七星电子流量计_d07-7b_7bm使用手册

1、 D07 - 7B 型 质量流量控制器 D07-7BM 型 质 量 流 量 计 使 用 手 册 版本 2013.6 目 录 1. 使用须知使用须知 1 6.2.1 开机预热 15 2. 用途和特点用途和特点 1 6.2.2 检查和调整零点 15 3. 主要技术指标主要技术指标 3 6.2.3 通气工作 15 4. 结构和工作原结构和工作原理理 4 6.2.4 关机 15 4.1 结构 4 7. 注意事项注意事项 15 4.2 工作原理 5 7.1 禁用流量介质 15 5. 安装和接线安装和接线 7 7.2 使用腐蚀性气体问题 15 5.1 外形及安装尺寸 7 7.3 阀口密封问题 16 5.2 气路接头形式 8 7.4 阀控操作注意 16 5.3 连接电缆插头 9 7.5 安装位置问题 16 5.4 与计算机或外部信号的连接 11 7.6 注意工作压差 16 5.5 调零和外调零 12 7.7 标定和不同气体的换算 17 6. 使用方法和操作步骤使用方法和操作步骤 13 7.8 D07-7B,7BM 标准订单填写格式 18 6.1 质量流量控制器的操作 13 8. 故障判断和处理故障判

2、断和处理 21 6.1.1 开机操作 13 9. 保证、 保修与服务保证、 保修与服务 23 6.1.2 清洗功能 14 9.1 产品保证和保修 23 6.1.3 显示仪与计算机连接的操作 14 9.2 保修对使用的要求 23 6.1.4 直接与计算机连接的操作 14 9.3 服务 23 6.1.5 阀控功能 15 10. 附录附录 24 6.1.6 关机操作 15 10.1气体质量流量转换系数 24 6.2 质量流量计的操作 . 15 10.2转换系数使用说明 26 MASS FLOW CONTROLLER 以及镀膜设备、光纤 熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、 稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任 意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图 1 所示)。 第 2 页 共 26 页 图 1.

3、质量流量控制器与流量显示仪配套使用 第 3 页 共 26 页 3. 主要技术指标主要技术指标 表 1. D07-7B 型 MFC 性能指标 编号 项 目 D07-7B 型 1 流量规格 ( 05,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 01,2,3,5,10) SLM 2 准确度 1.5 % F.S 3 线性 1 % F.S 4 重复精度 0.2 %F.S 5 响应时间 电特性: 10 sec 气特性: 4 sec 6 工作压差范围 (0.1 0.5) MPa 7 耐压 3 MPa 8 工作环境温度 5 45 9 输入输出信号 0 V +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) 10 电源 +15 V 50 mA -15V 200 mA 11 外形尺寸 见图 4 12 重量 1.1 kg 注意注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N N2 2）标定。）标定。 质量流量的单质量流量的单位规定为位规定为: : SCCM ( (标准毫升标准毫升/ /分分);); SLM ( (标准

4、升标准升/ /分分) ) 标准状态规定为标准状态规定为: : 温度温度 - 273.15K ( 0273.15K ( 0 );); 气压气压 101325 Pa (760mm Hg)101325 Pa (760mm Hg) F.S. (Full Scale): F.S. (Full Scale): 满量程值满量程值 第 4 页 共 26 页 表 2. D07-7BM 型 MFM 性能指标 编号 项 目 D07-7BM 型 1 流量规格 ( 05,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 01,2,3,5,10) SLM 2 准确度 1.5 % F.S 3 线性 1 % F.S 4 重复精度 0.2 %F.S 5 响应时间 10 sec 6 气压降 0.01 MPa 7 耐压 3 MPa 8 工作环境温度 5 45 9 输出信号 0 V +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) 10 电源 +15 V 50 mA -15 V 50 mA 11 外形尺寸 见图 5 12 重量 0.92 kg 各型号产品的主要技术指标见表 1 和表

5、2。其中 7BM 型是 7B 型的流量测量部分，流 量计量部分的技术指标相同。 4. 结构和工作原理结构和工作原理 4.1 结构 质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的 基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。7B 型质量流量控制 器, 打开外罩后的结构如图 2 所示。 第 5 页 共 26 页 图 2. 7B 型质量流量控制器结构图 7BM 型流量计与 7B 型控制器相比，在结构上的不同点，就是少了电磁调节阀，其它 部分基本相同。 4.2 工作原理 流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。 将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进 行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门， 闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量 相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的 D08 系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3 位 半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。本控制器与流量显示仪连 接后的工作原理如图 3 所示。 电路印制板 D 型插座

