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XPS数据分析方法.docx

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  • 卖家[上传人]:夏**
  • 文档编号:457113816
  • 上传时间:2022-09-12
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    • XPS数据分析纵坐标:Intensity(cps)横坐标: binding energy (eV)除了氢氨元素,其他的元素都可以进行分析; 先进行宽扫,确定样品有何种元素, 再对该元素进行窄扫该元素的不同键接方式都对应不同的峰, 所以对元素窄扫的峰要进行分峰 (分峰之前要进行调整基线)如何分峰,不同的键接方式会对应不同的结合能第一步:先把元素的窄扫峰用 origin画出来;纵坐标:Intensity(cps)横坐标: binding energy (eV)第二步:调整基线;滴目口口艮』O0L ¥^.ulhMurt-* 1■:AI IPrtfiR ganM Tn*F5%h 4*«hhi an# >iMail*^f *〜钻* r-'P*H■白 1吁 >1 141 ll>r*fl->: P4M. ^nia'|iX«E « kidridUE ■..'F Muffi'bta *11 /I iaF wid<**.S.&(10,0 0Blinding Energy ” eW >"I Hl ll-.后 IrWTX* -I L»CI U3£l rbal- MaHwhJ..ii吊巾 BB 葡 71f 修 C4mpfh产G产noa (6小区4 代“* til • JqRTi*。

      5富 iQ -1血廿・2 Fwri. h \ jvJt* n选择 Ceate Baseline——next next——add/modify 添力口(双击)或去除( delete)基点,保证基线水平——Finishill岛电电城上工亡日33曜,*i• T》更的・的日益11= EiX;l:t * = a I u • •・ • ・ ,,:•*:M T ■ H C1R.」E最小化图,会出现调整基线后的坐标插入一列,单机右键选择set column values 输入col (b) -col(d):即开始纵坐标减去调整基线后的纵 坐标再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图 ------调整基线后的XPS窄扫图第三步:对峰求积分面积;k % *□.♦£*一*£<"/<19『◎•・" in 1“ k丁V»ccc1«««jj A L * njk 范虱 1Hl40000n35000-530C025W01500t5W0-£24 S2S &3Q S32 £34 S3« £Sfl巳.靛胃」- ■ ,--1■ :「 ■选择integrate peaks——next 狂点 元成*4:®加「丁乙乙一妁立口劣・”j£| &aphZ即area为峰的面积。

      第四步:分峰较难(有专门的分峰软件, origin也能分峰)第五步:求组分元素比:元素比等于:窄扫峰面积/XPS灵敏度因子(每一个元素的灵敏度因子不一致)表3原子艮脑里国子表修K黑能量* 文VGFHI:Mm Ka)1 E工索能媒« 文vaPHIMS通Mg KaAlXtoMg支疯A3$ 4 n 自 7 1H 91U J113ia 1 HIQ 1 16 ITIS J9 加 CIu Bl B c NO FN«MgAJ 61 P 8 CTAr KH-StO.U1» 0.049 0J" 0.3a 忏&.rs roc1,39口心九花 V.1J90.27 0.3«0FU 肺 (J.7A 口.勰J. 110.C1T 也触 OJ, 九期 Q* 0.Q5 0.71 L3 1,, j.ea0410 O.1B ORShl 币.了0・ 口依 O.&i O.T2 0.00 LOO%成 o.w刈 0r410.S1 , LOO1.90 l.OfO.WO.JO 0J72*前OM 第 LB LM9v0U OJRia ■第辱 a烦 明翔冏 1-00 工欣九币10m 9J10.17 新 «.as招 0M0 J1 加;g K1 醴\ P35455 54 M的।国G1吃1的&I1.Fb Ti £aM Ln6及NiiPulSmEnGd:皿5/aBJ 6/3Md/33d印S3d 5泮 n5泮M3/VOu-S.H 4所4.1T ■网 s.oo 5郦 s.e* s.oo i3 lfl-3LW 11.19U 12.4象和 1S.0心的心i9回8. TO 4.Cl *31 4题4.M5. SB H.M5 .舶 1.051O丸M HuBW,】 Jl.MS,M 135&OS 1凯3也才L :4.3邕缄15 S4.M c.to 53 段奥 5加 L0 0.M fl-35e.so8. SO 3.. 55 4.00 4.44.9 ⑪ ikl 号/ L幽IS 5 1*914.0 [肥15-7 1 ■福J7;fi *L3720.3LM 型I5l.M —11A;DIT».*lm»3nk 部 17.及札*,10.10,c..bL£ Gs.3in 口指 3 乩才安3-*3££_*3.Bk4.B 乩*».kD,丸工必M 543d 同闻 也Z r,” U.的 上,13 i.gv i.fli l.St s.j>MF JE.1S 3.14 3. SI 3«oa 0.04 。

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