射频电源电路.docx

射频电源电路TEGAL 42T著需孑対俺机射頻电逼电路舉甘盘逼-rt1CE：7TQEuHu1?衽丄gE 两 rtt4". J4ertVw0r+Vp-^l/A £aArX■旳fe P Out亠主要技术性能1、 射频源：1） 板极电压：200〜1500V连续可调2） 板极电流：W0.36A3） 板极直流消耗功率：W0.58KW4） 输出功率：6〜500W连续可调5） 频率：13.56MHz2、 匹配箱：1） 阻抗匹配范围：（2.7〜45）〜j（0〜70） 02） 具有手动调节网络参数达到匹配之功能3） 网络参数由耦合和调谐旋钮刻度读出使用方法1、 逆时针调节“Ua调节”电位器到最低位置（因没开电源，没有指示，以调不动为止）， 功率计开关置于2 kW档2、 插上电源插头，打开电源开关预热5分钟左右，红色灯应该亮3、 按下“Ua—ON”开关，绿指示灯应该亮，缓缓调节“Ua调节”到500V左右，Ia、功率 计应有指示，然后反复调节耦合和调谐旋钮，直至反映室起辉起辉后自偏压应有 指示4、 反复调节耦合和调谐旋钮使反射功率减到最小da约为100mA（在Ua为500V时） 切忌反射功率太大，否则易损坏机件。

5、 调节Ua至所需功率，注意随时调节匹配网络使反射功率接近06、 自偏压的大小和反应室及工艺条件有关，仅供参考7、 重复工作时，只要负载不变，每次只要关断和接通Ua即可8、 工作完毕后，Ua调到最低，关断电源开关安 装 与 调 试1 、 电子管的安装 打开机箱上盖，将电子管垂直向下插入管座，插到底，然后顺时针旋转大约 60 度 （有限位），套上接线卡子，将螺钉旋紧一些，再盖上机箱的上盖注意用手拿电子管时，不能碰 陶瓷部位，以免手上汗迹沾在陶瓷 部位降低管子的耐压2、 接线如图，注意射频电缆接头要旋紧，电缆弯曲尽量自然一些3、 电源的检查 在未正式与设备连调之前，或在工作过程中有异常，比如不起辉、 不稳定、反向功率大等，可单独检查电源方法：用假负载替代真实负载，接通电源-开启开关-当红色小灯亮后-“Ua调节” 旋钮逆时针调到头—按下“Ua—ON”开关—顺时针调Ua到200伏（此时各表头均有 指示）—调匹配器（反复调）使反射功率最小，如果这时Ua、Ia、功率都正常，则 可认为电源工作正常UaxIax80%~入射功率4、 起辉在确认射频源正常后，即可接上真实负载进行调试第一次起辉时，可将Ua调到400〜500V,如果未起辉，反射功率会很大，调节耦合 和调谐旋钮使之起辉，暂且先不管反射功率有多大。

如果不起辉，可降低真空度 磁控溅射真空度可降到数Pa真空度低些容易起辉如还不起辉，可采取短时间加 大功率的方法比如Ua加到700V,如果不起辉，马上把Ua降一点，再调一下匹 配器电容，再略加高Ua,如此重复进行，直到起辉为止即如果再不起辉，应检查反应室及接线部分是否有问题 起辉后，调匹配器之电容使反射功率减小直到接近零如果起辉时真空度较低，起辉后可逐渐提高真空度.5、 加功率 在起辉正常后，可提高功率，这里要注意的是，在初次起辉时，可能由于反应或工 作气体不干净，设计上欠合理等因素而使反应室内打火，这种情况功率不能提高 第二，在正常工作时，通常靶上所加功率为5〜10W/cm2,极限功率约为20 W/cm2, 所加功率不要超过极限值，否则会烧毁靶6、 几个参考数据射频功率源驻波比＜1.5磁控溅射功率密度5〜10 W/cm2磁控溅射压强0.5〜数Pa自偏压:100V〜500V (自偏压与真空度、功率密度、磁控强度、靶材等有关)7、几种故障的判断在正常工作时，如果发生跳闸现象，则直流供电部分出现故障Ua 突然变大时，电子管损坏的可能性大有 Ua 无 Ia 时，驱动板有故障或高频插头接触不良四、 故障现象及维修1 、 故障现象：有 Ua 无 Ia原因及解决办法：Ua接线断、表头上虽有Ua而电子管上没有；2、 故障现象：有 Ua，Ia 小，无 Pf 和 Pr。

原因及解决办法： 一般是连接射频源和匹配器或功率计的电缆插头与插座接触不良或根本没有接触 上，用钳子或镊子将插座芯往里挟一下，用洒精棉球把插头擦干净再插上即可解决3、 故障现象：有Ua，Ia较小，有Pf和Pr,但较大，调不下来，不起辉 原因及解决办法：1) 匹配器输出电缆插头座之间接触不上，解决办法同“2) ”；2) 输出电缆与电极接触不良；3) 电极与外壳短路；4、 故障现象：有Ua，Ia很大原因及解决办法： Ug1 无激励五、 射频功率源及其它仪表的安装 射频功率源通常用于和等离子设备配套，该设备除主机及射频源以外，还有其它真空仪 表，如质量流量计、真空计、分子泵、温控仪表、微机等，如果安装不合理，射频源会 干扰这些真空仪表1、 射频源的安装：要将匹配器的机箱与真空室尽可能靠近，匹配器安装在机柜内的， 要将机柜与真空室尽可能靠近，能直接与真空室或工作台接触最好，如无法接触， 要用纺织线以最短的距离将它们连接起来(功率较大的射频源已与真空室接触好)2、 其它仪表的安装：a.测量线、控制线要用屏蔽线；b.电源输入要加电源滤波器；c. 质量流量计的控制盒与真空室的连接，如可能的话，用绝缘管道。

