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第一节键合工艺Wire bond 的构成 § §FAB FAB 的形成（的形成（空气中的金球空气中的金球空气中的金球空气中的金球Free Air BallFree Air Ball））））Ball Bonding (1st 結合)§ §加热加热 + + 振动振动( (超音波超音波) ) 形成形成AuAu和和AlAl金属间金属间的化合物的化合物行程行程 1: 1: 焊头在打火高度焊头在打火高度( ( 复复位位置位位置 ) )空气中的金球空气中的金球Free Air Free Air BallBall（（FAB)FAB)劈刀劈刀 - Capillary*打火要求: 准确和对准烧球烧球不好可能存在问题：烧球不好可能存在问题：1) 打扁金球2) 高尔夫球或叫匙球 - Golf or Club Ball3) 不粘 - Non sticking4) 起坑: 因劈刀直接打在焊压点行程行程 2: 2: 焊头由打火高度下降到第一焊点搜索高度焊头由打火高度下降到第一焊点搜索高度Die焊頭在向下運動的過程中, 金球通过气压的空气張力, 使金球緊貼劈刀凹槽在第一焊點搜索高度開始, 焊頭使用固定的速度搜索接觸高度第一焊點搜索速度第一焊點搜索速度1st Search Speed 1第一焊點搜索高度第一焊點搜索高度1st Search Height行程行程 3: 3: 接触高度和压焊工艺接触高度和压焊工艺; ; 第一焊点参数第一焊点参数最初的球形影响参数:预备功率Standby PowerDIEDIE最最終的球形和质量決定于終的球形和质量決定于: :1 1STST BOND BOND CONTACT TIMECONTACT POWER, CONTACT FORCE, BASE TIMEBASE POWERBASE FORCE行程行程 4: 4: 共晶金属的形成共晶金属的形成超声功率超声功率Ultrasonic PowerUltrasonic Power共晶金属的生長共晶金属的生長DIEDIE共晶金属的覆盖面积共晶金属的覆盖面积第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖第一焊點的功率和壓力變量曲線簡圖1 1st Bong Power and Force Profilest Bong Power and Force ProfileRelease ForceDieDieDieDieDieDieContact TimeBase TimeStandby Power功率功率POWER压力压力FORCEContact PowerBase PowerImpact ForceContact ForceBase ForceSearch TimeRel. TimeRel. Powe r行程行程 5: 完成第一点压焊后完成第一点压焊后, 焊头上升到反向高度（焊头上升到反向高度（Reverse Height））DIEDIE反向高度反向高度 - RHRH焊头向上运动焊头向上运动行程行程 6: 反向距离反向距离Stage 6: Reverse Distance反向距离反向距离-RDDIE行程行程 7: 7: 焊頭上升到线弧高度位置焊頭上升到线弧高度位置DIDIE E焊頭向上运动焊頭向上运动行程行程 8: 8: 在弧度高度在弧度高度搜索延迟搜索延迟－　－　XY XY 工作台向第二压工作台向第二压点移动点移动－　焊头不动－　焊头不动DIE搜索延迟搜索延迟SEARCH DELAYSEARCH DELAY行程行程 9: XYZ 移向第二移向第二壓點搜索高度壓點搜索高度DIDIE EARC MOTIONSD第二焊點搜索高度第二焊點搜索高度 - 2 - 2nd Sch. nd Sch. HighHigh第一焊點搜索速度第一焊點搜索速度 - - 2nd Sch. 2nd Sch. SpeedSpeedLeadDIE行程行程 10: 第二点接触第二点接触LEAD”最初的楔形影响参数:碰撞压力和預备功率行程行程 11: 11: 第二压点参数第二压点参数Lead最終的楔形质量決定于最終的楔形质量決定于: :2nd bondContact Time, Contact Power, Contact ForceBase Time, Base Power, Base Force第二焊点的功率和压力变量曲线简图第二焊点的功率和压力变量曲线简图第二焊点的功率和压力变量曲线简图第二焊点的功率和压力变量曲线简图Contact TimeBase TimeStandby Power功率功率POWER压压力力FORCEContact PowerBase PowerImpact ForceContact ForceBase ForceRelease Force 2LEADLEADLEADFinal Wedge ShapeSearch TimeRelease TimeRelease Power行程行程 12: 12: 焊头在尾丝高度焊头在尾丝高度完成第二點压焊后完成第二點压焊后, , 焊头上升到尾丝高焊头上升到尾丝高度度, , 然后线夹关上然后线夹关上Lead線夾“關上”WIRE CLAMP “CLOSE”尾絲長度尾絲長度Tail lengthLead行程行程 13: 13: 拉断尾丝拉断尾丝线夹线夹在尾丝位置关上在尾丝位置关上, , 把尾丝从第二压点把尾丝从第二压点拉断后拉断后, ,焊头上升到焊头上升到打火高度打火高度线夹关闭WIRE CLAMP “CLOSE”行程行程 