06项目——微波等离子火炬.pdf

等离子火炬一、什么是等离子体？等离子体，也叫电浆，英文名称为 plasma是一种包含大量电子、离子、中性原子和分子的物质其具有相当的电离度，并整体对外呈现电中性的气体物质，是被视为除了固态、液态、气态以外的物质第四态二、优势及特点微波等离子体是一种利用微波作为能量来源激发产生并维持的等离子体，在很多方面具有突出优势：1、产生等离子体的装置不需要电极，不受电极间隙的约束，也不存在电极烧蚀以及电极蒸发的污染问题2、微波能量的传输、检测、保护和控制系统能与等离子体区域分开，便于控制生产工艺过程3、与其他频段工作的等离子体源相比，微波等离子体源能量转化效率高，产生的等离子体能量密度大，反应温度高，具有更多丰富的高能态粒子和活性自由基，具有广阔的应用前景和良好的经济效益三、微波等离子火炬微波源是采用 915MHz/2450MHz 微波发生器，由微波源、控制一体柜、环行隔离器、水负载、三销钉调配器组成固定频率连续波水冷磁控管、电磁铁及电源、预热及高压电源、自动控制器等器件，全部安装在其中以满足等离子火炬点火及持续燃烧的需要图 1.频率：915MHz 功率 10kW 至 100kW 多档匹配整机数据：微波频率：915MHz±25微波功率：10~100KW 方向性；波导规格：BJ-9功率容量：10~100KW微波漏能：≤5mw/cm2（符合GB/T 20516-2006）微波源环形器及 水负载耦合器调配器火炬波导图 2.现场--微波能量馈入火炬波导，激发产生等离子体图 3采用探针耦合方式的等离子体装置磁控管火炬波导点火器图 4： 现场 2450Mhz 微波等离子体装置四、应用及展望1、系统将微波源，微波传输系统，等离子体火炬腔及控制系统等各部分有机地组合成的一套完整的设备，它具有性能先进、功能完善、结构合理，使用方便。

2、微波等离子体火炬是实验室用化学处理研究的理想工具其广泛用于SiO2、金刚石膜等材料的快速 CVD 合成；多种金属材料的表面改性处理；花岗岩片的表面精细加工；超微细粉的制备；材料的精细焊接和切割等等；3、环保：气体处理、固体处理4、火焰温度高，形状易控制，极高的等离子体密度，在与被处理材料产生有利的化学作用后，能快速沉积 SiO2，金刚石膜等多种材料5、适应于多种气体，工作稳定，操作方便五、联系我们四川宏图普新微波科技有限公司地址：四川省乐山市市中区水口工业园管委会 307网址：邮箱：hope@：0833-259619313708138656 周先生15390202457 康先生。