真空泵的概述汇编

1、真空泵的概述真空泵的概述Xue Jianguo(Jiangsu Asia Pacific pump valve technology limited company, Jiangsu Taizhou 225400) 摘要：真空泵产品数量巨大，产量大，产量不高，但这确实是一个直接影响真 空设备性能质量不可缺少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需求而发生变 化。从半导体行业的快速发展和扩大干泵和分子泵应用领域为市场增长的主要驱 动力。关键词：真空泵；市场；扩大；发展引言：目前，真空泵市场销售额约20亿美元的年增长率约为7%。我们的真空泵的制造商生产的真空泵，一共销售约 15亿元，仅仅是美国KINNEY公司年度 销售额1,2。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看到，各类真空泵的市场及 应用领域的不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础， 国产真空泵在很多领域得到了应用和验证，有些泵还出口国外，得到国外客户的认可和良好的口碑，应该说，在国内和国际市场的中国真空泵制造业仍然具有巨 大的发展空间。1、水环真空泵虽然水环真空泵属于粗真空泵，但在石油，化工，电力，纺织，造纸，医药 产

2、品方面仍有很大的市场。在国外，水环真空泵的销售额占市场总额的14%次于干泵，所以SEIMEMSP NASH在中国KINNEYK资建设这样的公司和建立销售 网络，并在我们的市场份额不断扩大30由于水环泵大部分是铸件，加工要求不 高，劳动密集型产品，所以水环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩 小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。2、旋转活塞泵旋转活塞泵是一种油封式真空泵。因为旋转活塞泵更耐用，可靠，国内外各 种真空炉，干燥设备涂布，浸液旋转活塞泵是一种旋转活塞泵前级泵， 但铸造重， 处理工作量较大，所以国外真空厂都在中国寻找合作伙伴。 为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，防止泄漏和提高喷射以及旋转 活塞泵长期运行的可靠性。3、直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的需求不断扩大，直联旋片泵日益增长。由于这种泵数量，加工和装配的工作量是非常大的， 价格很低，所以在中国的一些外 国真空制造商建立工厂。国内中小型直联旋片泵技术已通过， 价格远比国外泵便 宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封泄漏和旋转叶片材料以及真 空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速

3、，高温性能稳定，运行可靠，同时， 进一步完善国内直联旋片泵除水蒸气的能力。4、罗茨真空泵从国外罗茨真空泵生产的情况来看，国外一些大公司，如莱宝，尔卡特查斯， 爱德华兹，爱发科，他们每个罗茨泵的销售额占世界罗茨泵销售比例超过5%这不仅是20%共5家罗茨泵输出鲁本不大，但国外的罗茨真空泵价格比国产泵 高很多4。目前，国内外具有几乎所有大型或小型的高真空和真空系统，以缩短 吸气时间、提高罗茨真空泵设备生产效率，因此国产罗茨真空泵必须在占领国内 市场的基础上，成功进入国际市场，所以我们必须进一步减少国内的罗茨真空泵 的振动噪声，彻底解决轴封泄漏问题，提高质量和提高泵内部表面的完和清洗。 另外，甚至考虑到一些国家和地区的电源频率为 60Hz,更好的让罗茨真空泵在 长期运行可靠的前提下提高速度。目前，国内空气嵌入式罗茨真空泵进发展很快， 技术上已经成熟。由于这种 泵在排气口下方含气体冷却器，一部分通过管道泵腔冷却空气来冷却转子的运 转，从而使冰箱的热量平衡，所以这种泵可以直接连接大气。为了满足极限真空 泵系列的要求不同，这可以被使用，一般添加空气嵌入式罗茨真空泵， 前级泵的 极限真空度要达到一个高

4、水平比。 这种泵由于在泵室没有工作介质，实际上是属 于干泵。目前，在石油，化工，塑料，农药有这种嵌入式罗茨真空泵及机组，汽轮机转子动平衡，航天空间模拟装置有测试的长期运行， 所以应该在中国推广和应用505、分子泵在许多外国半导体工艺场合场分子泵代替低温泵，尤其是溅射，蚀刻和沉积装置采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速与直径只有低温泵的抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧安装一个 130C 150c低温冷却板，称为低温分子泵，低温板气，其他气体分子被抽走60 这种低温分子泵在真空镀膜设备上的应用，既提高了生产效率和提高涂层质量。 随着中国半导体产业，电影产业和科学研究事业迅速发展， 分子泵应该是集中于 我国真空泵制造业的发展。首先，分子泵建立一套完整的体系，以及研究和开发 不同的复合分子泵，牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。6、干式机械真空泵国外的干式机械真空泵市场不断增长， 其主要驱动来自于半导体行业，化学 工业，电影工业的快速发展。在日本，半导体行业已全部使用干式真空泵油密封 型机械泵，而欧美半导体行业超过 4

5、5碗换干式真空泵油密封型机械泵，大大提 高了产品的性能和质量。为了满足不同的应用和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵，多级爪式真空泵，螺杆真空泵和真空泵，往复式活塞真空泵和涡轮涡 无油真空泵等。极端压力从10 10-2Pa ,从20m豕h 500m3/h,根据统计抽 速，目前国产干泵的应用还不足 1%7,国内半导体产业与干泵全部从国外进口， 价格非常昂贵。因此，我国应大力研究和开发干泵，使干真空泵成为中国工业经 济新的增长点。7、真空泵技术进步趋势技术是市场需求的动力。由于真空技术，扩展和高新技术的迅猛发展，国内 市场对真空泵的技术水平提出了更高的要求。 真空泵的生产企业必须通过技术创 新和产品结构的调整两方面保持原有的市场，从而继续扩大市场份额。7.1 提高真空泵的可靠性，降低振动和噪声，注意真空泵的综合水平在过去的几年中，真空泵生产厂家关注的主要性能指标，例如，极端的压力, 泵送速度等，而忽略了真空泵的综合性能。现在，产品的可靠性，性能的稳定性和对环境的污染逐渐成为用户购买产品的参考因素。旋片泵，旋转活塞泵，罗茨泵有关将成熟可靠的设计理念应用到真空泵的设计，可靠性设计，可靠性试验

