技术为实现高质量的氧化铝（Al2O3）表面钝 化提供了一个具有竞争力的工业化生产的手段表面钝化的制造工艺晶硅太阳能电池的表面钝化可以应用于n型和p型电池 (见以下示意图）• 通过一个ALD镀膜工艺就可以在n型太阳能电池的双面 形成高保型性和高致密性的表面钝化薄膜，这有利于 工艺流程的安排和生产能力的提高 • 为了确保钝化后的产品的质量，p型太阳能电池在钝化 工艺后需要一个湿刻蚀工序晶硅太阳能电池表面钝化技术倍耐克公司ALD设备的优越性较高的产能• 1600片/小时 (n型电池） • 3200片/小时 (p型电池）较低的成本• 0.052 欧元/片（n型电池） • 0.029 欧元/片（p型电池）倍耐克公司提供的基于ALD技术的表面钝化的其它优点包 括：• 1%-2%的转化效率的提高 • 无与伦比的薄膜均匀性 • 单一工艺完成双面镀膜（n型电池） • 低污染 • 低温镀膜工艺，(150 – 250 °C)在p型太阳能电池中，与注入量(光子)有关的少子寿命作为额 外载流子密度的函数。

此电池经过倍耐克公司ALD设备的Al2O3 表面钝化技术的处理实验用的Cz硅片测试前在450°C的氮气 中退火30分钟倍耐克公司的镀膜服务对于您的第一次电池钝化试验，通过我们的镀膜服务为 您验证表面钝化的概念，我们提供的服务包括：• 在10000级净化间环境采用ALD在晶硅表面沉积Al2O3 • 快速大批量提供镀膜样品以满足前期研发的需要倍耐克— 卓越于ALD在传统的和新兴的工业化薄膜生产方面， 倍耐克公司是 ALD应用的先驱 我们拥有ALD镀膜的最大基底尺寸全 球记录； 市场上第一台真正意义上的卷对卷ALD镀膜系 统和其它多项无与伦比的工业化生产的ALD发明， 我们 是您可靠的伙伴和满足工业化生产的ALD设备提供商 ??????? ? ? ? ? ??????? ?? ???????? ? ? ? ? ?????? ?? ?????? ? ? ? ? ? ? ?????? ?? ?????? ? ? ? ? ? ? ??????????????? ? ? ? ?????????? ?????????? ?????? ??????????? ?????????? ??????????? ???????? ????????????针对研发和中试生产的需要,倍耐克公司提供的 TFS 500薄膜系统 （见以上图片） 是正确的选择。

可靠耐用的 TFS 500设备提供了一 个最快捷的对基于ALD的晶硅电池表面钝化应用的渠道对工业化生产的需要， 倍耐克公司可提供 TFS NX300薄膜系统 (见以上图片和以下图片） 该系统包含4个ALD工艺模块， 每个模块 可每小时镀膜800片， 总产能为每小时3200片TFS NX300是一个独立的镀膜单元， 如果需要， 可以配置全自动的 “cassette–to–cassette”上下片和其它处理功能p型太阳能电池中的少子寿命图像，该电池 用倍耐克公司的ALD 设备进行了Al2O3表面钝化实验用的Cz硅片测试前在450°C的 氮气中退火30分钟ALD 20 nm Al2O3,退火后表面钝化用ALD设备倍耐克公司的ALD设备是在长期的实际经验和广泛的研究 开发基础上专业设计的结果所有的设备都是模块化的 可适应不同材料表面并满足不同薄膜应用的要求采用 倍耐克公司的ALD设备生产的薄膜是可调整的并允许生产 厂家为了提高电池的转化效率根据基底表面结构精确匹 配其钝化特性晶硅太阳能电池表面钝化工业化镀膜技术由于持续地对降低生产成本和提高转化效率的要求，晶 硅(c–Si)太阳能电池的表面钝化就变得越来越必要了。

