防静电物品量测作业规范.doc

分發對象管制編號分發對象管制編號總經理1行政部7管理代表2工程部8品保處3生技部9代管部4文管中心10資材部5采購課11製造部6IE課12修 訂 記 錄修訂日期修 訂 內 容 摘 要頁次版本生效日期2006.08.07首次發行8頁C/002006.08.212008.01.02組織調整後整版第一次發行8頁C/012008.01.212008.10.10修改文件封面8頁D/002008.10.152009.07.15統一升版並修改相應內容8頁E/002009.08.10制/修定者審核生技部工程部行政部製造處資材部代管部品保處采購課管理代表總經理1.目的建立並定義防靜電物品量測作業標準化，確保產品不受靜電的產生而損壞，以滿足客戶之需求.2.適用範圍廠內現有使用之防靜電物品.3.名詞定義 無4.職責4.1制造部:負責使用與維護4.2品管(IQC)：負責對防靜電物品進料量測判定與記錄4.2制研中心(ME):負責標准定義與指導5.作業內容：5.1靜電量測儀器：5.1.1靜電電壓測試儀；靜電表面阻抗測試儀；靜電綜合測試儀5.2靜電量測儀器操作方式:5.2.1靜電表面阻抗量測：需要將靜電表面阻抗測試儀底部兩根金屬導線完全接觸與平貼被測物體的表面，然後按下按鈕開關量出表面阻抗值，讀數指示燈所亮的位置就是此讀數；靜電表面阻規格要求10的6次方~10的10次方OHM。

如圖一) 如圖一手指按在按鈕上指示燈所的的位置為所量測的阻抗讀數5.2.2靜電起電電壓量測：需要先以手掌或保麗龍的物件單方向摩擦被測物體3-5次，然後把靜電電壓測試儀的感應棒放於被測物體上方距離10mm的高度量出起電電壓值，規格要求：小於100v以下；STATICO靜電壓測試器表量測值以1V為單位，最大量程為0~5000v的靜電電壓值如圖二)電壓感應棒數值視窗電源開關圖二5.2.3靜電綜合測試儀(697A)操作功能要求(如圖三)：5.2.3.1 1FAIL LO燈亮為低阻抗值指示燈:FOOTPLATE(靜電鞋量測)范圍：0~750kΩ；WRIST CORD(靜電手環量測)范圍：0~750kΩ；PASS燈亮為阻抗值達到OK良好范圍指示燈：FOOTPLATE(靜電鞋量測) 范圍：750k~100MΩ；WRIST CORD(靜電手環量測)范圍：750k~10MΩ；FAIL HI燈亮 為阻抗值偏高超出要求范圍:FOOTPLATE(靜電鞋量測) 范圍：120MΩ及以上；WRIST CORD(靜電手環量測)范圍：12MΩ及以上FAIL HIPASSFAIL LO靜電鞋量測端電力狀態報警指示燈手環 / 靜電鞋量測切換鍵靜電手環量測端啟動觸摸按鍵靜電手環量測插孔圖三5.2.3.2靜電鞋量測方式：將切換開關打至FOOTPLATE(靜電鞋量測)位置，然後被量測者穿上靜電鞋站在金屬測試踏板上(如圖四)，將手放於啟動觸摸按鍵上，再將測試按鍵按下，OK時會亮綠燈PASS(如圖五)，NG時會亮紅燈 並發出嗶嗶聲響。

量測ok亮綠燈電源開關圖四金屬測試踏板圖五5.2.3.3靜電手環量測方式：將切換開關打至WRIST CORD(靜電手環量測)位置，然後將靜電手環戴在手脕上緊貼皮膚，並將靜電手環上的鱷魚夾端夾在靜電綜合測試儀的靜電手環量測插孔上(或將靜電環末端香蕉頭插入靜電手環量測插孔上)(如圖六)，將手放於啟動觸摸按鍵上，再將測試按鍵按下，OK時會亮綠燈PASS(如圖七)，NG會亮紅燈並發出嗶嗶聲響量測ok亮綠燈圖六 圖七5.3防靜電包材檢測方式：5.3.1靜電Tray量測：使用靜電阻抗測試儀分別量測靜電Tray上下兩面的中心點與四個周邊對角處的靜電表面阻抗值(如圖八)；使用靜電電壓測試儀量測靜電Tray上下兩面的中心位置與四個周邊對角處表面靜電起電電壓值(如圖九)為Tray被量測之分區區域為Tray被量測之分區區域此為靜電電壓測試儀之感應棒，量則時需要離被測物體10mm高度 圖八量測時把靜電阻抗測試議放於Tray面量測用線框圈好的區域，中心點與四個周邊對角處的靜電表面阻抗值圖九 5.3.2靜電周轉箱&靜電筐量測：使用靜電阻抗測試儀分別量測靜電周轉箱外部與箱內部四周表面的中心位置，而箱內還需要量測箱內底部中位置的靜電表面阻抗值(如圖十)；使用靜電電壓測試儀量測靜電周轉箱外部與箱內部四周表面的中心位置，而箱內還需要量測箱內底部中位置表面靜電起電電壓值(如圖十一)。

