超声波清洗原理说明.pptx
6页
单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,2016/9/14,#,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,2016/9/14,#,超,音波工作原理介绍,绑定制程介绍,Laser,Shorting Cut,Edge Cleaner,OLB Pre-Bond,OLB Main Bond,Dispenser,PCB Main Bond,Auto Packing,AOI,PCBI,Loader,Mark,识别,plasma,超声波,不织布,搬送至下游,酒精,Edge Cleaner,流程,展开,超声波清洗,目的,目的及作用：清洁玻璃上,particle,，避免对,EC,单元后的制程造成影响TFT,CF,particle,超,声,波,上偏光板,&,上偏光板保护膜,超声波清洗系统工作流程,控制操作箱,转换器,马达,风机,尘粒过滤器,空气过滤器,清洗头,过滤器故障检测器,过滤器故障检测器,马达,风机,空气过滤器,正压,清洗头内超声波压力腔,超声波,particle,负压,清洗头内真空腔,尘埃过滤器,工作示意图：,超声波清洗头,原理：,由喷嘴,产生,的,超声波,清除尘粒,，,将,被吸附,在,panel,上,的微粒分离出来最后吸至真空腔。
U,V,V,压力腔,真空腔,真空腔,基板移动方向,超声波发生器,(VUV,型,),V,U,U,真空,腔,压力腔,压力,腔,基板移动方向,超声波发生器,超声波发生器,(UVU,型,),入口,出,口,超声波发生器内部结构,高速,流动的空气,清洗头内的超声波是通过洁净空气高速流动产生的：,进入超声波发生器,气体膨胀压缩,气体出口出迅速膨胀,形成超声波,特点：,1.,结构简单易于维护；,2.,超声波性能几乎永不衰减；,3.,非接触式清洗，避免清洗工件划伤或损坏；,4.UVU,型能去除,99%,的,1.6um,及以上的尘粒；,VUV,型能去除,99%,的,3.0um,及以上的尘粒；,。
