真空退火炉工安全技术操作规程标准版本.docx

真空退火炉工安全技术操作规程标准版本 文件编号：RHD-QB-K7503 （操作规程范本系列） 编辑：XXXXXX 查核：XXXXXX 时间：XXXXXX 真空退火炉工安全技术操作规程标准版本 真空退火炉工安全技术操作规程标 准版本 操作指导：该操作规程文件为日常单位或公司为保证的工作、生产能够安全稳定地有效运转而制定的，并由相关人员在办理业务或操作时必须遵循的程序或步骤其中条款可根据自己现实基础上调整，请仔细浏览后进行编辑与保存 1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉 2.合上总电源,再合上操作电源 1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门 2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度 电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa); 电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa); 电流为98mA时真空度为10- 3Torr(0.133Pa)； 电流为10OmA时真空度为10- 4Torr(0.0133Pa)。

5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上 6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀 7.真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,用电离计测量真空度 8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min) 9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源 10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A 11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制 12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却 13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。

14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源 15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖 16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理 这里写地址或者组织名称 Write Your Company Address Or Phone Number Here 。