為靜電箱靜電電壓量測之區域，分別為靜電周轉箱外部與箱內部四周表面的中心位置為靜電箱表面阻抗量測之區域，分別為靜電周轉箱外部與箱內部四周表面的中心位置 圖十 圖十一5.3.3靜電蜂槽量測：使用靜電阻抗測試儀分別量測靜電蜂槽(圖十二)中每片靜電刀卡中心位置的表面靜電表面阻抗值(如圖十二)； 使用靜電電壓測試儀量測靜電蜂槽中每片靜電刀卡中心位置的表面靜電起電電壓值(如圖十三)靜電蜂槽量測之位置區域靜電蜂槽量測之位置區域靜電蜂槽圖十二 圖十三5.3.4靜電氣泡袋&PE袋&靜電珍珠棉量測：使用靜電阻抗測試儀分別在被測物品前後兩面與袋內的中心點與四個周邊對角處量測其的靜電表面阻抗值(如圖十四)；其中靜電棉需要用靜電電壓測試儀量測其的靜電起電電壓如圖十五)圖十四 圖十五5.3.5防靜電物品檢測方式：5.3.5.1靜電帽、靜電衣、靜電手套、靜電椅、靜電椅套、L板架、靜電刷量測：使用靜電阻抗測試儀與靜電電壓測試儀分別量測表面阻抗和靜電起電電壓；5.3.5.1.1靜電帽、靜電衣、靜電椅套：使用靜電表面阻抗測試儀量測；量測被測物品之導電絲與表面,儀器底部兩根金屬導線完全接觸與平貼被測物體的表面(並需要橫跨多根導電絲)量測阻抗值，量測的阻抗值規格要求：10的6次方~10的10次方Ω(如圖十六)；使用靜電電壓測試儀量測被測物之表面的靜電起電電壓，規格要求：小於100v(如圖十七)。

圖十六 圖十七5.3.5.1.2靜電手套：使用靜電表面阻抗測試儀量測；量測手套背面之導電絲,儀器底部兩根金屬導線完全接觸與平貼被測物體的表面(並需要橫跨多根導電絲)量測阻抗值，然後量測手套正面之靜電膠顆表面，量測阻抗值規格要求：10的6次方~10的10次方Ω(如圖十八)；使用靜電電壓測試儀量測手套表面的靜電起電電壓，規格要求：小於100v(如圖十九)圖十八 圖十九5.3.5.1.3靜電椅、L靜電板架、靜電刷、靜電手指套、靜電膠膜、靜電皮：使用靜電表面阻抗測試儀量測；儀器底部兩根金屬導電極需要完全接觸與平貼被測物體的表面量測阻抗值，量測的阻抗值規格要求：10的6次方~10的10次方Ω；使用靜電電壓測試儀量測被測物品表面的靜電起電電壓規格要求：小於100v如圖示)(靜電椅之表面阻抗量測) (靜電椅之起電電壓量測)(L板架之表面阻抗量測) (L板架之起電電壓量測)量測毛刷頭之起電電壓(靜電刷之表面阻抗量測) (靜電刷之起電電壓量測)(靜電手指套之表面阻抗量測) (靜電手指套之起電電壓量測)(靜電手指套之表面阻抗量測) (靜電手指套之起電電壓量測)量測區域為四周對稱角與中心點。

靜電皮之表面阻抗量測)5.4在檢測靜電物品時需要對檢測儀器進行確認是正常，方可進檢測5.5靜電物品之抽樣檢測按<<抽樣計劃及免驗規范>>執行6.參考文件6.1<<靜電防護作業規范>> QEH-3-E-0306.2<<抽樣計劃及免驗規范>> QEH-3-Q-007 7.引用表單：7.1<<靜電物品進料檢驗記錄表>> QEH-4-E-102。