非球面光学零件超精密加工技术.pdf
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非球面光学零件超精密加工技术1．概述1.1 非球面光学零件的作用非球面光学零件是一种非常重要的光学零件，常用的有抛物面镜、双曲面镜、椭球面镜等非球面光学零件可以获得球面光学零件无可相比的良好的成像质量，在光学系统中能够很好的矫正多种像差，改善成像质量，进步系统鉴别能力，它能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件，从而简化仪器结构，降低本钱并有效的减轻仪器重量非球面光学零件在军用和民用光电产品上的应用也很广泛，如在摄影镜头和取景器、电视摄像管、变焦镜头、电影放影镜头、卫星红外看远镜、录像机镜头、录像和录音光盘读出头、条形码读出头、光纤通讯的光纤接头、医疗仪器等中1.2 国外非球面零件的超精密加工技术的现状80 年代以来，出现了很多种新的非球面超精密加工技术，主要有：计算机数控单点金刚石车削技术、 计算机数控磨削技术、计算机数控离子束成形技术、计算机数控超精密抛光技术和非球面复印技术等，这些加工方法， 基本上解决了各种非球面镜加工中所存在的题目前四种方法运用了数控技术，均具有加工精度较高，效率高等特点，适于批量生产进行非球面零件加工时，要考虑所加工零件的材料、外形、精度和口径等因素，对于铜、铝等软质材料，可以用单点金刚石切削(SPDT) 的方法进行超精加工，对于玻璃或塑料等，当前主要采用先超精密加工其模具，而后再用成形法生产非球面零件，对于其它一些高硬度的脆性材料，目前主要是通过超精密磨削和超精密研磨、抛光等方法进行加工的，另外．还有非球面零件的特种加工技术如离子束抛光等。
国外很多公司己将超精密车削、磨削、 研磨以及抛光加工集成为一体，并且研制出超精密复合加工系统，如Rank Pneumo公司生产的Nanoform300 、 Nanoform250 、 CUPE 研制的Nanocentre 、日本的AHN60―3D、 ULP一 100A(H)都具有复合加工功能，这样可以便非球面零件的加工更加灵活1.3 我国非球面零件超精密加工技术的现状我国从 80 年代初才开始超精密加工技术的研究，比国外整整落后了20 年近年来， 该项工作开展较好的单位有北京机床研究所、中国航空精密机械研究所、哈尔滨产业大学、中科院长春光机所应用光学重点实验室等为更好的开展对此项超精密加工技术的研究，国防科工委于1995 年在中国航空精密机械研究所首先建立了国内第一个从事超精密加工技术研究的重点实验室2．非球面零件超精密切削加工技术美国 Union Carbide 公司于 1972 年研制成功了R―θ方式的非球面创成加工机床这是一台具有位置反馈的双坐标数控车床，可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R， 实现非球面的镜面加工加工直径达φ380mm，加工工件的外形精度为±0.63μm，表面粗糙度为Ra0.025μm。
摩尔公司于1980 年首先开发出了用3 个坐标控制的M―18AG 非球面加工机床，这种机床可加工直径356mm 的各种非球面的金属反射镜英国Rank Pneumo 公司于1980 年向市场推出了利用激光反馈控制的两轴联动加工机床(MSG―325)，该机床可加工直径为350mm 的非球面金属反射镜，加工工件外形精度达0.25-0.5μm，表面粗糙度Ra 在 0.01-0.025μm 之间随后又推出了ASG2500 、ASG2500T 、Nanoform300 等机床，该公司又在上述机床的基础上，于1990 年开发出Nanoform600 ，该机床能加工直径为600mm 的非球面反射镜，加工工件的外形精度优于0．1μm，表面粗糙度优于 0.01μm代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯．利弗莫尔 (LLNL)实验室于1984 年研制成功的LODTM，它可加工直径达2100mm ，重达 4500kg 的工件其加工精度可达0.25μm，表面粗糙度Ra0.0076μm，该机床可加工平面、球面及非球面，主要用于加工激光核聚变工程所需的零件、红外线装置用的零件和大型天体反射镜等英国 Cranfield 大学精密工程研究所(CUPE) 研制的大型超精密金刚右镜面切削机床，可以加工大型X 射线天体看远镜用的非球面反射镜(最大直径可达1400mm，最大长度为600mm 的圆锥镜 )。
