翻转机控制电路和晶圆翻转系统的制作方法.docx

翻转机控制电路和晶圆翻转系统的制作方法翻转机控制电路和晶圆翻转系统的制作方法本实用新型提出了一种翻转机控制电路和晶圆翻转系统，包括：翻转机，安装于翻转机翻转位置处多个并联的接近开关，与接近开关相连的常开控制继电器，常开控制继电器串联于翻转机的回路中在回路中添加常开控制继电器，当翻转机内部的晶圆位于其中一个翻转位置时，则接近开关会导通，使常开控制继电器导通，从而控制回路才导通，此时当控制信号由翻转机的控制电路发出时，翻转机才能够进行翻转；若翻转机内部的晶圆不处于翻转位置时，回路无法导通，此时即便控制信号由翻转机发出，回路翻转机也不会进行翻转，这样便能够避免晶圆处于非翻转位置时控制信号控制翻转机翻转，从而避免晶圆脱落造成损伤甚至造成报废专利说明】【技术领域】 [0001] 本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种翻转机控制电路和晶圆翻转系 统 翻转机控制电路和晶圆翻转系统【背景技术】 [0002] 半导体行业中，翻转机（Roller)用于整批翻转晶圆以及传输晶圆翻转机内部设 有一机械手臂（Robot Arm),机械手臂用于抓取晶圆，在相应的翻转位置处可以将晶圆翻转 与水平线呈成不同的角度，例如90度、180度或者270度。

[0003] 现有技术中，翻转机设有4个翻转位置，分别是0度、90度、180度以及270度；在 翻转机处于〇度位置时，晶圆能够通过机械手臂装载在所述翻转机内部或者由机械手臂将 晶圆从翻转机内卸载至晶圆盒之中，并不对晶圆进行角度的翻转若需要对晶圆进行翻转， 那么翻转机必须位于90度、180度或者270度的翻转位置时，才能对晶圆进行相应的角度翻 转翻转机内部设有控制电路，控制电路用于发出控制信号，翻转机在得到相应的控制信号 时，会在相应的翻转位置处进行相应的翻转动作，例如在90度的翻转位置处，翻转机得到 第一次控制信号时，翻转机会通过机械手臂将晶圆从0度翻转至90度，在180度的翻转位 置处，在翻转机得到第二次控制信号时，翻转机会通过机械手臂将晶圆从90度翻转至180 度，以此类推 [0004] 当翻转机内部出现异常，翻转机的机械手臂可能位于翻转机除以上四个翻转位置 的其他任何位置处（非翻转位置），或者控制电路无法确认翻转机机械手臂的具体位置时， 此时若翻转机得到控制信号，则会导致晶圆在非翻转位置处进行翻转，从而致使晶圆从机 械手臂上脱落，造成晶圆的损伤，甚至报废 [0005] 然而，现有技术中的翻转机控制信号是由控制电路发出24V直流电压信号作为控 制信号。

因此，只要控制电路发出控制信号，翻转机得到相应的电压信号，因此翻转机不管 晶圆是否处于正确的翻转位置（例如90度、180度或270度）其均会自动进行翻转，那么此 时的控制信号将会导致晶圆从机械手臂上脱落，进而会导致晶圆的损伤和报废，存在极大 的风险 实用新型内容 [0006] 本实用新型的目的在于提供一种翻转机控制电路和晶圆翻转系统，能够确保翻转 机在晶圆处于非翻转位置时即便是获得控制信号也不会进行翻转，进而保护晶圆 [0007] 为了实现上述目的，本实用新型提出了 一种翻转机控制电路，所述翻转机控制电 路包括：多个接近开关、常开控制继电器和回路，所述多个接近开关并联且分别位于翻转机 的多个翻转位置处，所述常开控制继电器串联于所述回路中，所述接近开关与所述常开控 制继电器相连 [0008] 可选的，在所述的翻转机控制电路中，所述回路包括一信号继电器，所述信号继电 器与所述常开控制继电器串联 [0009] 可选的，在所述的翻转机控制电路中，所述接近开关的个数为4个 [0010] 本实用新型还提出了一种晶圆翻转系统，所述晶圆翻转系统包括：翻转机以及如 上文任意一项所述的翻转机控制电路。

[0011] 可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述翻转机系统还包括一翻转马达，所述翻转 马达位于所述翻转机的内部 [0012] 可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述翻转机系统还包括一刹车装置，所述刹车 装置位于所述翻转机的内部并与所述翻转马达相连 [0013] 可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述刹车装置与所述回路通过信号线进行信 号连接 [0014] 可选的，在所述的晶圆翻转系统中，所述翻转位置和接近开关的个数均为四个 [0015] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在：在控制翻转的回路中添加 一常开控制继电器，并在翻转机内部多个翻转位置处安装多个接近开关，接近开关相互之 间并联并与常开控制继电器相连，当翻转机内部的晶圆位于其中一个翻转位置时，则接近 开关会导通，使常开控制继电器导通，从而控制回路才导通，此时当控制信号由翻转机的控 制电路发出时，翻转机才能够进行翻转；若翻转机内部的晶圆不处于翻转位置时，回路无法 导通，此时即便控制信号由翻转机发出，回路翻转机也不会进行翻转，这样便能够避免晶圆 处于非翻转位置时控制信号控制翻转机翻转，从而避免晶圆脱落造成损伤甚至造成报废。