目前通过高质量的表面钝化技术提高太阳能电池的转化 效率已广泛成为一个工业标准原子层沉积技术原子层沉积（ALD）是一种有序的气相镀膜技术，该技术 可以制备完全保型的和无针孔的 薄膜基于ALD技术在 通过表面钝化提高晶硅太阳能电池转化效率方面的良好 表现，ALD技术已开始进入光伏行业 芬兰倍耐克公司 的ALD设备和技术为实现高质量的氧化铝（Al2O3）表面钝 化提供了一个具有竞争力的工业化生产的手段表面钝化的制造工艺晶硅太阳能电池的表面钝化可以应用于n型和p型电池 (见以下示意图）• 通过一个ALD镀膜工艺就可以在n型太阳能电池的双面 形成高保型性和高致密性的表面钝化薄膜，这有利于 工艺流程的安排和生产能力的提高 • 为了确保钝化后的产品的质量，p型太阳能电池在钝化 工艺后需要一个湿刻蚀工序晶硅太阳能电池表面钝化技术倍耐克公司ALD设备的优越性较高的产能• 1600片/小时 (n型电池） • 3200片/小时 (p型电池）较低的成本• 0.052 欧元/片（n型电池） • 0.029 欧元/片（p型电池）倍耐克公司提供的基于ALD技术的表面钝化的其它优点包 括：• 1%-2%的转化效率的提高 • 无与伦比的薄膜均匀性 • 单一工艺完成双面镀膜（n型电池） • 低污染 • 低温镀膜工艺，(150 – 250 °C)在p型太阳能电池中，与注入量(光子)有关的少子寿命作为额 外载流子密度的函数。

此电池经过倍耐克公司ALD设备的Al2O3 表面钝化技术的处理实验用的Cz硅片测试前在450°C的氮气 中退火30分钟倍耐克公司的镀膜服务对于您的第一次电池钝化试验，通过我们的镀膜服务为 您验证表面钝化的概念，我们提供的服务包括：• 在10000级净化间环境采用ALD在晶硅表面沉积Al2O3 • 快速大批量提供镀膜样品以满足前期研发的需要倍耐克— 卓越于ALD在传统的和新兴的工业化薄膜生产方面， 倍耐克公司是 ALD应用的先驱 我们拥有ALD镀膜的最大基底尺寸全 球记录； 市场上第一台真正意义上的卷对卷ALD镀膜系 统和其它多项无与伦比的工业化生产的ALD发明， 我们 是您可靠的伙伴和满足工业化生产的ALD设备提供商 ??????? ? ? ? ? ??????? ?? ???????? ? ? ? ? ?????? ?? ?????? ? ? ? ? ? ? ?????? ?? ?????? ? ? ? ? ? ? ??????????????? ? ? ? ?????????? ?????????? ?????? ??????????? ?????????? ??????????? ???????? ????????????针对研发和中试生产的需要,倍耐克公司提供的 TFS 500薄膜系统 （见以上图片） 是正确的选择。

可靠耐用的 TFS 500设备提供了一 个最快捷的对基于ALD的晶硅电池表面钝化应用的渠道对工业化生产的需要， 倍耐克公司可提供 TFS NX300薄膜系统 (见以上图片和以下图片） 该系统包含4个ALD工艺模块， 每个模块 可每小时镀膜800片， 总产能为每小时3200片TFS NX300是一个独立的镀膜单元， 如果需要， 可以配置全自动的 “cassette–to–cassette”上下片和其它处理功能p型太阳能电池中的少子寿命图像，该电池 用倍耐克公司的ALD 设备进行了Al2O3表面钝化实验用的Cz硅片测试前在450°C的 氮气中退火30分钟ALD 20 nm Al2O3,退火后表面钝化用ALD设备倍耐克公司的ALD设备是在长期的实际经验和广泛的研究 开发基础上专业设计的结果所有的设备都是模块化的 可适应不同材料表面并满足不同薄膜应用的要求采用 倍耐克公司的ALD设备生产的薄膜是可调整的并允许生产 厂家为了提高电池的转化效率根据基底表面结构精确匹 配其钝化特性该文件是经过编辑而且会尽可能的保持不断更新但是倍耐克公司不能保证所有的数据都是准确和完整的，因此倍耐克公司不会对因为直接或间接使用该文件而造成的损失和破环负责。

本文档中的信息如有变更，恕不另行通知所有文本，图片，图表及本文件的任何其他内容 和布局都受版权和其他法律的保护未经倍耐克公司事先同意，上述内容不得复制，修改或用于其他电子或印刷出版物除非另有说明，所有商标都受到商标法的保护，特别是倍耐克公司的商标，标识，标志和铭牌本文件中的专利和商标是Beneq Oy公司的知识产权Beneq是 Beneq Oy的注册商标倍耐克表面钝化 9/2011公司总部Beneq Oy P.O. Box 262 FI-01511 Vantaa, Finland访问地址: Ensimmäinen savu FI-01510 Vantaa, FinlandTel. +358 9 7599 530 Fax +358 9 7599 5310firstname.lastname@ info@ 销售和服务办事处Beneq USA Beneq Germany Beneq China芬兰倍耐克有限公司上海代表处 上海市上海浦东张江高科技园区亮秀路112号1号楼905B 邮编201203, 上海,中国 Tel. +86 21 6881 0151 Fax +86 21 6881 0152。