气体压力流量控制器通讯协议.pdf

气体流量、压力控制器 气体流量、压力控制器 通讯协议 通讯协议 上海睿熹科技有限公司上海睿熹科技有限公司 ShangHai Wise&Choose Technology Co.,Ltd 气体流量、压力控制器通讯协议 目录目录 一、 通讯协议格式一、 通讯协议格式------------------------------------------------------------------------------------------3 二、 二、 MFC-1000 气体质量流量控制器（单模块）通讯协议气体质量流量控制器（单模块）通讯协议---------------------------------------5 三、 三、 MFC-1000-M 气体质量流量控制器（多模块）通讯协议气体质量流量控制器（多模块）通讯协议-----------------------------------8 四、 四、 PPC-1000 气体压力控制器（单模块）通讯协议气体压力控制器（单模块）通讯协议---------------------------------------------11 五、 五、 PPC-1000-M 气体压力控制器（多模块）通讯协议气体压力控制器（多模块）通讯协议-----------------------------------------13 六、 六、 PBPC-1000 气体背压控制器（单模块）通讯协议气体背压控制器（单模块）通讯协议-------------------------------------------15 七、 七、 PBPC-1000-M 气体背压控制器（多模块）通讯协议气体背压控制器（多模块）通讯协议---------------------------------------17 2气体流量、压力控制器通讯协议 一、 通讯协议格式一、 通讯协议格式 1、、 通讯方式通讯方式 ? RS232 串口通讯协议规范： 项目项目 协议规范协议规范 物理级 TIA/EIA-232-E 传送线 3 芯屏蔽电缆线 配线长度 ≤3m 传输速率 19200bps 数据交换方式 同步串行、全双工 传送协议 点对点 字长 10bit 起始位长度 1bit 停止位长度 1bit 奇偶校验 无 出错检查方式 无 ? 波特率 RS-232 数据传送速率为固定速率 19200bps 2、数据链路层、数据链路层 数据链路层规定路协议的数据帧格式。

压力和流量控制器和主机采用相同数据帧格式，数据帧中的每个字段使用 16 进制数表示，命令字为非 ASCII 码，前导字、地址、结束字和数据都使用标准 ASCII表示 数据帧格式如下：6 前导字 地址字 命令字 数据 结束字 前导字：主机系统向气体压力和流量控制器传送数据或命令，为固定 的字符 0x24，ASCII 码表示“$”,表示一个帧开始； 气体压力和流量控制器向制主机系统返回数据， 为固定的字3气体流量、压力控制器通讯协议 符 0x23，ASCII 码表示“#” ，表示一个帧开始； 地址字： 控制器地址可通过命令方式对气体流量和压力控制器进行地址设置； 气体流量控制器： ? 单模块控制模式固定地址（默认地址）为 0x7E（十进制 126） ； ? 多模块控制模式地址设置范围为 0x00—0x1F （十进制 0—31） ； 气体压力控制器： ? 单模块控制模式固定地址（默认地址）为 0x7F（十进制 127） ； ? 多模块控制模式地址设置范围为 0x20—0x3F（十进制 32—63） ； 命令字：命令字为非 ASCII 码，除 0x0d 和 0x0a 两种数据； 数据： 由多 ASCII 码数据组成的一组数据； 结束字：为 0x0d； 4气体流量、压力控制器通讯协议 二、 二、 MFC-1000 气体质量流量控制器（单模块）通讯协议气体质量流量控制器（单模块）通讯协议 通讯命令格式：通讯命令格式： ? 读取控制器地址： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x02 无 0x0d 返回数据：控制器地址 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x23 0x7e 0x02 地址 0x0d 当返回地址为 0x7e（十进制 126） ，控制器为单模块控制； 当返回地址在 0x00—0x1F（十进制 0—31） ，控制器为多模块控制； ? 写入模块地址： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x03 地址 0x0d 写入地址为 0x7e（十进制 126） ，控制器工作于单模块控制； 写入地址为 0x00—0x1F（十进制 0—31） ，控制器工作于多模块控制； ? 设置流量控制值： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x51 流量设置值 0x0d 设置气体流量控制值数据格式为 5 位(***.**)，单位 ml/min； ? 控制启动： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x54 无 0x0d ? 气体类型选择： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x55 气体类型 0x0d 气体类型数据：(用户自定义，可使用 4 种气体) 0x30——出厂标定气体（氮气） （注：用户不可重新标定） 0x31——用户定义 1（注：出厂标定氢气，用户可自行重新标定） 0x32——用户定义 2 0x33——用户定义 3 5气体流量、压力控制器通讯协议 0x34——用户定义 4 返回数据：气体校正状态 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x23 0x7e 0x55 校正状态 0x0d 未校正返回： 0x00 已校正： 0x55 ? 读取选择气体类型的校正状态 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x62 气体类型 0x0d 返回数据：气体校正状态 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x23 0x7e 0x62 校正状态 0x0d 未校正返回： 0x00 已校： 0x55 ? 气体流量值传送至客户端（即 PC 主机） ： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “#”-0x23 0x7e 0x61 流量数据 0x0d 气体流量值数据格式为 5 位(***.**)； 定时的由气体流量控制器向客户端（即 PC 主机）发送实时的气体流量值； ? 流量校正： 流量校正是在单模块控制模式进行（即地址为 0x7e） ，先需选择气体类型后进行校正。

