6.化学管路二次配管施工规范.doc

1六、化学管路二次配管施工规范1. 工程范围2. 材料及施工标准3. 施工时间4. 施工规范5. PVC 配管6. PFA 管施工要领7. SUS 配管施工要领8. 信号测试2一 工程范围：化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主二 材料及施工标准：1. 管材：A.Model I 化学品种类：溶剂类(IPA 、EBR) 管路材质 ：SUS316L BA 管 配管方式 ：单层管 弯管方式 ：Elbow 管 径 ：3/4” 接管方式 ：阀箱出口端：以 VCR 或相同之其它方式接管 机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台B.Model II 化学品种类：DHF,BHF,ITO-Etch 1,ITO-Etch 2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH 管路材质 ：PFA 管 / 40A C-PVC 管 配管方式 ：双层管 弯管方式 ：直接弯管(不用 Elbow) 管 径 ：内管为 1” AND 3/4”PFA 管外管为 40A C-PVC 管 接管方式 ：内管：阀箱出口端：扩管式。

机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台外管：阀箱出口端：使用 40A C-PVC SOCKET 固定机台入口端：使用 40A C-PVC SOCKET 固定C.Model III3 化学品种类：Corrosive solvent (Stripper-1,Stripper-2) 管路材质： SUS316L EP 管 配管方式：單层管 弯管方式：直接弯管(不用 Elbow) 管径： SUS316L EP 管 接管方式：外管：阀箱出口端：使用 Clamp 固定机台入口端：使用 40A JIS 10K Flange 固定2. 讯号： 使用机台提供之讯号：需求讯号 供酸系统提供之讯号：系统供酸正常讯号 讯号线材质：PVC 绝缘线 外加导线管做保护3. 施工之标准程序：  GSMC 厂务在三天前发 Inform sheet 给 UIS UIS 在接到 Inform sheet 后一天内通知下包，二天内安排下包至现场确认施工范围及施工现场，并列出所需之 PARTS 在 Location Check 的同时，Inform sheet 检查出 POU Valve Box 及讯号是否已拔除。

 进场施工当天早上 09:00 先与下包确认工作内容 管材及工具在现场前，应先以 IPA 擦拭干净 AM 09:30 至现场施，先通知 GSMC 厂务人员，请其陪同施工，同时确认施工所需之电力、CDA、N2、吸尘器等之接头位置，并经 GSMC 人员认可 再次确认 POU Valve Box 之位置及讯号线是否拆除 请陪同之厂务人员通知设备人员及化学房值班人员要开始接管工作，请其配合注意施工期间是否有任何异状 开始配管工作： PFA 配管： 先配 40A C-PVC 外管，配管时三人一组(一人在 C/R，一人在管架上，一人在地面上整理管子及支持)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等 配管先出 Valve Box(以 Bore through 固定)后，垂直向上后沿4地板下之 Support 至机台→沿线以绑线带固定，但需注意勿挡住”人孔”，入机台时一样以 Bore through 固定 入机台前需在外管上标示 Chemical 之种类 穿入 3/4”PFA 内管，一边插入并一边擦拭内管，在机台内留1M 长之 Tube ，而 Valve 端则扩管后接上 将讯号线沿 PFA 管拉至机台后方，并确认其编号。

 SST 配管： 配管时三人一组(一人在 C/R，二人在 Plenum 做焊接及组装)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等→以 VCR 做标准连接 先试烧 SAMPLE，经在场 UIS 监工人员及 GSMC Hoook up team 确认后，记录其数值，再开始焊接 配管时，先垂直向上，至地板下再沿 SUPPORT 固定，( 以固定夹固定)注意需避开”人孔”  在焊接处及入机台处需标明 Chemical 种类 接至机台之 point size 需与厂务确认 将讯号线拉至机台后方，(沿管线拉线，并以绑线带固定) ，并确认其编号 做保压测试(7Kg/cm2, 24hrs) 将卷标挂上 整理环境，并收集废弃物 完成自主检查表之各项检查，并签名 CM 会议中，确认讯号测试及供酸日期 讯号测试： GSMC 厂务在二~ 三天前通知 UIS 人员讯号测试 测试人员至现场 LOCAL PANEL 准备并 CHECK SIGNAL NO. LIST，同时通知 GSMC Hook up team 及 UIS SE 到场一同测试，(由 GSMC FAC 与 GSMC 之 E.E 人员联络，UIS 人员负责讯号之检测)同时并通知值班人员。

