Jonasredmann-机械手操作规程.docx

一、控制与保护装置1 安全门(Doorl—Door7):设备配有安全门，它们可以避免外部环境对设备造成的干扰2、 门开关:所有的安全门都是由门开关来控制打开安全门就会通过门开关的控制使设备 动作立刻停止町以通过旋动屏幕下方的Safety Door Bypassed (钥匙)来屏蔽安 全门，从而使安全门在打开状态设备动作依然进行3、 主电源开关：设备后面的控制柜配有一个主电源开关，它控制着机械手设备的所有供电4、 紧急停机按钮：设备配有两个紧急停止按钮，分别处于屏幕下芳和机身背面当设备出现紧急 情况时可以按下此按钮，避免造成大的损失在运行过程中,按下急停按钮可能会使硅片掉落,同时对设备的寿命也会 造成不良的影响,所以除紧急情况外,不要按下此按钮5、报警装置：不同的报警指示灯会显示不同的状态，详细信息参考下表:指示灯蜂鸣报警含义红持续持续错误红闪烁维护黄持续警告/安全门打开绿持续正常操作绿闪烁等待蓝闪烁需要装料或卸料，机器仍然运行蓝持续断续等待，需要装料二.设备操作介绍: 操作面板：操作面板主要由一个触摸屏和其下面的控制按键组成，我们可以通过对操作面 板的控制来完成日常的生产下面主要对屏幕的不同控制界面进行介绍。

界面1:自动控制界面上方标题栏:指示Machine State（机器状态）显示手动状态或自动状态或错误信息，当岀现错误时， 会出现红色闪动条指示User Level（使用权限）使用权限有6个等级，分别为：Level 1: OperatorLevel 2: OperatorLevel 3:Technical operatorLevel 4:EngineerLevel 5: DeveloperLevel 6:Administrator不同的操作会需要不同的使用权限，6个等级除了第一 级，其它都需要相应的密码各个等级密码的修改只有 管理员才有权限，也就是必须进入第6级指示Format （版式）显示硅片的尺寸左侧输入模块:按钮Automatic Mode （自动模式）点击此按钮，自动模式功能被调用按钮Manual Mode （手动模式）点击此按钮，手动模式功能被调用按钮Options （选择）点击此按钮，服务模式功能被调用按钮Administration （管理）点击此按钮，管理员可以对各等级密码进 行管理按钮Machine State （机器状态）可以调出机器状态页面按钮States （状态）点击此按钮，可以显示石英舟、装片盒以 及装料卸料平台的状态。

按钮Report （报告）点击此按钮，可以显示错误记录等信息中间显示栏:指不Events （事件）显示最新的事件信息指示Progress （进程）显示进程指不Information （信息）显示进程中的数据信息输入模块按钮:按钮Quick Stop （快速停止）点击此按钮，设备的所有动作将立刻停 止注：打开安全门与点击快速停止按 钮功能一样）按钮Initial Position （初始位置）点击此按钮，可也对设备进行初始化注：初始化会使机械手张开，在进行此 操作前一定要确保机械手上没有硅片）按钮Special Functions （特殊功能）点击此按钮，将调出特姝功能页面注：平时操作很少用到此功能）按钮Start （开始）点击此按键，自动模式将会运行按钮Stop （停止）点击此按键，设备在完成某一进行的动作后将会停止，注意与Quick Stop按键区 别界面2：特殊功能界面Jonas & RedmannMachine StateFul squareUser Level、Mucliine stopped・ aromatic opei/ionLevel 1: Opel at cmSingle loading modeFomat 156x 156No jobAutomaticModeManualModeOptionsAdministrationMachineStateStatesReportInitial PositionSpecialFuncti onsStartQuickStop• Photovoltaics Production Solutions GmbH输入与显示模块:选项Every job start has to be acknowledged选择此选项后，每次工作的开始将需要操作者的 允许。

