湿度传感器的分类和特性PPT课件.ppt

课题一 湿度传感器的分类及特性任务目标★熟悉湿度的表示方法和湿度传感器的主要特性；★熟悉半导体陶瓷湿度传感器、有机高分子湿度传感器的基本结构，掌握其感湿特性2021/6/71一、湿度传感器概述湿度是指物质中所含水分的量，可通过湿度传感器进行测量湿度传感器是将环境湿度转换为电信号的装置 ，现代化的工农业生产及科学实验对空气湿度的重视程度日益提高，要求也越来越高，如果湿度不能满足要求，将会造成不同程度的不良后果 2021/6/721．湿度的表示方法狭义的湿度是指空气中水汽的含量，常用绝对湿度、相对湿度和露点（或露点温度）等来表示1）绝对湿度绝对湿度是指在一定温度及压力条件下，单位体积待测气体中含水蒸气的质量，即水蒸气的密度，其数学表达式为 （3-1） 式中Mv——待测气体中水蒸气的质量； V ——待测气体的总体积； Ha——待测气体的绝对湿度，单位为g/m32021/6/73（2）相对湿度相对湿度为待测气体中的水蒸气压与同温度下水的饱和蒸气压的比值的百分数，其数学表达式为（3-2） 式中 PV——某温度下待测气体的水蒸气压； PW——与待测气体温度相同时水的饱和蒸气压； RH——相对湿度，单位为%RH。

2021/6/74饱和水蒸气压与气体的温度和气体的压力有关当温度和压力变化时，因饱和水蒸气压变化，所以气体中的水蒸气压即使相同，其相对湿度也会发生变化，温度越高，饱和水蒸气压越大日常生活中所说的空气湿度，实际上就是指相对湿度而言凡谈到相对湿度，必须同时说明环境温度，否则，所说的相对湿度就失去确定的意义2021/6/75（3）露点水的饱和蒸气压随温度的降低而逐渐下降在同样的空气水蒸气压下，温度越低，则空气的水蒸气压与同温度下水的饱和蒸气压差值越小当空气温度下降到某一温度时，空气中的水蒸气压与同温度下水的饱和水蒸气压相等此时，空气中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠，相对湿度为100％RH该温度称为空气的露点温度，简称露点如果这一温度低于0℃时，水蒸气将结霜，又称为霜点温度两者统称为露点空气中水蒸气压越小，露点越低，因而可用露点表示空气中的湿度2021/6/762．湿度传感器的主要特性（1）感湿特性感湿特性为湿度传感器的感湿特征量（如电阻、电容、频率等）随环境湿度变化的规律，常用感湿特征量和相对湿度的关系曲线来表示，如图3-1所示图3-1 湿敏元件的感湿特性曲线按曲线的变化规律，感湿特性曲线可分为正特性曲线和负特性曲线 。

性能良好的湿度传感器，要求在所测相对湿度范围内，感湿特征量的变化为线性变化，其斜率大小要适中 2021/6/77（2）湿度量程湿度传感器能够比较精确测量相对湿度的最大范围称为湿度量程一般来说，使用时不得超过湿度量程规定值所以在应用中，希望湿度传感器的湿度量程越大越好，以0%~100%RH为最佳湿度传感器按其湿度量程可分为高湿型、低湿型及全湿型三大类高湿型适用于相对湿度大于70%RH的场合；低湿型适用于相对湿度小于40%RH场合；而全湿型则适用于0%~100%RH的场合2021/6/78（3）灵敏度灵敏度为湿度传感器的感湿特征量随相对湿度变化的程度，即在某一相对湿度范围内，相对湿度改变1%RH时，湿度传感器的感湿特征量的变化值，也就是该湿度传感器感湿特性曲线的斜率由于大多数湿度传感器的感湿特性曲线是非线性的，在不同的湿度范围内具有不同的斜率，因此常用湿度传感器在不同环境湿度下的感湿特征量之比来表示其灵敏度如R1%/R10%表示器件在1%RH下的电阻值与在10%RH下的电阻值之比2021/6/79（4）响应时间当环境湿度增大时，湿敏器件有一吸湿过程，并产生感湿特征量的变化而当环境湿度减小时，为检测当前湿度，湿敏器件原先所吸的湿度要消除，这一过程称为脱湿。