 UIS 负责将测完之讯号线作连接 开 POU 阀： 先确认已做完讯号测试 确认各接点已锁紧 确认 SST 管已做完保压测试并锁紧5 穿戴防护用具 经厂务工程师确认设备工程师已准备好之后，始可开阀 由设备工程师 CHECK REQUEST SIGNAL 及 CHEMICAL 是否有供应 开完阀后，再 CHECK 是否有 LEAKAGE 现象 完成 CHECK LIST 后，交由厂务工程师及设备工程师确认签名 Update P.O.U. flow sheet三、施工时间： 甲方需在二天前通知乙方准备施工 正常工作时间为星期一至星期五 AM09:00~PM06:00 若甲方有紧急接管工程，应在一天前通知乙方准备施工 若乙方之配管有紧急泄漏发生时，在甲方通知后一小时内，乙方应到场处理不可抗力除外)四、施工规范： 乙方需遵守甲方之施工安全规范 乙方施工人员需接受甲方之”工业安全卫生环保训练” 6PVC & PFA 管施工要项五、 PVC 配管PVC 配管之主要功用在于可清楚目测出 PFA TUBE 之支架是否有所不当或是否药品渗漏等情形，因此须特别注意随时保持管材之洁净度及接缝处之粘接是否有所遗漏。

1. 保管搬运时应注意保持管外之包装袋的完整，将管材平放于铺设有塑料垫之置物间的地板上(绝不可直放)，并须注意避免靠近日晒(变色) 、高温(变形)及发尘(损伤或受污)等场所2. 搬运作业管材搬运时以保持管外之包装袋的完整为基准，并以不伤害管材为前题，以两人一组的方式进行搬运作业3. 切除作业切除管材之时应使用专用之切除器具，切除之前应先将吸尘器之吸尘口接近切除处后再行切除，作业完毕后并须尽速将切除时所遗留之残屑清除干净4. 断面加工管材切除作业完毕后应针对切断面之管壁内外侧进行修边作业(如疏忽此一作业将有可能导致两管衔接度的不稳定)此外，修边作业进行时须特别注意修边部应朝下，以避免粉屑掉入管内污染管材之洁净度7施工完成后，同样尽速将管材两侧之开口处以塑料贴布封口5. 弯曲加工弯曲之最小半径为 1/2”—250R、3/4”—300R、1”—400R 为作业基准，弯曲时应避免管材产生变形情况，并须注意加热及冷却次数应维持于三次以内，以免管壁产生细纹于支架上欲固定 PVC 管时，必须先以塑料膜或透明贴布缠绕固定处约 0.5mm 左右之后再行固定，以避免因夹具的施力不当造成管材受损之可能此外，为使 PFA 管能够顺利施工，应以 PVC 管每两处弯曲点为一单位，在第二处弯曲点之弯头处以衔接方式施工，待拉管作业完成后再于先前未上粘胶处以注入方式予以粘接即可。

