激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件.ppt

激光诱导晶化非晶硅薄膜激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究表面形貌与光电性能研究xxx激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件课题研究的背景和意义•玻璃衬底ITO上低成本制备低温多晶硅LTPS•等离子增强气相沉积PECVD制备非晶硅薄膜•准分子激光晶化ELC非晶硅a-Si薄膜为多晶硅poly-Si薄膜•制备有源显示器件AMLCD和AMOLED的薄膜晶体管TFT沟道•通过激光晶化非晶硅薄膜制备具有多晶硅光学薄膜层结构的太阳能电池激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件课题研究的现状及发展趋势•2008年S.R.P.Silva等人，通过激光晶化非晶硅PIN结构的n层为纳米晶硅作为电池光学薄膜，首次报道最高转换效率为2.5%•2009年C.C.Kuo，通过光学测试，成功利用激光晶化来控制晶粒大小，调节薄膜光通过率和反射率•通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节光透过率、反射率和电池转换效率激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件课题研究的内容及目标•通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节光透过率、反射率和电池转换效率•应用于激光诱导晶化非晶硅薄膜太阳能汽车玻璃，具有可见光透过、防紫外光的功效，还可以为蓄电池充电 激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件不同硅基材料光电性能比较多晶硅poly-Si微晶硅uc-Si非晶硅a-Si单晶硅sc-Si纳晶硅nc-Si禁带宽度ev1.21.2~1.71.71.122.3电子迁移率cm2/V*s10e210e110e010e310e2转换效率18%mitsubishi/15%sanyo20%Kyocera/激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件激光能量熔融a-Si薄膜相变潜热固态非晶硅液态非晶硅固液混合硅密度g/cm32.202.532.33比热容C(T)J/g*KC(T)=0.952+0.171*T/1685热传导K(T)W/cm*KK(T)=4.828*10e-11*(T- 900)e3+4.828*10e-9*(T-900)e2+3.714*10e-6*(T-900)+ 3.714*10e-2熔融潜热激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件激光能量熔融a-Si薄膜深度模拟曲线激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件蝇眼整形激光光斑能量分布模拟激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件蝇眼整形激光晶化晶粒金相显微图激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件AFM表征的晶粒与晶界分布图激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件不同激光功率下的晶粒大小变化激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件常温下不同激光能量对应的霍尔电子迁移率和电阻率激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件激光晶化PIN太阳能器件I-V曲线激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件PIN纳米晶光学薄膜能带结构图激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件预计的研究难点•研究三种相互关系：•统计不同激光功率与晶粒大小变化关系，经过Seco腐蚀液腐蚀多晶硅表面SEM图•光透过率和反射率变化与晶粒大小的关系•太阳能电池转换效率与光透过率和反射率的变化关系激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件创新点•首次通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节光透过率、反射率和电池转换效率。

应用于激光诱导晶化非晶硅薄膜太阳能汽车玻璃，具有可见光透过、防紫外光的功效，还可以为蓄电池充电激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件进度计划•2010.1 查找文献•2010.2-2010.3 熟悉设备，制定实验方案•2010.4-2010.6控制工艺参数沉积薄膜•2010.7-2010.10 器件测试并撰写小论文•2010.11-2011.1 总结实验数据撰写毕业大论文激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件谢谢！谢谢！Thank you!激光诱导晶化非晶硅薄膜表面形貌与光电性能研究课件。