碳碳坩埚生产工艺.doc

feigeoer01、目的 规范22S整体炭/炭坩埚生产过程，为生产人员提供技术指导2、适用范围 本工艺文件适用于所有22S整体炭/炭坩埚3、作业程序 3.1预计生产周期 预沉积（1周期） 化学气相沉积（约2周期） 粗机加 化学气相沉积（约1周期） 粗机加 化学气相沉积（约1周期） 高温处理 精机加 表面涂层（约1周期） 包装运输 3.2 生产流程 3.2.1预制体 预制体采用日本东邦或东丽公司生产的T700系列12K碳纤维束织物网胎和碳布1：1交替铺层，Z向针刺成型 预制体经检验合格后，进行预沉积若不合格的用专用芯模矫正，矫形后仍然不合格的，通知经营部处理，并填写《物料异常报告单》按照《产品监视和测量管理程序》执行 3.2.2预沉积 预沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装，用石墨芯模定型装炉时，必须轻拿轻放且单个沉积室内中心轴线要一致预定工艺参数：(1)升温制度 ①RT～940OC 12h ②940OC～940OC 保温2h ③940OC 沉积50h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.7m3/h 单个气路氮气流量：0.9m3/h(3)真空度≤-0.094Mpa　检验项目：外观无碳黑结壳、密度、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于3mm，大于3mm需进行工艺判定）检验合格后转下道工序。

3.2.3化学气相沉积1 化学气相沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装,产品倒扣摞起，产品之间垫两层碳毡预定工艺参数：(1)升温制度 ①RT～940OC 12h ②940OC～940OC 保温2h ③940OC 沉积200h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.8m3/h 单个气路氮气流量：1.0m3/h(3)真空度≤-0.094Mpa　检验项目：外观无碳黑结壳、密度不小于0.75g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于3mm,大于3mm需进行工艺判定） 检验合格后转下道工序3.2.4化学气相沉积2化学气相沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装,产品倒扣摞起，产品之间垫两层碳毡预定工艺参数：(1)升温制度 ①RT～940OC 12h ②940OC～940OC 保温2h ③940OC 沉积200h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.8m3/h 单个气路氮气流量：1.0m3/h(3)真空度≤-0.094Mpa　检验项目：外观无碳黑结壳、密度不小于1.0g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于3mm,大于3mm需进行工艺判定）检验合格后转下道工序。

3.2.5粗机加内型面和外型面加工至80%以上纤维清晰可见，保证机加时中心轴线和实际中心轴线吻合检验合格后转下道工序3.2.6化学气相沉积3化学气相沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装,产品倒扣摞起，产品之间垫两层碳毡预定工艺参数：(1)升温制度 ①RT～940OC 12h ②940OC～940OC 保温2h ③940OC 沉积180h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.7m3/h 单个气路氮气流量：0.84m3/h(3)真空度≤-0.094Mpa　检验项目：外观无碳黑结壳、密度不小于1.25g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于1mm,大于1mm需进行工艺判定） 检验合格后转下道工序3.2.7粗机加内型面和外型面加工至80%以上纤维清晰可见，保证机加时中心轴线和实际中心轴线吻合 检验合格后转下道工序3.2.8化学气相沉积4化学气相沉积在化学气相沉积炉内进行，采用专用沉积工装,产品倒扣摞起，产品之间垫两层碳毡预定工艺参数：(1)升温制度 ①RT～940OC 12h ②940OC～940OC 保温2h ③940OC 沉积180h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.5m3/h 单个气路氮气流量：0.6m3/h(3)真空度≤-0.094Mpa　检验项目：外观无碳黑结合、密度不小于1.4g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于1mm,大于1mm需进行工艺判定） 检验合格后转下道工序。

3.2.9高温处理 产品倒扣摞起，保证炉底平整，所有产品中心轴线和设备中心轴线吻合 预定工艺参数：(1)升温制度: ①RT～1200OC 7h ②1200 OC～1200 OC 2h,温度升至1200 OC后开始通入Ar ③1200 OC～1600 OC 3.5h ④1600 OC～1600 OC 1h ⑤1600 OC～2000 OC 4h ⑥2000 OC～2000 OC 2h ⑦2000 OC～2300 OC 3h ⑧2300 OC～2300 OC 4h(2)气体流量体：单个气路N2流量为1m3/h 单个气路Ar流量为0.7m3/h（1200 OC以上） 检验项目：外观无碳黑结壳、密度不小于1.40g/cm3、所有外形尺寸（椭圆变形量不得大于1mm,大于1mm需工艺判定） 检验合格后转下道工序3.2.10精机加 按照成品图加工，严格按照成品图纸要求执行 检验项目：外观无碳黑结壳、无污染，密度不小于1.40g/cm3、所有外形尺寸均符合成品图纸要求3.2.11表面涂层产品倒扣摞起，产品之间用硬碳毡垫起 预定工艺参数：(1)升温制度 ①RT～960OC 12h ②960OC～960OC 2h ③960OC 沉积 80h(2)气体流量：单个气路丙烯流量：0.5m3/h 单个气路氮气流量：0.6m3/h(3)真空度≤-0.096Mpa　 检验项目：外观无碳黑结壳、无污染，密度不小于1.40g/cm3、所有外形尺寸均符合成品图纸要求。

4、包装运输产品采用真空包装膜包装，并用吸尘器抽真空包装完成后放入四周垫有泡沫的专用产品箱内，放入使用说明和检验报告，用铁钉钉好箱盖，并用不锈钢匝带扎紧在包装箱侧面贴上合格证和产品相关信息，并用专用工具喷涂运输要求5、 引用文件 《产品监视和测量管理程序》 《炭/炭件检验规程》5、相关表格 《C/C产品工艺技术单》JL/PC2/01-01。