6. TEE & VALVE BOX组装箱之种类大致以 TEE BOX(PFA TUBE & UNION TEE)及VLAVE BOX(自动阀及手动阀)两种为主，其主要目的皆在于防止药品泄漏或气体外泄之可能性7. 保管将配管所用之 BOX 以塑料膜包装后搬运至现场之无尘室中置放，在确认各部开口无误及有无均裂后，再重复以塑料膜包装后交付管理单位保管8. VALVE 之组装一般作业应已于事前皆告完成，但偶尔仍难免有所更改部份之修正作业须要进行时，首先于无尘室之地板处铺设透明之塑料软垫后再8行施工，施工时并须注意日后与 HOOK UP 工程衔接处之管材应避免过短，以及粘接固定之 VALVE 底座之基座等时，也应注意不要使用过多接着剂造成流动之情况六、 PFA 施工要项1. 保管所订购之 PFA 管材乃是经由该社经过严格之洗净机，进行管材内外部洗净之后，再行包装之管材之后运送至本公司之厂房后以同尺寸分别囤堆之方式置于管架上进行保管2. 拆除包装拆除管外包装袋时应选择尘埃不易附着处(无尘室) 进行，并事先应于地板处铺设透明塑料软垫后作业，此外，须特别注意拆除包装时管材两端是否套有防止尘埃进入管内之物体，如无应于拆除后尽速以塑料贴布封上。

3. 配管作业PFA 管材之长一般皆为 100M，因此施工时应先以距离长者先行施工以减少材料之浪费，至于切除后所剩之短管则可视情况酌量使用于各机台在于以 50M 配管方式做一简单之说明，其余短距离配管则以施以断面加工后之管端送管之方式进行即可 作业员配置方式：作业员人数最少须要管线整理员、送管员、中间部送管员及后方拉管员四位，如遇墙面穿孔处则再须一名中间部送管员进行送管9作业 断面加工作业欲使 PFA 管能于 PVC 管内顺利通过，须先于管端以切管器将其前端切出 150~200mm 之斜面，之后于管内塞入可有效防止尘埃进入管内之物体及拉管时之主绳，最后再于管材外部缠附塑料贴布后进行拉管作业 拉管作业：前述之作业员以无线电互相取得连系，并待拉管用之主绳完全通过后再行拉管作业 管线整理员应仔细的确认管线有无折损后再行送管 送管员施以送管手势后进行送管作业 中间部送管员随管线的前进而移动，并须仔细检查管线是否受 PVC 管之衔接处之影响无法前进，如有此一情形时则可以轻拍管材或由之前尚未粘接处将管拉出后继续进行 拉管员配合送管员之手势进行拉管作业上述作业员在完成拉管作业后，再行于管端之斜面开始约400mm 处进行切除，并于切除后尽速于管端贴附塑料贴布防止管内遭受污染。

 PFA 管于施工时应配戴清洁手套施工 检查切管器是否有生锈或受污之情形，并于施工后以清洁之塑料袋予以包装 进行拉管作业时应尽可能以送管方式进行而非拉扯管 冬季或其它气温较低处有可能导致 PFA 管之柔软性低下，因10此应先于厂房内(室温 25℃)置放两三天后再行施工4. PFA 管之连接方式PFA 管之接续方式共有加热及针对 NEEDLE VALVE 或逆止阀专用之两种施工方式，但基本上 PFA 管于切除后之断面都应保持直角时才可予以配置 加热拓管方式：将 PFA 管于专用之加热器上进行加热作业后，再以拓管器进行拓管作业，此作业于进行时所有作业员皆应配戴清洁手套以保持管材之整洁PFA 管于加热拓管后进行冷却作业时会有 3mm 短缩现象，因此事前管线长度之丈量时必须加以计算，以防管线长度不够造成废材量之大增加热作业时 PFA 管应将前端约 15~20mm 处均匀加热至管壁似乎有些许潮湿状时，再进行拓管作业，并须注意作业时尽量防止尘埃进入管内之机会拓管作业施行前应先将拓管器充分清洗干净之后再行拓管，将拓管器插入加热后之 PFA 管时，应注意管端是否与拓管器平行以及管端是否有细纹的产生，之后再以纯水擦拭加热部位进行冷却作业。

 冷却作业如无彻底进行将可能造成日后发生管端短缩情况，无法顺利配置 冷却后之管端直到配置时方将拓管器取下后配置 配置作业：11将 PTFE FITTIN。