尘埃粒子的测试方法.docx

洁净室尘埃粒子的测试方法洁净区/洁净室尘埃粒子的测试方法是采用计数浓度法，即通过尘埃粒子计数器测 定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（区） 的悬浮粒子洁净度等级1）测试要点-仪器开机后，预热至稳定后，方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正自检、 自校、零计数）-采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数•采样管必须干净，严禁渗漏采样管的长度应根据仪器的允许长度除另有规定外，长度不得大于1.5m我 们仪器无采样管）•计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差•必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定视仪器本身特点、使用频率、使 用环境等决定2 ）测试条件•洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应温度：18〜24 °C；湿度 45 〜60% ）•空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应N 4.9Pa，空气洁净度级别要求高 的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压•静态测试时，室内的测试人员不得多于2人，测试报告中应标明测试时所采用的 状态•对于单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始，非单向流要不少于30min后开始。

3 ）采样点数目及其布置A、最少采样点数目面积皿洁净度级别10010,000100,000V 102〜322N 10 〜V 20422N 20 〜V 40822N 40 〜V1001642N 100 〜V40103200N 200 〜V40080206N 400 〜V10001604013N 1000 〜V200040010032200080020063注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对于非单向流洁净 至，指的是房间面积B、 采样点的位置采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置；采样点多于5点时，也可以 在离地面0.8 m〜1 . 5m高度的区域内布置，但每层不少于5点C、 采样点的限定对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不 得少于5次每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不 同采样量洁净度级别采样量，L/次N 0. 5 umN 5 um1005.66—10,0002.838.5100,0002.838.5注意：确认洁净室（区）送风量和压差达到要求后，进行采样；对于单向流，计数器 采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜朝上；布置采样点时，应避 开回风口；采样时，测试人员应在采样口的下风侧。

4 ）结果计算A、采样点的平均粒子浓度A-C 1 +C 2 +…+CnN式中：A ——某一采样点的平均粒子浓度，粒（个）/立方米；Ci ——某一采样点的粒子浓度（I=1,2,3, •••/），粒（个）/立方米;N ——某一采样点上的采样次数，次；B、平均值的均值M-A 1 +A 2 + …+AnL式中：M ——平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒（个）/立方米;Ai ——某一采样点的平均粒子浓度（I=1,2,3, •••/），粒（个）/立方米；L ——某一洁净室（区）内的总采样点数，个；C、标准误差SE-(A 1 -M) 2 +(A 2 -M) 2 +…(A L -M) 2L(L-l)式中：SE ——平均值均值的标准误差，粒（个）/立方米；置信上限从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95% ）计算得到的估计上 限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限UCL=M+t X SE式中：UCL ——平均值均值的95%置信上限，粒（个）/立方米；t —— 95%置信上限的t分布系数，见下表采 样 点八、、 数L23456789〉9t6.312.922.352.132.021.941.901.86一注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。

5 )结果评定判断悬浮粒子洁净度级别应依据以下两个条件：-每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai W级别界限全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL W级别界限。