所以用湿敏器件检测湿度时，湿敏器件将随之发生吸湿和脱湿过程在一定环境温度下，当环境湿度改变时，湿敏传感器完成吸湿过程或脱湿过程（感湿特征量达到稳定值的规定比例）过程所需要的时间，称为响应时间感湿特征量的变化滞后于环境湿度的变化，所以实际多采用感湿特征量的改变量达到总改变量的90%所需要的时间，即以相应的起始湿度和终止湿度这一变化区间90%的相对湿度变化所需的时间来计算2021/6/710（5）感湿温度系数湿度传感器除对环境湿度敏感外，对温度也十分敏感湿度传感器的温度系数是表示湿度传感器的感湿特性曲线随环境温度而变化的特性参数在不同环境温度下，湿度传感器的感湿特性曲线是不同的，如图3-2所示图3-2 湿敏元件的温度特性湿度传感器的感湿温度系数定义为：湿度传感器在感湿特征量恒定的条件下，当温度变化时，其对应相对湿度将发生变化，这两个变化量之比（参见式（3-3）），称为感湿温度系数3-3） 2021/6/711显然，湿度传感器感湿特性曲线随温度的变化越大，由感湿特征量所表示的环境湿度与实际的环境湿度之间的误差就越大，即感湿温度系数越大因此，环境温度的不同将直接影响湿度传感器的测量误差故在环境温度变化比较大的地方测量湿度时，必须进行修正或外接补偿。

湿度传感器的感湿温度系数越小越好传感器的感湿温度系数越小，在使用中受环境温度的影响也就越小，传感器就越实用一般湿度传感器的感湿温度系数在0.2~0.8%RH/℃ 2021/6/712图3-3 湿度传感器的湿滞特性（6）湿滞特性一般情况下，湿度传感器不仅在吸湿和脱湿两种情况下的响应时间有所不同（大多数湿敏器件的脱湿响应时间大于吸湿响应时间），而且其感湿特性曲线也不重合在吸湿和脱湿时，两种感湿特性曲线形成一个环形线，称为湿滞回线湿度传感器这一特性称为湿滞特性，如图3-3所示 湿滞回差表示在湿滞回线上，同一感湿特征量值下，吸湿和脱湿两种感湿特性曲线所对应的两湿度的最大差值在电阻为X值时，ΔRH=RHH-RHL，显然湿度传感器的湿滞回差越小越好 2021/6/713（7）老化特性老化特性为湿度传感器在一定温度、湿度环境下，存放一定时间后，由于尘土、油污、有害气体等的影响，其感湿特性将发生变化的特性8）互换性湿度传感器的一致性和互换性差当使用中湿度传感器被损坏，那么有时即使换上同一型号的传感器也需要再次进行调试 2021/6/714综上所述，一个理想的湿度传感器应具备以下性能和参数：① 使用寿命长，长期稳定性好。

② 灵敏度高，感湿特性曲线的线性度好③ 使用范围宽，感湿温度系数小④ 响应时间短⑤ 湿滞回差小，测量精度高⑥ 能在有害气氛的恶劣环境下使用⑦ 器件的一致性、互换性好，易于批量生产，成本低⑧ 器件的感湿特征量应在易测范围以内2021/6/715二、湿度传感器的分类及工作原理 湿度传感器种类很多，没有统一分类标准按探测功能来分，可分为绝对湿度型、相对湿度型和结露型；按传感器的输出信号来分，可分为电阻型、电容型和电抗型，电阻型最多，电抗型最少；按湿敏元件工作机理来分，又分为水分子亲和力型和非水分子亲和力型两大类，其中水分子亲和力型应用更广泛；按材料来分，可分为陶瓷型、有机高分子型、半导体型和电解质型等下面按材料分类分别加以介绍 2021/6/7161．半导体陶瓷湿度传感器 陶瓷湿度传感器具有很多优点，主要如下：测湿范围宽，基本上可实现全湿范围内的湿度测量；工作温度高，常温湿度传感器的工作温度在150℃以下，而高温湿度传感器的工作温度可达800℃；响应时间短，多孔陶瓷的表面积大，易于吸湿和脱湿；湿滞小、抗沾污、可高温清洗和灵敏度高，稳定性好等2021/6/717半导体陶瓷湿度传感器按其制作工艺不同可分为：烧结型、涂覆膜型、厚膜型、薄膜型和MOS型。

