无尘车间温湿度控制很重要.docx

无尘车间温湿度控制很重要 无尘车间温湿度控制很重要 温湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内 近年，在这些规定范围中保持处理空气过程，使我们必需承担资金和运营成本但是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中控制相对湿度呢？因为相对湿度可能使洁净室总体表现下降 洁净室总体表现下降的因素为： 1、细菌生长； 2、工作人员感到室温舒适的范围； 3、出现静电荷； 4、金属腐蚀； 5、水汽冷凝； 6、光刻的退化； 7、吸水性 细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。

一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低 相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快 高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间 相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都 无尘车间温湿度控制很重要 温湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内 近年，在这些规定范围中保持处理空气过程，使我们必需承担资金和运营成本。

但是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中控制相对湿度呢？因为相对湿度可能使洁净室总体表现下降 洁净室总体表现下降的因素为： 1、细菌生长； 2、工作人员感到室温舒适的范围； 3、出现静电荷； 4、金属腐蚀； 5、水汽冷凝； 6、光刻的退化； 7、吸水性 细菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低 相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快 高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累──这是大家希望的结果较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间 相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都 。