该研究所还研制成功了可以加工用于X射线看远镜内侧回转抛物面和外侧回转双曲面反射镜的金刚石切削机床日本开发的超精密加工机床主要是用于加工民用产品所需的透镜和反射镜，目前日本制造的加工机床有：东芝机械研制的ULG―l00A(H)不二越公司的ASP ―L15、丰田工机的AHN10、AHN30×25、AHN60―3D 非球面加工机床等3．非球面零件超精密磨削加工技术3.1 非球面零件超精磨削装置英国 Rank Pneumo 公司 1988 年开发了改进型的ASG2500 、ASG2500T 、Nanoform300 机床，这些机床不仅能够进切削加工，而且也可以用金刚石砂轮进行磨削，能加工直径为300mm的非球面金属反射镜，加工工件的外形精度为0.3-0.16μm，表面粗糙度达Ra0.01μm最近又推出Nanoform250 超精密加工系统，该系统是一个两轴超精密CNC机床，在该机床上既能进行超精密车削又能进行超扬密磨削．还能进行超精密抛光最突出的特点是可以直接磨削出能达到光学系统要求的具有光学表面质量和面型精度的硬脆材料光学零件该机床采用了很多先进的Nanoform600 、Optoform50 设计思想，机床最大加工工件直径达250mm，它通过一个升高装置使机床的最大加工工件直径达到450mm，另外通过控制垂直方向的液体静压导轨 (Y 轴)还能磨削非轴对称零件，机床数控系统的分辨率达0.001μm，位置反馈元件采用了分辨率为8.6nm 的光栅或分辨率为1.25nm 的激光干涉仪， 加工工件的面型精度达0.25μm，表面粗糙度优于Ra0.01μm。
1．概述1.1 非球面光学零件的作用非球面光学零件是一种非常重要的光学零件，常用的有抛物面镜、双曲面镜、椭球面镜等非球面光学零件可以获得球面光学零件无可相比的良好的成像质量，在光学系统中能够很好的矫正多种像差，改善成像质量，进步系统鉴别能力，它能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件，从而简化仪器结构，降低本钱并有效的减轻仪器重量非球面光学零件在军用和民用光电产品上的应用也很广泛，如在摄影镜头和取景器、电视摄像管、变焦镜头、电影放影镜头、卫星红外看远镜、录像机镜头、录像和录音光盘读出头、条形码读出头、光纤通讯的光纤接头、医疗仪器等中1.2 国外非球面零件的超精密加工技术的现状80 年代以来，出现了很多种新的非球面超精密加工技术，主要有：计算机数控单点金刚石车削技术、 计算机数控磨削技术、计算机数控离子束成形技术、计算机数控超精密抛光技术和非球面复印技术等，这些加工方法， 基本上解决了各种非球面镜加工中所存在的题目前四种方法运用了数控技术，均具有加工精度较高，效率高等特点，适于批量生产进行非球面零件加工时，要考虑所加工零件的材料、外形、精度和口径等因素，对于铜、铝等软质材料，可以用单点金刚石切削(SPDT) 的方法进行超精加工，对于玻璃或塑料等，当前主要采用先超精密加工其模具，而后再用成形法生产非球面零件，对于其它一些高硬度的脆性材料，目前主要是通过超精密磨削和超精密研磨、抛光等方法进行加工的，另外．还有非球面零件的特种加工技术如离子束抛光等。