陶瓷湿度传感器较成熟的产品有MgCr2O4-TiO2（铬酸镁-二氧化钛）系、ZnO-Cr2O3（氧化锌-三氧化二铬）系、ZrO2（二氧化锆）系、Al2O3（三氧化铝）系、TiO2-V2O5（二氧化钛-五氧化二钒）系和Fe3O4（四氧化三铁）系等它们的感湿特征量大多数为电阻，除Fe3O4系外，都为负特性湿敏传感器，即随着环境湿度的增加电阻值降低下面介绍其典型品种 2021/6/718半导体陶瓷湿度传感器2021/6/719（1）MgCr2O4-TiO2系湿度传感器MgCr2O4-TiO2系湿度传感器为烧结型，其结构如图3-4所示图3-4 MgCr2O4-TiO2系湿度传感器结构2021/6/720制作方法 ：以MgCr2O4为基础材料，加入适量的TiO2，在1300℃左右烧结而成，然后切割成所需薄片，在MgCr2O4-TiO2陶瓷薄片两面涂覆氧化钌（RuO2）多孔电极，并于800℃下烧结，制成感湿体，电极与引出线烧结在一起，引线为Pt-Ir（铂-铱）丝在感湿体外设置由镍铬丝烧制而成的加热清洗线圈，此线圈的作用主要是通过加热排除附着在感湿片上的有害物质（如水分、油污、有机物和灰尘等），以恢复对水汽的吸附能力。

常用450℃每分钟的条件对陶瓷表面进行热清洗 2021/6/721MgCr2O4-TiO2湿度传感器的感湿特性曲线如图3-5所示，该湿度传感器的特点是体积小、感湿灵敏度适中，电阻率低，阻值随相对湿度的变化特性好，测量范围宽，可测量0~100%RH，响应速度快，响应时间可小至几秒图3-5 MgCr2O4-TiO2湿度传感器的感湿特性曲线2021/6/722（2）硅MOS型Al2O3湿度传感器Al2O3湿度传感器根据湿敏元件制作方法不同，可分为多孔Al2O3湿度传感器、涂覆膜状Al2O3湿度传感器和MOS型湿度传感器下面介绍硅MOS型湿度传感器图3-6 硅MOS型Al2O3湿度传感器的结构 MOS型湿度传感器具有响应速度快、化学稳定性好及耐高低温冲击的性能2021/6/7232．高分子湿度传感器高分子湿度传感器包括高分子电解质薄膜湿度传感器、高分子电阻式湿度传感器、高分子电容式湿度传感器、结露传感器和石英振动式传感器等，下面分别加以介绍1）高分子电阻式湿度传感器这种传感器的湿敏层为可导电的高分子，强电解质，具有极强的吸水性水吸附在有极性基的高分子膜上，在低湿下，因吸附量少，不能产生电离子，所以电阻值较高；当相对湿度增加时，吸附量也增大。

