G5Troubleshootinglist中英文.ppt

G5-Trouble-shooting-G5-Trouble-shooting-listlist中英文中英文29.07.2024P 2classic issues：：1.RF heatera.PCW flow sensor replacementb.lightpipe calibrationc.Eurotherm config2.Glove Boxa.Lid lift Motorb.Open enable S116 signalc.Server and Client PC backup&Recovery3.Pump cabineta.Device netb.air extraction flow sensor bypassc.H2 monitor bypasse.over pressure f.Glove Box pump and DOR pump maintenance4.GMS cabineta.HORIBA MFC&PC config modify29.07.2024P 31.PCW flow sensor replacement2013-9-26，DG机台在run recipe的过程中，RF突然fail down机，alarm message显示”water power supply”异常，因为是瞬间alarm，咨询RF原厂工程师，确认flow sensor存在此种可能。

2013-10-9，flow sensor到货，开始更换首先关闭RF电源breaker，然后再关闭PCW手阀：29.07.2024P 4用用N2 Gun和软管排出管路中多余的和软管排出管路中多余的PCW，，RF内部有内部有water leak sensor：：29.07.2024P 5拆卸旧拆卸旧flow sensor，先拆卸固定的，先拆卸固定的clamp，再拆卸，再拆卸flow sensor主体主体:29.07.2024P 6更换新的更换新的flow sensor，注意，注意O-ring是否贴合，是否贴合，flow方向是否正确，方向是否正确，sensor上有防呆上有防呆设计，不会装反设计，不会装反29.07.2024P 7安装好以后，再次确认安装好以后，再次确认PCW各项参数是否正常：各项参数是否正常：29.07.2024P 81.lightpipe calibration2013-6-13,BH机台因lightpipe有coating，决定用瓦斯喷枪高温去coating，再进行calibration先用瓦斯喷枪烤除coating:29.07.2024P 9再将lightpipe连接至校正工具，校正温度为1000℃，但controller初始值为600℃，所以先升温至600℃，待温度稳定一段时间后，再手动升温至1000℃：29.07.2024P 10手手动升温至升温至1000℃℃后，后，稳定一段定一段时间，并，并观察察Eurotherm上上显示示值与与实际设定定值相差多少，待相差多少，待稳定后才定后才进行校正行校正29.07.2024P 11连接接软件开始校温，使用件开始校温，使用USB TO RS232数据数据线进行行连接：接：29.07.2024P 12打开打开软件，找到件，找到对应的端口，此的端口，此处为COM 24端口：端口：29.07.2024P 13校正目校正目标温度温度为1000℃℃，，Probes->Auto-Cal->Calibrate->Apply->Save，保存数据后退出，，保存数据后退出，校正完成。

校正完成29.07.2024P 141.Eurotherm config2013-10-17，对存在alarm隐患的Eurotherm更换，之前所有的alarm都是一样的，如下图：29.07.2024P 15对新的Eurotherm进行setup:1. 首先用 USB TO RS232数据线连接至Eurotherm端RS232接口29.07.2024P 162. 再用软件打开，Scan端口，查看参数设置:29.07.2024P 173. Load DD机台原来正确的参数，灌机台原来正确的参数，灌进新的新的Eurotherm，等待几分，等待几分钟load完成后便完成后便OK但是今天出但是今天出现的异常情况的异常情况为，新的，新的Eurotherm 无法接受无法接受load进去的参数去的参数,load 失失败，，怀疑是疑是维修修过的的Eurotherm ，原厂工程，原厂工程师会再寄会再寄1个个过来所以现在依然使用原来的在依然使用原来的29.07.2024P 18Attention：在此需要注意的事项是，我们现在所使用的是USB TO RS232转接线，而不是如下图的RS232 TO RS232直通线：29.07.2024P 19所以需交叉所以需交叉Transmit和和Receive信号信号线，左下，左下图2，，3线，就是右下，就是右下图的的JE，，JF线，否，否则数据数据线连接后接后读取不到数据。

