6寸以下厂房工艺区规划及设计要求.doc

6寸以下厂房工艺区规划及设计要求6 6 寸 以下厂房工艺区规划及设计要求（4 4- -6 6 寸晶圆 线 为例）1.全套设备工艺为功率器件制造 MOS/DMOS/双极或 BCD/MEMS 工艺平台，线宽 0.25 微米以上，光刻次数＜10 层2.月投片量为 4-6 寸硅片 4000-20__00 片，前期，每年按 300 个工作日计算，施行三班两运转制前工序操作人员初定人，工程技术人员人，共人后工序操作人员初定人，工程技术人员人，共人具体人员分布如下：前期产品 试生产期间 人员 配置）（最低）：前工序人数：光刻间：10+5 人 清洗间：4+2 人 腐蚀间：4 +2 人 扩散间 ：8+4 人 离子注入间 ：2+1 人 金属化间：2+1 人 外延间：2+1 人 磨片间：1+1 人 QC 间：光刻：1+1 人 腐蚀：1+1 人 QA :1+1 人 工程师：光刻：1+1 人 扩散：1+1 人，外延：1+1 人 外延：1 人 离子注入：1+1 人 磨片，金属化：1+1 人 技术员：负责设备运转：6+3 人 维修人员：4+2 人后工序人数：工人：中测：4 人（4 台中测台：2 人，样品抽测：1 人，特种测试：1 人）划片：2 人 烧结：装片：10 人 烧结-每台两人，三台共 6 人 压焊：18 人，镜检 4 人 封帽：金属封帽机 2 台用 4 人 塑封机 2 台用 4 人 去溢料：2 人 切筋打弯：2 人 浸锡：2 人 测试：8 人 打印包装：4 人 工程师：中测：1 人 塑封：1 人 压焊，烧结：1 人 测试：2 人 技术人员：5 人+QC2 人+维修 1 人 注：空调房间计算机人数以技术条件为准。

公司厂房总建筑面积按 6219m2,分三层，层高分别为：第一层 7.4m（核心净化区高架地板 0.4 米、净化厂房高度 3.4 米，静压仓1.4 米及动力技术加层 3 米），第二层 5.1m，第三层 3.9m厂房第一层用于前工序制作; 第二层用于后工序制作和办公； 第三层用于产品开发和仓库等洁净厂房要求：（1）：级别，温度，湿度要求：工作间级别 温度湿度面积 光刻间10022C+-2C42+5%104M2 清洗间10022C+2C45+10%28M2 腐蚀间100022C+2C45+10%51.8M2 扩散间100022C+2C45+10%88.2M2 金属化间100022C+2C45+10%45.0M2 外延间100022C+2C45+10%23.4M2 过道1000022C+3C50+10%105.9M2 QC1000022C+2C45+15%21.93M2 储存间1000022C+2C45+15%30.09M2 金属化设备间 1000022C+4C45+15%63.00M2 扩散设备间 24C+4deg;C---------142.44M2 气体纯化间----《25C〈70+10RH%25.00M2 进料间（储存清洗）21.6M2 腐蚀设备间 12.41M2 夹道（1+2）<28c；<70-53.5%RH+61.44m2 =114.9m2 回风道（1+2）4.7m2 磨片间<22C+4C-50+20RH%--32.24m2 消防值班室 28C--<70%--25.0m2 膜压间-22C+4C-50+10%-103.0m2 切筋上锡-22C+4C-50+20% 装片，烧结，压焊:10000,22C+2C-50+10%-376m2 金属封帽间-10000,22C+2C-50+10%-42.09m2 试验室-22C+2C-50+10%-44.80m2 库房-<28C-<70%-55.25m2 测试间-22C+2C-<70%-20__.0m2 办公室-<28C-<70%-886.0m2 (1):净化面积：100 级 133.1 平方米；1000 级 208.4 平方米；10000 级（前工序）220.94 平方米 （封装工序）518.14 平方米 （2）：震动要求：光刻间震动垂直震幅为 0.001 克噪音要求：光刻间噪声NB<55DB （5）：地板，墙板要求：洁净车间要求用防静电金属地板，表面光滑平整保温防火。

