电子元器件抗ESD损伤基础知识
19页1、引 言 4.第1章 电子元器件抗ESD损伤的基础知识 51.1 静电和静电放电的定义和特点 51.2 对静电认识的发展历史 61.3 静电的产生 61.3.1 摩擦产生静电 61.3.2 感应产生静电 81.3.3 静电荷 81.3.4 静电势 81.3.5 影响静电产生和大小的因素 91.4 静电的来源 101.4.1 人体静电 101.4.2 仪器和设备的静电 111.4.3 器件本身的静电 121.4.4 其它静电来源 121.5 静电放电的三种模式 121.5.1 带电人体的放电模式(HBM) 131.5.2 带电机器的放电模式(MM ) 131.5.3 充电器件的放电模型 141.6 静电放电失效 151.6.1 失效模式 151.6.2 失效机理 15第2章制造过程的防静电损伤技术 错误!未定义书签。2.1 静电防护的作用和意义 错误!未定义书签。2.1.1 多数电子元器件是静电敏感器件 错误!未定义书签。2.1.2 静电对电子行业造成的损失很大 错误!未定义书签。2.1.3 国内外企业的状况 错 误!未定义书签。2.2 静电对电子产品的损害 错 误!未定义书签。2.2.1
2、 静电损害的形式 错 误!未定义书签。2.2.2 静电损害的特点 错 误!未定义书签。2.2.3 可能产生静电损害的制造过程 错误!未定义书签。2.3 静电防护的目的和总的原则 错误!未定义书签。2.3.1 目的和原则 错 误!未定义书签。2.3.2 基本思路和技术途径 错 误!未定义书签。2.4 静电防护材料 错 误!未定义书签。2.4.1 与静电防护材料有关的基本概念 错 误 !未定义书签。2.4.2 静电防护材料的主要参数 错误!未定义书签。2.5 静电防护器材 错 误!未定义书签。2.5.1 防静电材料的制品 错误!未定义书签。2.5.2 静电消除器(消电器、电中和器或离子平衡器) 错 误!未定义书签。2.6 静电防护的具体措施 错 误!未定义书签。2.6.1 建立静电安全工作区 错误!未定义书签。2.6.2 包装、运送和存储工程的防静电措施 错 误!未定义书签。2.6.3 静电检测 错 误!未定义书签。2.6.4 静电防护的管理工作 错误!未定义书签。第3章 抗静电检测及分析技术 错误 !未定义书签。3.1 抗静电检测的作用和意义 错误!未定义书签。3.2 静电放电的标准波形
3、 错 误!未定义书签。3.3 抗ESD检测标准 错误!未定义书签。3.3.1 电子元器件静电放电灵敏度(ESDS)检测及分类的常用标准 错误!未定义 书签。3.3.2 标准试验方法的主要内容(以 MIL-STD-883E 方法 3015.7为例) 错误 ! 未定 义书签。3.4实际ESD检测的结果统计及分析 错误!未定义书签。3.4.1 试验条件 错误!未定义书签。342 ESD评价试验结果分析 错误!未定义书签。3.5关于ESD检测中经常遇到的一些问题 错误!未定义书签。3.6 ESD损伤的失效定位分析技术 错误!未定义书签。3.6.1 端口 I V特性检测 错误!未定义书签。3.6.2 光学显微观察 错误!未定义书签。3.6.3 扫描电镜分析 错误!未定义书签。3.6.4 液晶分析 错误!未定义书签。3.6.5 光辐射显微分析技术 错误!未定义书签。3.6.6 分层剥离技术 错误!未定义书签。3.6.7 小结 错误!未定义书签。3.7 ESD和EOS的判别方法讨论 错误!未定义书签。3.7.1 概念 错误!未定义书签。3.7.2 ESD和EOS对器件损伤的分析判别方法 错误!未定义
4、书签。第4章 电子元器件抗ESD设计技术错误!未定义书签。4.1 元器件抗ESD设计基础错误!未定义书签。抗ESD过电流热失效设计基础 错误!未定义书签。抗场感应ESD失效设计基础 错误!未定义书签。4.2元器件基本抗ESD保护电路 错误!未定义书签。基本抗静电保护电路 错误!未定义书签。对抗静电保护电路的基本要求 错误!未定义书签。4.2.3 混合电路抗静电保护电路的考虑 错误!未定义书签。防静电保护元器件 错误!未定义书签。4.3 CMOS电路ESD失效模式和机理 错误!未定义书签。4.4 CMOS电路ESD可靠性设计策略 错误!未定义书签。设计保护电路转移 ESD大电流。 错误!未定义书签。使输入/输出晶体管自身的ESD阈值达到最大。 错误!未定义书签。4.5 CMOS电路基本ESD保护电路的设计错误!未定义书签。基本ESD保护电路单元 错误!未定义书签。4.5.2 CMOS电路基本ESD保护电路 错误!未定义书签。4.5.3 ESD设计的辅助工具TLP测试错误!未定义书签。4.5.4 CMOS电路ESD保护设计方法 错误!未定义书签。4.5.5 CMOS电路ESD保护电路示例
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