高分子电解质吸水后电离，正负离子对主要起到载流子作用，使高分子湿度传感器的电阻下降吸湿量不同，高分子介质的阻值也不同，根据阻值变化可测量相对湿度2021/6/724高分子湿度传感器外形图2021/6/725（2）高分子电容式湿度传感器图3-7为高分子薄膜电介质电容式湿度传感器的结构，它是在洁净的玻璃基片上，蒸镀一层极薄（50nm）的梳状金质，作为下部电极，然后在其上薄薄地涂上一层高分子聚合物（1nm），干燥后，再在其上蒸镀一层多孔透水的金质作为上部电极，两极间形成电容，最后上下电极焊接引线，就制成了电容式高分子薄膜湿度传感器图3-7 高分子薄膜电介质电容式湿度传感器的结构2021/6/726当高分子聚合物介质吸湿后，元件的介电常数随环境相对湿度的变化而变化，从而引起电容量的变化由于高分子膜可以做得很薄，所以元件能迅速吸湿和脱湿，故该类传感器有滞后小和响应速度快等特点3）结露传感器结露传感器是一种特殊的湿度传感器，它与一般的湿度传感器不同之处在于它对低湿不敏感，仅对高湿敏感，感湿特征量具有开关式变化特性结露传感器分为电阻型和电容型，目前广泛应用的是电阻型 2021/6/727结露传感器外形图2021/6/728电阻型结露传感器是在陶瓷基片上制成梳状电极，在其上涂一层电阻式感湿膜，感湿膜采用掺入碳粉的有机高分子材料，在高湿下，电阻膜吸湿后膨胀，体积增加，碳粉间距变大，引起电阻突变；而低湿时，电阻因电阻膜收缩而变小，其特性曲线如图3-8所示，在75%~80%RH以下时，很平坦，而超过75%~80%RH陡升。

图3-8 结露传感器的感湿特性2021/6/729结露传感器的特点 ：响应时间短，体积较小，对高湿快速敏感它的吸湿作用不在湿敏膜的表面，而在其内部，这就使它的特性不受灰尘和其他气体对其表面污染的影响，因而长期稳定性好，可靠性高，且不需加热解毒，能在直流电压下工作结露传感器一般不用于测湿，而作为提供开关信号的结露信号器，用于自动控制或报警，主要用于磁带录像机、照相机和高级轿车玻璃的结露检测及除露控制2021/6/730（4）石英振动式湿敏传感器该类传感器是在石英振子的电极表面涂覆高分子材料感湿膜，当膜吸湿时，由于膜的重量变化而使石英振子共振频率变化，从而检测出环境湿度，传感器在0~50℃时，湿度检测范围为0%~100%RH，误差±5%RH石英振动式湿敏传感器还能检测露点，当石英振子表面结露时，振子的共振频率会发生变化，同时共振阻抗增加2021/6/7313．含水量检测通常将空气或其他气体中的水分含量称为“湿度”，将固体物质中的水分含量称为“含水量”，即固体物质中所含水分的质量与总质量之比的百分数 1）称重法测出被测物质烘干前后的重量GH和GD，含水量的百分数为（3-4）这种方法很简单，但烘干需要时间，检测的实时性差，而且有些产品不能采用烘干法。

2021/6/732（2）电导法固体物质吸收水分后电阻变小，用测定电阻率或电导率的方法便可判断含水量3）电容法水的介电常数远大于一般干燥固体物质，因此用电容法测物质的介电常数从而测出含水量是相当灵敏的造纸厂的纸张含水量可用电容法测量4）红外吸收法水分对波长为1.94um的红外线吸收较强，而对波长为1.81um红外线几乎不吸收由上述两种波长的滤光片对红外光进行轮流切换，根据被测物对这两种波长的能量吸收的比值便可判断含水量 2021/6/733（5）微波吸收法水分对波长为1.36cm附近的微波有显著吸收现象，而植物纤维对此波段的吸收仅为水的几十分之一，利用这一原理可制成测木材、烟草、粮食和纸张等物质中含水量的仪表微波法要注意被测物料的密度和温度对检测结果的影响，这种方法的设备稍为复杂一些 2021/6/734阶段小结 湿度信息由湿度传感器转变为电信号，通过湿敏元件的电量信号（电阻、电容等）随环境湿度变化而变化的特性来检测湿度传感器的分类方法繁多，种类各不相同，感湿机理千差万别湿度较难检测，原因在于湿度信息的传递较复杂湿度信息必须靠其信息物质——水对湿敏元件直接接触来完成因此，湿敏元件不能密封、隔离，必须直接暴露于待测的环境中，而水在自然环境中容易发生三态变化。

当其液化或结冰时，往往使湿敏器件的高分子材料或电解质材料溶解、腐蚀或老化，给测量带来不利湿度传感器目前最主要的技术性难点就是长期稳定性差及互换性差 2021/6/735谢谢 谢！谢！ 放映结束 感谢各位的批评指导！让我们共同进步2021/6/736部分资料从网络收集整理而来，供大家参考，感谢您的关注！。