国外很多公司己将超精密车削、磨削、 研磨以及抛光加工集成为一体，并且研制出超精密复合加工系统，如Rank Pneumo公司生产的Nanoform300 、 Nanoform250 、 CUPE 研制的Nanocentre 、日本的AHN60―3D、 ULP一 100A(H)都具有复合加工功能，这样可以便非球面零件的加工更加灵活1.3 我国非球面零件超精密加工技术的现状我国从 80 年代初才开始超精密加工技术的研究，比国外整整落后了20 年近年来， 该项工作开展较好的单位有北京机床研究所、中国航空精密机械研究所、哈尔滨产业大学、中科院长春光机所应用光学重点实验室等为更好的开展对此项超精密加工技术的研究，国防科工委于1995 年在中国航空精密机械研究所首先建立了国内第一个从事超精密加工技术研究的重点实验室2．非球面零件超精密切削加工技术美国 Union Carbide 公司于 1972 年研制成功了R―θ方式的非球面创成加工机床这是一台具有位置反馈的双坐标数控车床，可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R， 实现非球面的镜面加工加工直径达φ380mm，加工工件的外形精度为±0.63μm，表面粗糙度为Ra0.025μm。
摩尔公司于1980 年首先开发出了用3 个坐标控制的M―18AG 非球面加工机床，这种机床可加工直径356mm 的各种非球面的金属反射镜英国Rank Pneumo 公司于1980 年向市场推出了利用激光反馈控制的两轴联动加工机床(MSG―325)，该机床可加工直径为350mm 的非球面金属反射镜，加工工件外形精度达0.25-0.5μm，表面粗糙度Ra 在 0.01-0.025μm 之间随后又推出了ASG2500 、ASG2500T 、Nanoform300 等机床，该公司又在上述机床的基础上，于1990 年开发出Nanoform600 ，该机床能加工直径为600mm 的非球面反射镜，加工工件的外形精度优于0．1μm，表面粗糙度优于 0.01μm代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯．利弗莫尔 (LLNL)实验室于1984 年研制成功的LODTM，它可加工直径达2100mm ，重达 4500kg 的工件其加工精度可达0.25μm，表面粗糙度Ra0.0076μm，该机床可加工平面、球面及非球面，主要用于加工激光核聚变工程所需的零件、红外线装置用的零件和大型天体反射镜等英国 Cranfield 大学精密工程研究所(CUPE) 研制的大型超精密金刚右镜面切削机床，可以加工大型X 射线天体看远镜用的非球面反射镜(最大直径可达1400mm，最大长度为600mm 的圆锥镜 )。
该研究所还研制成功了可以加工用于X射线看远镜内侧回转抛物面和外侧回转双曲面反射镜的金刚石切削机床日本开发的超精密加工机床主要是用于加工民用产品所需的透镜和反射镜，目前日本制造的加工机床有：东芝机械研制的ULG―l00A(H)不二越公司的ASP ―L15、丰田工机的AHN10、AHN30×25、AHN60―3D 非球面加工机床等3．非球面零件超精密磨削加工技术3.1 非球面零件超精磨削装置英国 Rank Pneumo 公司 1988 年开发了改进型的ASG2500 、ASG2500T 、Nanoform300 机床，这些机床不仅能够进切削加工，而且也可以用金刚石砂轮进行磨削，能加工直径为300mm的非球面金属反射镜，加工工件的外形精度为0.3-0.16μm，表面粗糙度达Ra0.01μm最近又推出Nanoform250 超精密加工系统，该系统是一个两轴超精密CNC机床，在该机床上既能进行超精密车削又能进行超扬密磨削．还能进行超精密抛光最突出的特点是可以直接磨削出能达到光学系统要求的具有光学表面质量和面型精度的硬脆材料光学零件该机床采用了很多先进的Nanoform600 、Optoform50 设计思想，机床最大加工工件直径达250mm，它通过一个升高装置使机床的最大加工工件直径达到450mm，另外通过控制垂直方向的液体静压导轨 (Y 轴)还能磨削非轴对称零件，机床数控系统的分辨率达0.001μm，位置反馈元件采用了分辨率为8.6nm 的光栅或分辨率为1.25nm 的激光干涉仪， 加工工件的面型精度达0.25μm，表面粗糙度优于Ra0.01μm。
Nanocentre250 、Nanocentre600 是一种三轴超精密CNC非球面范成装置，它可以满足单点和延性磨削两个方面的使用要求，通过公道化机床结构设计、利用高刚度伺服驱动系统和液体静压轴承使机床具有较高的。