根据左下取不到数据根据左下电路路图上数据上数据线颜色来接色来接线是是错误的的(Black, Brown, Red)，正确接，正确接线颜色色为右下右下图(Red, Brown, Black)：：29.07.2024P 202. Lid lift motor2013-9-17，，DC机台在机台在run结束后，束后，Lid无法打开，无法打开，alarm message: "emergency stop lid lift", "position difference"一般都是由于前后两个一般都是由于前后两个马达不同步所致根据达不同步所致根据之前的之前的经验：：1.重新拔插重新拔插Elevator Motor信号信号线和和电源源线，无反，无反应交换左右左右马达的信号达的信号线，，马达达仍然不同步仍然不同步29.07.2024P 212.Check 电路路图，找到，找到对应的的BECKHOFF信号信号线455D5，，在在Lid lift 24V电源源 437F1,437F2 power off的情况下，重新拔插的情况下，重新拔插BECKHOFF上上motor信号信号线455D5，左，左边一列一列123为Lid lift Drive1 X18信号，右信号，右边一列一列567为Lid lift Drive2 X19信信号号，把，把两两边Elevator Motor的信号的信号线连接在一起，接在一起，让信号同步，无反信号同步，无反应。

29.07.2024P 22查看查看lid lift table，，用手用手动”Maintenance Remote control box”来来调整整Lid position，但是，但是front lid lift无反无反应，初步判断，初步判断front motor损坏，不受控制坏，不受控制29.07.2024P 232013-9-18，到，到货原厂新的原厂新的motor更换前准前准备工作如下，用工作如下，用3个或个或4个个teflon柱子支撑柱子支撑住整个住整个lid,以防拆除以防拆除销子子时lid掉落掉落Change Lid lift Motor，卸掉motor与Lid连接的螺丝，包括Lid上和Lid 下用卡环钳卸掉销子，取出原来的motor29.07.2024P 25更更换新新motor后，需后，需进行行teaching, teaching共取两点，第一点取共取两点，第一点取lid gap 40mm, 第第二点取二点取lid gap 330mm，先用机台上的，先用机台上的"open","close"按按键调整至整至40mm左右，再左右，再用用remote control box微微调，按，按"Enable"来保存来保存设置。

第二点置第二点330mm teaching同同样方法：方法：29.07.2024P 26BECKHOFF 455D3相当于相当于remote control box上的上的”up”,”down”和和”initial”29.07.2024P 27BECKHOFF 455D2相当于控制面板上的相当于控制面板上的”open”和和”close”29.07.2024P 282. Open enable S113 signal2013-9-3，，BH机台在更机台在更换maint后的后的EBARA pump后，后，run "Prepare for transfer"时，在，在"S116 Reactor open enable"信号信号处卡死，卡死，Lid无法打开，无法打开，一般都是由于抽低一般都是由于抽低压"down to 40mbar"时蝶蝶阀角度异常角度异常导致，如下致，如下图：：根据之前的根据之前的经验，，BH频繁更繁更换MKS Throttle valve来来trouble shootning.但但是此次共更是此次共更换3个个Throttle valve，最后，最后1个个为全新的，依然在全新的，依然在S116信号信号处卡卡死。

死于是于是怀疑疑Pump setup错误，，check setup正常29.07.2024P 29与正常与正常run "Prepare for transfer"的机台的机台进行行对比，比，发现抽低抽低压pumping时正常，但是在回正常，但是在回压fillup时，蝶，蝶阀提前关提前关闭下图为正常正常transfer时reactor pressure和蝶和蝶阀开合角度的曲开合角度的曲线图，蝶，蝶阀在在run完之后才关完之后才关闭：：29.07.2024P 30BH在在pumping时正常，但是在正常，但是在刚开始开始fillup时，蝶，蝶阀就提前关就提前关闭为0，，pump不再抽气，不再抽气，进气只气只进不出，也就是不出，也就是说没有了充抽的没有了充抽的过程，异常曲程，异常曲线图如下：如下：29.07.2024P 31怀疑怀疑maint后的后的pump抽气能力过大，导致送气直接被抽走，于是在抽气能力过大，导致送气直接被抽走，于是在run "prepare for transfer"的过程中，手动增加送气量，手动增加的过程中，手动增加送气量，手动增加MFC的流量，正常的流量，正常open Lid.于是在于是在config中中setup，增加，增加default值，但是值，但是recipe并不认并不认default值，只认值，只认recipe中设定好中设定好的值的值29.07.2024P 32机台主要机台主要进气有气有TOP C1，，BOTTOM C2，，MO SUM C4三部分三部分组成，按成，按1:1:2的比例的比例自自动进气，其他气，其他较小流量小流量进气气Ignore29.07.2024P 33对比其他正常机台，在对比其他正常机台，在run同一个同一个"Prepare for transfer" recipe时，发时，发现进气量存在差异，正常如下现进气量存在差异，正常如下:BH异常进气量偏小，导致pump抽完后，为保证reactor压力，蝶阀只能关闭:由上图可知，进气比例均为1:1:2。