6、， 大大改善层面的自由时间，真空泵的可靠性，稳定性和寿命，保证真空泵各种工 况下长期可靠运行。采用新技术，新材料，减少振动和噪声的新结构，解决了泵 喷油，漏油问题，还用户友一个干净良好的工作环境。7.2 真空泵向个性化，多样化发展企业面对不断变化的市场，并且我们的真空泵产品意识很薄弱。 产品与市场 的衔接，使我们不会失去很多机会。真空泵今后的发展应该面向个性化和多样化。 所谓的个性化和多样化是针对不同客户的不同需求， 为用户的特定场合的产品设 计，使产品在这种场合应用，特点发挥的恰倒好处。7.3 分子泵、干泵生产形成规模根据预测，2010,中国将成为世界第二大半导体IC市场，总需求约为1000 艺块，达到1000亿美元以上的总金额，需要建设30多个大型生产线来满足需求。 生产线所需的干式真空泵15000台左右，是目前我国真空泵年产量的 1 / 10左 4843。国内目前真空获得设备仍以传统的真空泵为主， 主要为旋片泵，滑阀真空泵， 罗茨真空泵，蒸汽泵，水环真空泵，等，和所有的应用在传统行业，中国与日本 的用于电子信息产业的不足1%真空泵生产，欧美国家相比差距是巨大的。我们的干式真空泵的

7、生产刚刚起步阶段，在全国 200个生产真空泵的企业， 能生产的企业不足10家，干式真空泵，小于1000台的年生产能力。没有形成批 量生产。目前的干泵在实验室和化学最常用的国内生产，制药等领域，用于半导体工业的很少。国内电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵的迅速发展，成为国际真空工业化国家的拓展领域。目前国内制造半导体集成电路生产线， 几乎所有的干 式真空泵（包括其他真空设备）都主要来自英国，日本，德国，美国等进口，国 内生产的干式真空泵进入这个领域是非常困难的， 使干式真空泵的真空设备获得 未来主导产品在我国经历了一个非常困难的局面。 这种情况的原因是在我国起步 较晚的干式真空泵的主要原因，只是一个开始即面临着国外已经发展成熟的产品进入中国市场，国内大型的产品除了价格低廉之外，在加工制造业，技术水平， 质量状况等各方面没有优势，国外产品经过多年的竞争，已经基本瓜分了国内市 场，并建立起来，因为国内生产的干式真空泵已经失去了市场的激励，没有发展的动力，进步是缓慢的。业内专家认为，干式真空泵是真空设备的发展方向，但 是也真空生产意味着“尖端技术”，我国真空泵行业必须在这一领域有所作为，

8、 在食品，化工，制药等这些做到市场第一，经过培养和锻炼，然后进入半导体行 业。保持行业能与时俱进。目前国内分子泵应完善和发展多品种系列， 如低分子泵，复合分子泵等，逐 步扩大市场。7.4 引进国外先进技术，使国内自主品牌引进国外先进技术，改善自己在其他行业具有成功经验和科技含量产品。在引进的国外技术的高端产品的真空生产设备中发展，消化吸收好，将改变我国产品速度虚技术低，质量和技术水平不能满足市场需求的现状。 但我们引进国外技 术，应特别注意两点：一是消化吸收的重点，并在此基础上，培育具有自主知识 产权和创新能力的企业。二是不盲目重复引进，瞄准国际当代最新技术，避免引 进一代落后一代。引进国外技术不是目的，而是手段，通过引进技术，最终打造 国内自主品牌！7.5 抓好产品结构调整，开发出满足市场需求的产品我们生产几十年的传统真空设备在全国范围内形成了产品销售模式的稳定 性。但随着经济的高速发展，信息技术，航空航天，纳米科技和其他高科技为我 指明了今天的科学和技术的发展趋势。这些高科技真空生产设备的发展离不开基 本设备。目前国内的情况仍然是主要生产真空泵生产企业传统的产品在传统应用 领域占据

9、90%Z上的市场份额。在高科技领域，技术水平国内产品和质量都不能 满足需求，超过90%勺市场份额被国外产品占领。国内真空生产的产品和高新技 术的发展，产品结构严重脱节不相容。大多数企业只希望现有的老产品，不断增 加生产，增加利润，这种可能性在目前的市场竞争中将越来越小。 在面对当今国 内外市场格局，尽快调整产品结构，使其满足市场需求是最明智的选择。产品结构的调整是不断推出适销对路的产品，市场需求，对真空泵的市场，是加快各种干式泵，分子泵等高端产品的研发和生产，批量生成。这是产业成为高，中，低端产品的合理布局，并随着市场的变化，不断调整和保持合理的产品 结构状态。虽然真空行业取得了显著进展，但真空泵技术的发展现状不容乐观。企业要认真分析形势，总结经验教训，团结一致，为行业的发展和技术进步，为我国的 经济建设做出应有的贡献，为整个行业开辟了一条路。参考文献1All kinds of pump equipment development status of vacuum pump market,industrial ChineseApril 9, 2012.2The current situation of the development of all kinds of pump vacuum pump market, ChinaBaike network .3Basic knowledge of water ring vacuum pump (schematic / structural features / application /install /SK series of selection and operation repair).4Analysis of Roots Pump Industry Market Research Report, March 10, 20

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