0ml/min 流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x30 0x0d 25ml/min（10ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 6气体流量、压力控制器通讯协议 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x31 0x0d 50ml/min（20ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x32 0x0d 75ml/min（30ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x33 0x0d 100ml/min（40ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x34 0x0d 125ml/min（50ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x35 0x0d 150ml/min（60ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x36 0x0d 175ml/min（70ml/min）流量校正命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x33 0x37 0x0d ? 流量校正结束命令： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x31 无 0x0d ? 流量校正删除命令 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x34 无 0x0d 7气体流量、压力控制器通讯协议 三、 三、 MFC-1000-M 气体质量流量控制器（多模块）通讯协议气体质量流量控制器（多模块）通讯协议 通讯命令格式：通讯命令格式： ? 读取控制器地址： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x02 无 0x0d 返回数据：控制器地址 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x23 0x7e 0x02 地址 0x0d 当返回地址为 0x7e（十进制 126） ，控制器为单模块控制； 当返回地址在 0x00—0x1F（十进制 0—31） ，控制器为多模块控制； ? 写入模块地址： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 0x7e 0x03 地址 0x0d 写入地址为 0x7e（十进制 126） ，控制器工作于单模块控制； 写入地址为 0x00—0x1F（十进制 0—31） ，控制器工作于多模块控制； ? 设置流量控制值： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 地址 0x51 流量设置值 0x0d 地址范围：0x00—0x1F（十进制 0—31） ； 设置气体流量值数据格式为 5 位(***.**)，单位 ml/min； ? 气体类型选择： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 地址 0x55 气体类型 0x0d 气体类型数据：(用户自定义，可使用 4 种气体) 0x30——出厂标定气体（氮气） （注：用户不可重新标定） 0x31——用户定义 1（注：出厂标定氢气，用户可自行重新标定） 0x32——用户定义 2 0x33——用户定义 3 0x34——用户定义 4 8气体流量、压力控制器通讯协议 返回数据：气体校正状态 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x23 地址 0x55 校正状态 0x0d 未校正返回： 0x00 已校正： 0x55 ? 读取选择气体类型的校正状态 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x24 地址 0x62 气体类型 0x0d 返回数据：气体校正状态 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “$”-0x23 地址 0x62 校正状态 0x0d 未校正返回： 0x00 已校正： 0x55 ? 读取当前气体流量值： 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “#”-0x24 地址 0x61 无 0x0d 返回数据：返回当前气体流量值 前导字前导字 地址字地址字 命令字命令字 数据数据 结束字结束字 “#”-0x23 地址 0x61 流量数据 0x0d 气体流量值数据格式为 5 位(***.**)； 可由客户端（即 PC 主机。