多晶硅生产DCS控制系统.docx
2页多晶硅的生产工艺大致要经过石英砂锻炼提纯生成工业硅 (Si),氯化氢(HCL)合成、三氯氢硅(SiHCL3)合成并粗馏、三氯氢硅多级精馏得到高纯度三氯氢硅,以及 三氯氢硅在氢气(H2)气氛中高温还原沉积在硅棒上生长出多晶硅等主要环节其中某 些厂房的一系列设备,如氯化氢合成炉、三氯氢硅加压合成炉、三氯 氢硅粗馏及精馏 塔提纯系统、还原炉等,是项目中自动化控制的重点,此外还包 括尾气回收等处的数 据采集和控制任务整个多晶硅生产制备过程连续性强,需 要控制的过程变量多,且 牵涉到各种有毒原料的配比和反应,相应控制系统的选 型需要能够满足多晶硅生产工 艺的需求黄河公司新能源分公司多晶硅采用基于西门子法多晶硅生产工艺展开的,各 过程 之间的关系如图所示目前根据生产工艺,霍尼韦尔分为四个控制区:合成控制区、还原区、精馏 区和 能源动力区,采用分区设立控制室,在能源动力区设置中心控制室目前中 心控制室 仅有监视功能,并承担全厂生产调度功能,采用调度方式协调各分 区对整个成产 过程进行控制整个系统由仪表、执行机构、模拟和数字信号模块,控制器、通讯处理器、 工程 师站和操作员站等构成整个 DCS 系统主要分上位机和下位机两块。
上位机 由操作员 站、冗余OS服务器和工程师站共同构成;下位机主要是自动化站下位机采用冗余CPU的DCS系统,其区别与PLC系统,为保证可靠性采用大量设 备的双重化设置主要采集信号为设备温度、流量、阀门状态等;主要控制 对象为阀 门和泵等尤其是各种泵,均采用专用程序控制从整体看,整个控制过程与水电站完全不同,上下位机采用以太网通讯,上 位机 软件为霍尼韦尔自己研发的软件,上下位机的通讯规约不明。
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