3、 从真空室里引到真空室外的导线，如照明线、加热线、测量控制线及其它电极的引 线，在真空室内耦合有很强的射频信号，在引出真空室后，要加电容滤波，去掉射 频信号，滤波电容要用耐压高一些的云母电容或CBB电容有时要用高功率瓷介电 容六、 射频收发核心电路射频即Radio Frequency，通常缩写为RF表示可以辐射到空间 的电磁频率，频率范围从300KHz〜30GHz之间射频简称RF射频就是射频电流，它 是一种高频交流变化电磁波的简称每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大 于 10000 次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流有线电视系统就是采用射 频传输方式在电子学理论中，电流流过导体，导体周围会形成磁场；交变电流通过导体，导体 周围会形成交变的电磁场，称为电磁波在电磁波频率低于100khz时，电磁波会被地 表吸收，不能形成有效的传输，但电磁波频率高于100khz时，电磁波可以在空气中传 播，并经大气层外缘的电离层反射，形成远距离传输能力，我们把具有远距离传输能力 的高频电磁波称为射频，射频技术在无线通信领域中被广泛使用各种射频常用计算单位，是深入地理解射频概念的必备基础知识之一。

1、 绝对功率绝对功率的 dB 表示射频信号的绝对功率常用 dBm、dBW 表示，它与 mW、W 的 换算关系如下： 例如信号功率为xW,利用dBm表示时其大小为： 射频常用计算单位简介例如：1W等于30dBm，等于OdBW2、 相对功率相对功率的 dB 表示射频信号的相对功率常用 dB 和 dBc 两种形式表示，其区别 在于：dB是任意两个功率的比值的对数表示形式，而dBc是某一频点输出功率和载频 输出功率的比值的对数表示形式3、 天线和天线增益天线增益一般由dBi或dBd表示dBi是指天线相对于无方向天线的功率能量密 度之比， dBd 是指相对于半波振子 Dipole 的功率能量密度之比，半波振子的增益 为 2.15dBi,因止匕 0dBd=2.15dBi七、 其他常用计算单位1、 射频原理电阻：阻挡电流通过的物体或物质，从而把电能转化为热能或其它形式的 能量，单位：欧姆，Q2、 电压：电位或电位差，单位：伏特， V3、 电流：单位时间内通过电路上某一确定点的电荷数，单位：安培， A4、 电感：线圈环绕着的东西，通常是导线，由于电磁感应的原因，线圈可产生电动势 能，单位：亨利， H5、 电容：一个充电的绝缘导电物体潜在具有的最大电荷率，单位：法拉， F八、 射频相关技术的分类1 、 识别技术1) 自动设备识别技术是目前国际上发展很快的一项新技术， 英文名称为Automatic Equipment Identification，简称AEI。

该项技术的基本思想是通过采用一些先进的技术手段，实现人们对各类物体或设备(人员、物品)在不同状 态(移动、静止或恶劣环境)下的自动识别和管理目前应用最广泛的自动识 别技术大致可以分为两个方面：光学技术和无线电技术两个方面其中光学技 术中普遍应用的产品有：条形码和摄像两大类这两类产品目前已广泛应用于 人们的日常生活中，并已为人们所熟知比如：条形码用于商品管理，摄像用 于抓拍违章车辆等2) 射频识别技术 射频识别技术依其采用的频率不同可分为低频系统和高频系统两大类；2、 从电子标签内保存的信息注入的方式可将其分为三大类；1) 集成电路固化式2) 现场有线改写式3) 现场无线改写式3、 根据读取电子标签数据的技术实现手段，可将其分为三大类1) 广播发射式2) 倍频式3) 反射调制式4、 根据频率分类1)低频系统一般指其工作频率小于 30MHz，典型的工作频率有：125KHz、 225KHz、13.56MHz等,这些频点应用的射频识别系统一般都有相应的国际标准 予以支持其基本特点是电子标签的成本较低、标签内保存的数据量较少、阅 读距离较短（无源情况，典型阅读距离为10cm）电子标签外形多样（卡状、 环状、钮扣状、笔状）、阅读天线方向性不强等。

2）高频系统一般指其工作频率大于400MHz，典型的工作频段有：915MHz、 2450MHz、 5800MHz 等高频系统在这些频段上也有众多的国际标准予以支 持高频系统的基本特点是电子标签及阅读器成本均较高、标签内保存的数据 量较大、阅读距离较远（可达几米至十几米），适应物体高速运动性能好、外 形一般为卡状、阅读天线及电子标签天线均有较强的方向性5、 根据电子标签内是否装有电池为其供电，又可将其分为两大类；1） 有源电子标签内装有电池，一般具有较远的阅读距离，不足之处是电池的寿命 有限（3~10年）；2） 无源电子标签内无电池，它接收到阅读器（读出装置）发出的微波信号后，将 部分微波能量转化为直流电供自己工作，一般可做到免维护相比有源系统， 无源系统在阅读距离及适应物体运动速度方面略有限制。