14: 14: 金球形成，开始下一个压焊过程金球形成，开始下一个压焊过程线夹关闭WIRE CLAMP ”CLOSE”金球金球 FAB打火杆 E -Torch焊头到达烧球高度焊头到达烧球高度, ,烧球烧球延迟以后延迟以后, , 然后电子打然后电子打火形成对称的金球火形成对称的金球第二节常见问题处理问题处理§FAB 形成不良 1 1）检查线夹）检查线夹，劈刀是否污染，劈刀是否污染 2 2））用用pant light pant light 检检查金丝是否有手指印查金丝是否有手指印 3 3））EFO EFO 放电呈黃色，检查指纹，放电呈黃色，检查指纹，E-TorchE-Torch 4 4）如果是铜丝键合检查氮氢混合气是否正常）如果是铜丝键合检查氮氢混合气是否正常 1 1）检查）检查pad pad 有无污染有无污染 2 2）适当调整一焊点）适当调整一焊点Standby PowerStandby Power Contact TimeContact Time，，Contact PowerContact Power，，Contact ForceContact Force Base Time Base Time ，，Base PowerBase Power，，Base ForceBase Force参数参数 3 3）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号劈刀型号 4) 4) 铜丝键合检查铜丝键合检查FABFAB是否氧化，氮氢气有无异常是否氧化，氮氢气有无异常 5) 5) 调整调整PowerPower输出模式输出模式(Low,High)(Normal,Cont-(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont-P)I,Cont-P)1st bond non stick处理方法 1 1）检查引线框架）检查引线框架有无污染或不良有无污染或不良 2 2）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的）检查劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的 劈刀型号劈刀型号 3 3）适当调整二焊点）适当调整二焊点Standby PowerStandby Power Contact TimeContact Time，，Contact PowerContact Power，，Contact ForceContact Force Base Time Base Time ，，Base PowerBase Power，，Base ForceBase Force参数参数 4) 4) 调整调整PowerPower输出模式输出模式(Low,High)(Normal,Cont-(Low,High)(Normal,Cont-I,Cont-P)I,Cont-P)2nt bond non stick处理方法 1 1）检查线夹）检查线夹，劈刀是否污染，劈刀是否污染 2 2）检查有无缠丝）检查有无缠丝，沾有粘着物，碰伤等引起的金，沾有粘着物，碰伤等引起的金丝放线不畅丝放线不畅 3 3）检查劈刀选用型号是否正确）检查劈刀选用型号是否正确 4 4）适当调整）适当调整LOOPLOOP参数参数 5) 5) 以上调整都无效果可调用一个程序，编程再调以上调整都无效果可调用一个程序，编程再调整整§Loop 高度不稳定断丝的处理方法§ §Tail too short(Tail too short(尾丝太短）尾丝太短）Missing Ball(Missing Ball(失球）失球） §1 1）检查引线框架）检查引线框架有无污染或不良有无污染或不良2 2）检查线夹是否沾污和劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适）检查线夹是否沾污和劈刀是否沾污或损坏，是否选用了合适的劈刀型号的劈刀型号3 3）检查金丝有无缠丝）检查金丝有无缠丝，沾有粘着物，碰伤等引起的金丝放线不，沾有粘着物，碰伤等引起的金丝放线不畅畅§4 4）适当调整二焊点）适当调整二焊点Standby PowerStandby Power Contact Time Contact Time，，Contact PowerContact Power，，Contact Contact ForceForce Base Time Base Time ，，Base PowerBase Power，，Base ForceBase Force参数，参数，一般调整为适当一般调整为适当减小减小Power,ForcePower,Force5) 5) 调整调整PowerPower输出模式输出模式( (Normal,Cont-I,Cont-PNormal,Cont-I,Cont-P) )，一般，一般Low,NormalLow,Normal不易断丝不易断丝§6 6））Tail LengthTail Length适当加大适当加大 §7 7）检查打火电流和打火时间是否合适，打火）检查打火电流和打火时间是否合适，打火FABFAB正好形成为最佳，正好形成为最佳，过大可能把球打飞，过小可能打不着火。

正常打火会有蓝火，出过大可能把球打飞，过小可能打不着火正常打火会有蓝火，出现黄火就可有异常现黄火就可有异常上机操作培训项目§1）如何做好PR§2）弧度的简单调整§3）Bond TIP OFFSET 操作§4）更换劈刀的各个步骤§5）AUTO BOND菜单使用说明。