教程之三3-rofin激光器安装、检测、切割参数调整、故障处理.doc

ROFIN激光器安装、检测、故障处理、切割参数调整目录ROFIN激光器安装、检测、故障处理、切割参数调整 1第一章 ROFIN激光器安装检测表 1第二章 Rofin 故障信息报警表 2第三章 ROFIN激光器切割参数调整 6一 序言 6二 机器 7三 材料 71. 不锈钢1.4301的切割效果 72. 低碳钢的切割效果 8四 切割参数调整 91. 焦点位置的定义 92. 不锈钢AISI 304的参数调整 93. 低碳钢O2切割参数的调整 13五 切割参数和表 161. 参数 162. 表格 16ROFIN激光器安装、检测、故障处理、切割参数调整本篇所称ROFIN激光器，是指DC 0XX系列CO2 Slab激光器第一章 ROFIN激光器安装检测表有资格的人员才能进行ROFIN激光器的安装检测安装与检测的步骤应按照下表进行序号任务 ü测得值/备注1检查包装箱是否损坏，倾斜和倒置标志是否变色发现损坏请与 Rofin Sinar 联系2检查激光头和控制柜是否损坏，在安装之前，发现损坏请与 Rofin Sinar 联系3把激光头放在激光器支架上参考操作手册(4-1－10)4连接高压安全接地棒到X56上。

5连接激光头和控制柜之间的电缆：a. W60－X60b. W42－X42c. X4－X4 @ PCB 608或@模拟接口(Lascon) [9pin D-sub插头d. 高压同轴电缆W6的中心头接到控制柜的高压接头X6，同轴电缆的地线控制柜的地线连接e. PWM同轴电缆W5接到X13 @ PCB 608或@模拟接口(Lascon)f. 地线连接到X9上6P200电源连接激光头到接线板的电缆g. W60接到X60h. W42接到X42i. X4接到X4 @ PCB 608 j. 高压同轴电缆W6的中心头接到控制柜的高压接头X6，同轴电缆的地线和地线连接k. PWM同轴电缆W5接到X13 @ PCB 608l. 地线连接到X9上m. 注意: 电气端子X71相当于X307连接冷却水管并检查是否泄漏a. 主回路为1 "水管b. 控制柜为3/8 "或½ " (不适用于P200电源) (参考手册4-11－14页和说明书第8部分)8连接氮气或清洁干燥空气(5bar)到激光头上为整型光学提供保护气)纯度级别为4.6。

9用蒸馏水加满去离子冷却水箱参考手册7-11－12页)10拆下激光束出光口的保护胶带11检查真空泵油位是否达到油窗的1/2处参考手册7-4页)12安装激光气瓶和减压阀I(参考手册7-5－8页)13断开客户现场空气开关，连接主电源参考手册4-19页)14检查控制柜变压器的抽头T1和T2是否与客户现场的电源电压相匹配15a. 检查客户现场的电源电压是否400 VAC (390V—410V)b. 如果相序不正确，主电源将关闭，K13红灯亮重新输入主电源相序c. 合上主电源d. 主电源启动以后将进行去离子水流量测试e. (参考手册7-11－12页)16执行真空测试，抽真空时间至少要15分钟漏气比不能大于0.1hPa/2.5小时如果大于该值，要执行12小时泄露测试(一整夜)17打开激光气瓶的阀门，按下主电源按钮，执行两次气体更换，气体更换结束后关上气瓶阀门18从X56上拆下高压安全接地棒19高压电源的钥匙开关S8转到手动位置或光闸的钥匙开关转到‘1’的位置20检测RF管灯丝电流，如果不正确要重新调整DC010—DC035：178A DC040—DC050：225A21警告：不要输出激光功率，先检查spatial filter。

a. 设Beam ON时间为20ms，CW方式，输出功率15%，占空比100 %用热敏纸检查输出模式是否正常b. 在光闸后面放一张热敏纸c. 打开光闸高压放电d. 关闭和高压电源e. 如果必要，调整spatial filter22记录光闸维持电流 (正常值为250Ma) 23记录栅极电流注意：栅极电流在有效为85%时DC010—DC035：2,3A (示波器)，2,0A (DVM)均方根表DC040—DC050：3,0A (示波器)，2,6A (DVM)均方根表24检查激光功率，校准最大输出功率值2500W25检查在C50%和100%输出功率时的模式并与出厂模式相比较26检查定位红光是否与输出激光同轴，如果必要需调整271 填写服务/维修报告2 填写质保卡第二章 Rofin 故障信息报警表状态信息 / 故障报警: 故障报警文本中带“*”的报警必须按RESET键主电源故障：输入故障叙述结果显示主电源电压 > ± 10 % 或输入相序错误主电源,计算机,高压电源关闭Display isOFF(no text displaypossible!)状态信息:输入故障叙述结果状态文本:真空室需要抽真空(在真空测试或激光气体更换过程中)高压锁定EVACUATION激光气体正在更换。