6、 传感器 调零电位器 支架 进气接头 出气接头 电磁调节阀 锁紧螺母 流量通道 第 6 页 共 26 页 图 3. 质量流量控制器原理 控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出 电压为+5V。质量流量控制器的流量控制范围是(2100)%F.S, 流量分辨率是 0.1%F.S。 注意注意: 当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。在做当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。在做 流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V+10V 以上，不过要注以上，不过要注意，当流量超过满意，当流量超过满 量程值（量程值（+5V+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示 不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。 流量显示仪 质量流量计

7、 分流器通道 传感器 入口 I 调节阀 驱动 阀控 -15V +15V 0V 220V 电源 流量显示 100.0 (0 +5.00V) setout 放大器 比较器 COM 设定 +5.00V 内 (0 +5.00V) 外 +15V 出口 -15V 清洗 关闭 0 电 平 流量检测 设 定 质量流量 控制器 第 7 页 共 26 页 控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定开关打到“内”设时, 由设定电位器控制流 量; 当打到“外”设时, 由用户提供的(0+5)V 电压控制流量。 在显示面板上还设置有三位阀门控制开关, 当置“关闭”位时, 阀门关闭; 当置“清洗” 位时,阀门开到最大,以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，自动控制流量。 5. 安装和接线安装和接线 5.1 外形及安装尺寸: 7B、7BM 各型号产品的外形和安装尺寸如图 4、图 5 所示。 图 4. D07-7B 型 MFC 外形图 第 8 页 共 26 页 图 5. D07-7BM 型 MFM 外形图 注意注意: 图中的高度图中的高度 1 10808mmmm 是不加电缆插头的高度是不加电缆插头的高度, ,加

8、上插头后的高度要再增加加上插头后的高度要再增加 50mm50mm 左右左右。 5.2 气路接头形式 采用标准双卡套接头和 VCR 接头, 可提供 8 种尺寸接管外径的接头类型: a. Compression Fitting3 mm ; b. Compression Fitting6 mm ; c. Compression Fitting8 mm; d. Compression Fitting 1/8“ (英制); e. Compression Fitting 1/4“ (英制); f. VCR 1/4“(英制); g.6（内）1 软管; h .4（内）1 软管。 一般用金属管将质量流量控制器与气路相连接，在要求不高的情况下也可以用尼龙管 或其它较硬的弹性塑料管。双卡套接头的连接方法, 如图 6 所示。注意流量计通道上的箭 头指示的方向是气流方向, 进出气方向不能接反。 第 9 页 共 26 页 图 6. 双卡套接头安装示意图 注意注意: 按图按图 6 6 所示安装接管时所示安装接管时, ,在装上前卡套、后卡套、螺母后在装上前卡套、后卡套、螺母后, ,先用手将螺母与接头拧紧先用手将螺母与接头拧紧, , 再用扳手拧紧再用扳手拧紧( (国外进口的国外进口的双卡套接头接头要求用扳手旋转要求用扳手旋转 1.251.25 圈拧紧圈拧紧) ), ,以保证不漏气。注意以保证不漏气。注意 应该使用双扳手操作应该使用双扳手操作, ,用一只扳手卡住接头不动用一只扳手卡住接头不动, ,用另一只扳手旋转螺母。特别是在拆卸接用另一只扳手旋转螺母。特别是在拆卸接 管时必须使用双扳手操作管时必须使用双扳手操作, ,否则会引起接头松动否则会引起接头松动, ,影响密封。影响密封。 5.3 连接电缆插头 螺母 后卡套 前卡套 接头 接管 8 9 15 1 图 7. 7B 型控制器 D 型插座和接线图 流量检测 地 电源地 1 2 3 4 5 6 7 10 11 12 13 14 15 9 8 阀控 设定(0+5V) 外调零 公共地 信号

《七星电子流量计_d07-7b_7bm使用手册》由会员n****分享，可在线阅读，更多相关《七星电子流量计_d07-7b_7bm使用手册》请在金锄头文库上搜索。