选项Every job end has to be acknowledged选择此选项后，每次工作的结束将需要操作者的 允许按钮Backwards （退出）点击此按钮，将回到自动模式页面指示Progress （进程）显示硅片装载利卸载的百分数进程指示Information （信息）显示状态信息和请求信息界面3：机器状态界面 输入与显示模块：指75Actual State （实际状态）显示机器当前的状态选项Engineering Time （工程时间）选项Non-scheduled Time （）按钮Backwards （退出）点击此按钮退到之前的一页界面4：石英舟界面按钮Arrow up （上箭头）Arrow down （ F箭头）点击此箭头按钮，将调出之前的数据记录，从而 观察石英舟之前的状态按钮Backwards （退出）点击此按钮，回到自动模式页面按钮Report （报告）点击此按钮，进入Report页面按钮DELETE （删除）点击此按钮，所有的状态将被清除石英舟的状态可以通过对触摸屏的点击来改变绿色硅片代表扩散前硅片，黑 色硅片代表扩散后硅片输入与显示：界面5 :装片盒界面Jonas & Redmann■ Photovoltaics Production Solutions GmbHMachine StateFul squareUser LevelMachine stopped. automatic q）iationLevel 1: OperatorSingle loading modFomat 156x156No jobQuartz BoatCamerAreaCarrier-ID:Area is emptyDirection r urnaceArea is empty装片盒的状态同样也町以通过对触摸屏的点击来改变，类似于石英舟的状态。

输入与显示：按钮Backwards （退出）点击此按钮，转到自动模式页面按钮Report （报告）点击此按钮，转到报告页面按钮DELETE （删除）点击此按钮，所有的状态将被清除界面6：报告界面Machine StateFul squareUser LevelMachine stopped, MitonMtk opeiationLevel 1:Opeia（orSingle Io合ding modeFomat 156x156No jobError Page 1 Error Page 2 Error Dage 3 Error Page 4n umhAr nf prrnrq oAckno wledgeError BufferAcknowledgeSingle ErrorSF02 air pressure below minimum, system air-pressure -B122b 2SF01: air pressure below minimum, input air-pressure -B122b,1SE07UP Not allowed position. Comb B Car. Z-Axis T6SE07EP: End switch positrv activated. Comb B Car. Z-Axis B2/T6SE07EN End switch negativ activated. Comb B Car Z-Axis B1/T6SE07SC SERCOS error. Comb B Car. Z-Axis T6SE06UP Not allowed position. Comb A Car Z-Axis T5SE06EP End switch posit” activated. Comb A Car. Z-Axjs B2fT5SE06EN End switch negativ activated, Comb A Car Z-Axis B1/T5SE06SC SEECOS error. Comb A Car Z3s T5SE05EP End switch posrtcv activated. Comb Quartz Boat Z-Axis B2/T3 SE05EN End switch negativ activated, Ccmb Quartz Boat Z-Axis B1/T3 SE05SC: SERCOS error. Comb Quartz Boat Z-Axis T3SE04UP Not allowed position. Comb Qua"z Boat X-Axis T4SE04EP End switch posit” activated. Comb Quartz Boat X-Axis B1/T4输入与显示:按钮Acknowledge Error Buffer （确认错误缓冲器）点击此按钮，确认所有给出的错误报告，所 有错误报告将在本页面清除。

按钮Acknowledge Single Error （确认单个错误）点击此按钮，确认单个的错误报告，被选择 的错误报告将在木页面清除按钮Error Repory （错误报告）点击此按钮，转到Error Reportye页面按钮History （历史）点击此按钮，显示历史错误报告按钮Leave Report （离开报告）点击此按钮，回到自动模式页面硅片的装载：Carrier Input （装片盒加载）：在生产过程中，当按下Start后，机器就会判断是否存在装片盒片盒的装载■卸载平台的两个白色按钮就会点亮，和应的提示信息就会在屏幕上显示 界面7：读者界面在Options选项中有一个Reader的子选项，aTransponder activev这个选项可以控 制设备是否对装片盒的ID号进行判断，打上对钩标识允许判断，在这一情况，设 备会对每一个装片盒的ID进行记录，如果没有ID号的话，就会报警，此时需要 操作者手动输入一个任意的四位号码；没有对钩表示设备不对其进行判断页面8：硅片规格页面在Options选项下的Wafer Format页面可以对硅片的规格进行。