理论上，增加其中任何1个MFC的流量都可以实现目标，但是recipe并不认29.07.2024P 34于是于是请教教AIXTRON原厂原厂软件工程件工程师，来，来实现对recipe的修改，需修改的部分的修改，需修改的部分recipe如如下，将原来的下，将原来的30000修改修改为35000，，Open Enable信号正常，信号正常，open Lid正常：正常：29.07.2024P 352.Server&Client PC hard disk backup and Recovery1. Check hard disk是否损坏： 2. Information上显示硬盘上有bad block坏道： 29.07.2024P 363. 因为Server和Client PC上都有两块硬盘，且两块硬盘的分区如下，单纯的Ghost备份不能backup全部的硬盘信息： 29.07.2024P 374. 所以采用AIXTRON原厂配套的Backup&Recovery DVD来进行硬盘的备份和还原动作先进行backup动作，一般进行整个硬盘信息的备份： 29.07.2024P 385. 选择要备份的分区，因为是备份整块硬盘，所以选择两块硬盘的三个分区:C,D,E:29.07.2024P 396.选择备份文件存放的位置，一般用一个新的500G容量的移动硬盘： 29.07.2024P 407. 按”Proceed”进行backup，等待十几分钟后完成： 29.07.2024P 418.Recovery的动作相似，选取备份硬盘的所有分区，如下图：9. 和backup不同的是，backup是所有分区一起进行，Recovery是每个分区按顺序进行： 29.07.2024P 4210.Recovery完成后，注意check AIXACT软件版本是否一致：10. 在”Configure”->”System settings”中重启服务”Start Application”时，可能会跳出如下warning，只需按”Ignore”略过即可：29.07.2024P 433. Device net2013-8-2，EC机台在run recipe时down机，造成full run报废。

Alarm list如下，指向EL 6752模块旁边的ES9410模块：29.07.2024P 44GUI界面上显示dp filter过大，为367mbar，是EBARA PUMP由于interlock alarm而down掉：29.07.2024P 45因因为主要是由主要是由BECKHOFF DeviceNet EL6752模模块造成，于是先关造成，于是先关闭24V power的的”431F3” fuse，更，更换新的新的DeviceNet模模块29.07.2024P 46但是更但是更换后无任何改善，两个后无任何改善，两个”ES9410”：： “450D3A”模模块和和”450D17A”模模块信号灯仍然信号灯仍然显示异常，与之相示异常，与之相连的模的模块信号灯均不亮：信号灯均不亮：29.07.2024P 47正常情况下的信号灯正常情况下的信号灯显示如下，由此基本上判断示如下，由此基本上判断为450D3A模模块和和450D17A模模块损坏，坏，无法无法传输信号，同信号，同时把把错误信号反信号反馈至至EL 6752模模块，造成了，造成了该模模块产生了生了alarm：：29.07.2024P 48交交换两个两个ES9410模模块也无改也无改变，且信号灯同，且信号灯同时异常，初步判断异常，初步判断应是同是同时损坏坏29.07.2024P 49Check电路路图，两个，两个ES9410: 450D3A和和450D17A模模块的信号都来自同的信号都来自同一个模一个模块EK1100 “450D1”，但是此模，但是此模块信号灯正常：信号灯正常：29.07.2024P 50由于中由于中间连接模接模块等均不亮，等均不亮，怀疑中疑中间某个模某个模块短路造成信号无法短路造成信号无法传递和反和反馈：：29.07.2024P 51单个个测试模模块，，发现ES4102 450D9模模块存在短路存在短路现象：象：29.07.2024P 52正常信号灯正常信号灯显示如下：示如下：29.07.2024P 5353Device-net终端电阻機器機器機器機器機器機器機器機器機器ＴＡＰＴＡＰ支线分支Ｔ分支星型结线（支线长度　Ｍａｘ６ｍ）多支路多支路主线（１００m，２５０m，５００m￿）機器機器機器機器機器Device Net的网络拓扑29.07.2024P 5454Device-netDevice-Net协议简介29.07.2024P 5555Device-net◆开放的规格 ：具备完全开放化的规格。