专利附图】【附图说明】 [0016] 图1为本实用新型一实施例中晶圆翻转系统的结构示意图具体实施方式】 [0017] 下面将结合示意图对本实用新型的翻转机控制电路和晶圆翻转系统进行更详细 的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描 述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果因此，下列描述应当被理解为对于本 领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制 [0018] 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作 [0019] 在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型根据下面说明和权 利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚需说明的是，附图均采用非常简化的形式且 均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

[0020] 请参考图1，在本实施例中，提出了一种翻转机控制电路，用于控制翻转机的翻转， 所述翻转机控制电路包括：多个接近开关40、常开控制继电器20和回路，所述接近开关40 相互之间并联且分别位于翻转机的多个翻转位置处，所述常开控制继电器20串联于所述 回路中，所述接近开关40与常开控制继电器20相连 [0021] 在本实施例中，所述回路包括信号继电器10,所述信号继电器10与所述常开控制 继电器20串联 [0022] 在本实施例中，所述接近开关40的个数为4个，四个接近开关40分别与翻转机的 四个翻转位置相对应，分别设置于不同的翻转位置处，用于探测翻转位置处是否存在晶圆， 在本实施例以外的其它实施例中，若翻转位置不止4个，则可以相应的调整接近开关40的 个数 [0023] 根据本实用新型的另一面，还提供一种晶圆翻转系统，所述晶圆翻转系统包括翻 转机（图未示出）以及与所述翻转机连接的翻转机控制电路，所述翻转机控制电路包括多 个接近开关40、常开控制继电器20和回路，所述接近开关40相互之间并联且分别位于翻转 机的多个翻转位置处，所述常开控制继电器20串联于所述回路中，所述接近开关40与常开 控制继电器20相连。

[0024] 在本实施例中，所述信号继电器10用于接收与所述翻转机连接的翻转机控制电 路发出的24V直流电压信号，所述控制信号即为24V直流电压信号，S卩，当所述信号继电器 10获得控制信号时，则信号继电器10会导通，若所述信号继电器10没有获得控制信号，则 信号继电器10处于断开状态同时，在本实施例中，所述常开控制继电器20为常开继电器， 确保在未接收到接近开关40发来的信号时，所述常开控制继电器20保持断开状态 [0025] 在本实施例中，所述翻转系统还包括一翻转马达（图未示出），所述翻转马达位于 所述翻转机的内部，所述晶圆翻转系统还包括一刹车装置30,所述刹车装置30位于所述翻 转机的内部并与所述翻转马达相连，所述刹车装置30与所述回路信号连接；当回路处于断 开的状态时，刹车装置30与所述翻转马达紧贴，给翻转马达增加摩擦力，避免翻转马达发 生翻转；当回路处于导通的状态时，刹车装置30与所述翻转马达松开，使翻转马达能够发 生翻转 [0026] 在本实施例中，所述翻转位置和接近开关40的个数均为四个，两者位置一一对 应，所述接近开关40也为常开开关；在本实施例以外的其他实施例中，所述翻转位置以及 接近开关40的个数均可以由具体要求来决定。

[0027] 本实施例提出的晶圆翻转系统，当翻转机内部的晶圆处于其中一个位置时，那么 该位置的接近开关40会导通，进而促使常开控制继电器20导通，若此时翻转机发出控制信 号，则会使信号继电器10导通，从而保证整个回路导通，使翻转机进行正常的翻转；若翻转 机内部的晶圆并不处于四个翻转位置中的任何一个位置，则接近开关40不会导通，不会使 常开控制继电器20导通，若翻转机发出翻转的信号，也翻转机也不会进行翻转，从而能够 保证处于内部的晶圆安全不别损伤 [0028] 综上，在本实用新型实施例提供的翻转机控制电路和晶圆翻转系统中，在控制翻 转的控制回路中添加一常开控制继电器，并在翻转机内部多个翻转位置处安装多个常开的 接近开关，接近开关相互之间并联并与常开控制继电器相连，当翻转机内部的晶圆位于其 中一个翻转位置时，则接近开关会导通，使常开控制继电器导通，从而控制回路才导通，此 时当控制信号由翻转机的控制电路发出时，翻转机才能够进行翻转；若翻转机内部的晶圆 不处于翻转位置时，回路无法导通，此时即便控制信号由翻转机发出，回路翻转机也不会进 行翻转，这样便能够避免晶圆处于非翻转位置时控制信号控制翻转机翻转，从而避免晶圆 脱落造成损伤甚至造成报废。

[0029] 上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用 任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型 揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型 的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内权利要求】1. 一种翻转机控制电路，其特征在于，所述翻转机控制电路包括：多个接近开关、常开 控制继电器和回路，所述多个接近开关并联且分别位于翻转机的多个翻转位置处，所述常 开控制继电器串联于所述回路中，所述接近开关与所述常开控制继电器相连2. 如权利要求1所述的翻转机控制电路，其特征在于，所述回路包括一信号继电器，所 述信号继电器与所述常开控制继电器串联3. 如权利要求1所述的翻转机控制电路，其特征在于，所述接近开关的个数为4个4. 一种晶圆翻转系统，其特征在于，所述晶圆翻转系统包括：翻转机以及如权利要求1 至3任意一项所述的翻转机控制电路5. 如权利要求4所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述翻转机系统还包括一翻转马 达，所述翻转马达位于所述翻转机的内部6. 如权利要求5所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述翻转机系统还包括一刹车装 置，所述刹车装置位于所述翻转机的内部并与所述翻转马达相连。

7. 如权利要求6所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述刹车装置与所述回路通过信 号线进行信号连接8. 如权利要求4所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述翻转位置和接近开关的个数 均为四个。