该功能可以用服务菜单对应的功能键激活高压锁定GASEXCHANGE真空室正在充气(激光气体在更换)高压锁定GASFILLING主电源关闭准备启动主电源高压锁定MAINS OFF真空测试正在进行真空测试功能可以在服务菜单中用开关ON或OFF完成高压锁定VACUUMTESTX100.2X100.4当主电源按钮ON之后, RF管的灯丝ON之前,电脑将检测正确的冷却水流量,最多不超过3分钟高压锁定WATER TEST报警信号:输入:故障叙述结果报警文本:报警信号:激光气体压力超过真空室上限，该信号表示激光气体需要立即更换无CAVITYPRESSUREX100.7报警信号:气瓶中的激光气体压力 (S26压力开关)太低或气瓶没打开或气瓶中的激光气体压力(P < 30 bar)气体无法更换*GAS BOTTLEPRESSURE报警信号:72小时没有更换气体，在下一个24小时内高压将被锁定可以工作24小时*GASCHANGEIN MAX 24 hX130.6报警信号:真空泵电机的断路器Q4 跳闸气体无法更换*I > VACUUMPUMPX140.4报警信号:激光发射警示灯的电流监视继电器没给出反馈信号 (激光发射警示灯故障)。

无LASERWARNINGLAMPX100.5报警信号:激光束望远镜系统的(压力开关或恒温器)S24已断开 高压锁定*PRESS/T.TELESCOPE报警信号:激光器的一个或更多元件已经达到服务周期(需要维护)无SERVICEINTERVAL故障报警:输入:故障叙述结果报警文本:all X..... 24 V电源关闭(当没有24 V电源时, 故障报警不能显示，因为显示器也是由24 V电源提供的)主电源关闭*24 V SUPPLYX14/X24连接LasConCPU X24和 LasConIO X14(CAN bus) 之间的电缆中断在LasConCPU X14 或LasConIOX24 (在每个盒子中2脚和7脚之间120欧姆)的终端电阻脱落LasConIO不是在"module 1"的位置必须旋转LasConIO的开关设定一次在 module 运行期间)从位置 "0" 到"1")主电源关闭,高压关闭*CAN BUSERROR真空室抽真空超过最大允许时间EVACUATIONTIMEX100.6RF发生器风扇的动态压力计S25测量的动态压力太低或相序错误高压和真空泵锁定*FAN RFGENERATOR充气到真空室的最大允许时间超过。

高压锁定停止气体更换*GAS FILLTIMEOUTX100.7X130.6出现激光气体更换故障，或不能进行气体更换高压锁定停止气体更换*GASCHANGEFAULT激光气体必须更换高压锁定*GASCHANGEREQUIREDX110.1RF管的栅极控制测量到平均栅极电流太大 高压锁定*GRIDCURRENTX130.2检测到高压电源过流或短路高压锁定*HV OVERCURRENTX140.6高压软启动装置没有给出反馈信号高压锁定*HV SOFTSTARTFAULTX130.2高压过流测量没有给出反馈信号主电源和*HVMONITORINGX130.7（激光头或控制柜）风扇电机的断路器Q5或Q6跳闸I > FANSX130.5RF管灯丝的断路器 Q3跳闸高压锁定*I > FILAMENT检测到高压电源过流高压锁定*Ia OVERCURRENTX120.5激光头的门或外部互锁开路高压锁定*INTERLOCK /DOORSX140.5当高压被锁定时，高压接触器 K1没有断开主电源和高压锁定*K1 FAULTX130.8当主电源被锁定时，主电源接触器K3没有断开主电源和高压锁定*K3 FAULT激光功率超过最大/最小允许范围。

高压锁定*LASERPOWERLIMITX140.4 激光辐射警示灯的电流监视继电器没有反馈信号(激光辐射警示灯损坏)高压锁定*LASERWARNINGLAMPX-LaserX4.1/6激光功率测量回路电流低于 3,5 mA(正常 4 - 20 mA)高压锁定*POWERMEASUREX-LaserX4.2/7腔压测量回路电流低于3,5 mA(正常4 - 20 mA)主电源和*PRESSUREMEASURE真空室的压力不在工作压力范围内高压锁定*PRESSURE。