ODVA的管理）◆丰富的器件 ：由633家供应商参加的多供应商总线至00年9月为止）◆连接的节点数：64个节点（能广泛地应用于FA的各种应用实例中）◆分支的多样性：允许T分支、支线分支等 ◆可靠性 ：采用CAN芯片（在耐噪音方面有在现场实际使用的实例）◆成本对应力 ：采用CAN芯片（芯片的供货稳定）◆维护性 ：对所连接机器的ID管理以及对设备描述的设定◆信息通信 ：可实现数10字节/节点的数据通信◆将来前景 ：可以涵盖到将来需求的规格、功能（多任务）简单简单自由的自由的配配线线有效有效抗干抗干扰扰性能性能完全完全开放网开放网络络Device Net的特点及优势29.07.2024P 5656Device-netDevice Net的特点及优势良好的抗干扰性能：理由理由1 1在在DeviceNetDeviceNet里的控制器使用的是里的控制器使用的是cancan总线总线芯片，具有丰富的芯片，具有丰富的检测错误简错误检测错误简错误功能功能(1)(1)CRC CRC （ （Cyclic Redundancy CheckCyclic Redundancy Check） ）校校验验 : : 根据算法，接收方根据算法，接收方对发对发送方送方传传来的数据来的数据进进行分析，行分析， 然后确然后确认认数据里是否正常数据里是否正常传递传递。

(2) Bit(2) Bit错误错误 : : 通信通信线缆线缆上信号上信号层层和和传传送送层发层发生不一致的生不一致的时时候可以候可以检查检查出出错误错误3) Acknowledgment (3) Acknowledgment 错误错误: : 如果如果节节点没有收到信息点没有收到信息传递传递的确的确认认信号，信号，则则确确认为错误认为错误1)(1) 还还有其他各种探有其他各种探查查功能来保功能来保证证信息的准确信息的准确传传达CAN chipCAN chip能能够够自自动执动执行再行再发发送送处处理！理！CANCAN探探查查了了错误错误除了CAN 总线芯片本身具有再发送处理功能之外， 在主站没有接到从站应答信息的时候，还能通过应用软件层来执行再发送处理29.07.2024P 5757Device-netDevice Net的特点及优势良好的抗干扰性能：理由理由2 2CANCAN采用差采用差动动平衡平衡电电路的通信方式路的通信方式以两根数据以两根数据线线的差异来判断的差异来判断｢ ｢1 1｣ ｣和和｢ ｢0 0｣ ｣，所以容易消除外部的干，所以容易消除外部的干扰扰影响。

影响24V (Network V+)0V (Network V-) CAN+CAN-共同的基准共同的基准电电位位抗干抗干扰扰性能性能强强的通信方式的通信方式理由理由3 3DeviceNetDeviceNet的每一个的每一个节节点都是用相同的通信点都是用相同的通信电电源源因因为为各各节节点之点之间间的通信用基准的通信用基准电电位差很小，所以可以避免位差很小，所以可以避免节节点之点之间间的的电电位差所引起的通信位差所引起的通信障碍29.07.2024P 5858Device-netDevice Net的特点及优势良好的抗干扰性能：理由理由4 4DeviceNetDeviceNet电缆电缆具有通信用的具有通信用的电电源源线线，因，因为为从外部来的干从外部来的干扰扰会往低阻抗的会往低阻抗的电电源源线线（（24V,0V24V,0V）走，）走，所以可以所以可以缓缓和重叠在两根信号和重叠在两根信号线线上的干上的干扰扰的程度理由理由5 5整个整个电缆电缆，信号，信号线线和和电电源源线线都已都已经经屏蔽好了屏蔽好了这这些屏蔽能些屏蔽能够够遮断外部干遮断外部干扰扰，可以，可以缓缓和干和干扰给扰给信号信号线线和和电电源源线线的影响。

也可以减少通信的影响也可以减少通信线产线产生的放射干生的放射干扰扰屏蔽+24VDC+0VDCCan +Can -Shield干扰干扰干扰29.07.2024P 593. air extraction flow sensor bypass2013-7-31，由于facility端跳电，导致二厂10台G5 排风降低，air extraction flow sensor alarm down机，alarm down机值为4m/s所使用的flow sensor型号参数如下： 品牌：SCHMIDT型号：SS 20.250测量范围：0.06-20m/s 输出信号：4-20mA工作电压：24 V DC ± 10 % Bypass原理和方法如下：风速为模拟量，处于一定范围的值内才不会发生alarm，flow sensor可测量的范围0.06-20m/s，对应的电流为4-20mA，所以选取1.2KΩ的电阻bypass，电压为24V DC，电流为24V/1200Ω=0.02A=20mA但是机台software端最多只能显示10m/s.如下电路图，用1.2KΩ电阻将1(brown)，2(red)pin连接，使电流稳定在20mA，以起到bypass的作用：29.07.2024P 6029.07.2024P 613. H2 monitor bypass对于机台因facility端外接信号导致H2 monitor出现假alarm的情况，根据工程要求，对机台外部的信号进行bypss动作。

H2 monitor external alarm原理为在正常工作状态下一直通24V power产生完整的回路，发生alarm时，24V power断电,不能形成完整的回路查找电路图，找到24V power所在，位于“141X1” module上3，4号位置：29.07.2024P 62此处的3，4号位置上有facility端接过来的信号线，现用如图所示的一根紫色短接线连接，以处于一直通24V power完整回路的情况下来起到bypass的作用：1234567829.07.2024P 632012-12-11，17:00，BH机台发生”Interlock at Device S112” alarm down机:Check后，发现是Reactor pressure过压导致，当时机台run Recipe时，setpoint=600mbar，但是current value=1060mbar，由曲线图得知压力瞬间冲到1060mbar: 29.07.2024P 64怀疑是check valve没有冲破，于是更换了一个新的25mbar check valve但是23:30，alarm再次发生。

机台自身在”Ready for transfer”时Reactor pressure=1030mbar，比别的机台偏高，Scrubber端排风不强由于刚做完PM，更换了Filter，清理了Throttle valve，在Run Recipe的过程中出现过压的alarm，用排除法来一一解决产生overpressure的原因：1. check valve2. Exhaust Tube3. Particle Filter4. MKS Throttle valve5. EBARA pump因为没有”dp filter” alarm，怀疑是collector bottom和collector middle没有疏通干净，再次清理因为过压，也可能是pump抽不下去，于是check EBARA pump 电流，正常，check alarm history，也正常： 29.07.2024P 65之前因为厂务端停电，BH机台的EBARA pump未能启动，采取手摇的方式启动，但是电流有些异常，于是更换了一台备用pump，并进行相应的setting；29.07.2024P 663. Glove Box pumpDF机台Glove Box Agilent Pump有异响，无法抽低压。

按AIXTRON原厂工程师介绍，Pump的保养时间为5000hrs左右，于是换下，进行PM动作1.拆开外壳，露出泵头：29.07.2024P 672.拆开泵头，检查 Tip seal的磨损情况，发现Tip seal两边接触面打磨严重，金属被打磨成粉末，Tip seal变形扭曲：29.07.2024P 683.于是于是试图用卡簧用卡簧钳取出，但是金属和取出，但是金属和Tip seal已粘在一起，无法取出已粘在一起，无法取出29.07.2024P 694.拆除整个拆除整个泵头，，电机与机与泵头分离：分离：29.07.2024P 705.更更换原厂寄原厂寄过来，来，维修修过的新的新泵头module，装好叶片，，装好叶片，对准准销子子:29.07.2024P 713. DOR pumpDB机台DOR Agilent Pump无法抽低压按AIXTRON原厂工程师介绍，Pump的保养时间为5000hrs左右，防止在run的过程中down机，于是换下，进行PM动作1.拆开外壳，露出泵头，注意连接外壳风扇的电源线：29.07.2024P 722.拆开泵头，检查 Tip seal的磨损情况，拆下旧的Tip seal，并用吸尘器和无尘布清理干净：29.07.2024P 733.同同时清理清理泵头处小小o-ring:29.07.2024P 744.按由内向外的按由内向外的书序安装新序安装新Tip seal：：29.07.2024P 755.在此需要注意的情况是，新在此需要注意的情况是，新pump出厂出厂电压设置置为110V，需更改，需更改为220V:29.07.2024P 764. BORIBA MFC&PCAIXTRON机台所使用的机台所使用的MFC，，PC均均为HORIBA厂家生厂家生产，每个，每个MFC/PC有自己惟一的有自己惟一的IP地址，来保地址，来保证communication不会不会错乱冲突，用的是乱冲突，用的是RJ45网网络接口。

接口29.07.2024P 77但是因但是因为PC端是端是USB接口，没有接口，没有RJ45 TO USB的直通的直通线，于是只能用，于是只能用转换线，此，此处用的是用的是RJ45-RS485-RS232-USB转接接线：：29.07.2024P 78打开打开软件，件，选择network模式模式:29.07.2024P 79选择气体种气体种类和要修改的和要修改的flow大小，此大小，此处为H2 ，，flow :500sccm29.07.2024P 80修改后按修改后按Start Scan端口，确端口，确认正确的正确的baud rate和和COM端口，此端口，此处是是"COM 1"端端口号，口号，COM口口为PC上正在使用的端口：上正在使用的端口：29.07.2024P 81并做并做double check，再，再查询一次来确一次来确认修改生效：修改生效：29.07.2024P 82软件修改完成后，在软件修改完成后，在Client PC GUI界面界面config physical值，确认参数统一：值，确认参数统一：结束结束。