彩钢板墙面与天花板，墙面与地板交界处为圆角，墙面与门窗接逢处，墙面与墙板接缝处均需涂胶密封以防积尘，传递窗应间易实用，高效过滤器的选择除满足净化级别外，还应易清洗维修更换地板要求100 级房间采用垂直层流格栅地板，防静电，正压控制清洗间，腐蚀间要采用防酸地面，其它房间采用抗静电地板6）：照明要求：光刻间要求：黄光照明，照度为 300L_ （7）：气体供应：l H2 气用瓶装槽车通过汇流排分别进入纯化器和使用点l N2 气，O2 氧气由液体 N2，液 O2 储罐经过气化后进入纯化器和使用点l 气体管道宜采用进口不锈钢管道，初级可采用 SUS304BA 不锈钢管道，终端需用 SUS316EP 不锈钢管道l 气体纯化器采用进口装置，管道的接头，阀门，压力表，流量计，防爆器等均由厂家配套，管道达的施工和安装要保证高纯度的要求l 压缩空气 CDA 需用进口无油压缩机并配有干燥器，预过滤器以达到无油洁净要求l 真空系统按工艺布局要求设计l 各种气体的具体要求如下：（1）：H2 气：l 用量：8482M3/月（两班制）l 压力：4.2KG/CM2 l 纯度：999999%（扩散，外延）l 99．99%（后工序）l 纯化器选用：10M3/H l 露点：-76C l 杂质含量 H2 气的含量：〉99.99985% l O2 气的含量《=0.1PPM l N2 的含量：〈=0.1PPM l 甲烷：〈=0.1PPM l CO+CO2 ：〈=0.2PPM l H2O：〈0.1PPM （2）：N2 气：用量：48142M3/月 用气点压力：6.0KG/CM 纯度：99.9999%（扩散，外延）99．999%（离子注入，清洗）99．99%（其它，后工序）纯化器选用：20-30M3/H（供参考）露点：-73C 杂质含量：N2 的含量：〉=99.9996% O2 的含量：〈=0.1PPM H2 的含量：〈=2.0PPM 甲烷：〈=0.5PPM CO+CO2：〈=0.5PPM H2O：〈=1.0PPM （3）O2 气：用量：2100M3/月 压力：3.5KG/CM 纯度：99.99%（扩散）纯化器选用：20M3/H（供参考）露点：-70C 杂质含量：O2 的含量：〉=99.8% 甲烷：〈=0.5PPM CO+CO2：〈=2.0PPM H2O：〈=1.0PPM （4）压缩空气 AIR：用量：10M3/MIN（实际用量力而为 5M3/MIN）压力：7KG/CM（选择 107KG/CM2 的无油空压机组，一用一备）纯度：无油层 100 级 露点：-73C （5）废气处理要求：洁净车间排出的废气不能参加空调循环，酸性、碱性、有机、废热应设独立的排风系统。

诸如酸性、碱性，外延气体等废气都应排放到室外，排出的废气要达到环保 DB44/27-20__1 要求，有机废气按当前环保法规 VOCS 处理深度要求需要独立设计及设备选型（沸石转轮+RTO）酸性废气及碱性废气成分如下：品种：初始浓度（酸雾洗涤塔入口指标）硝酸HNO3100PPM硫酸H2SO4100PPM盐酸HCL50PPM氢氟酸 HF50PPM醋酸50PPM氢氧化钾50PPM 以上废气总排放量为 120__0 立方英尺/分_2 一用一备（有机废气入口指标）有机废气成分如下：活性炭吸附、UV 碳化、沸石转轮+RTO醋酸丁酯20__PPM丙酮50PPM二甲苯20__PPM苏打溶剂20__PPM高鉻已烷250PPM 以上废气总排放量为 2500CFM_2（一用一备）局部排风按工艺条件要求设施处理给水排水设计要求 （1）纯水（去离子水装置）（引进设备由香港半岛公司承包设计，施工设计，安装，调试）去离子水装置容量为10M3/小时2）电阻率：〉18 兆欧.厘米 （3）压力：3.5-5KG/CM2 （4）温度：20C 恒温 （5）0.2UM 粒子数《501ML （6）细菌数〈11/ML （7）有机物总量〈0.2MG/L （8）去离子水装置进口水量 13M3/时，压力 4KG/CM2，设累计即时流量计计量进水量，多介质过滤器，活性炭过滤器，软化器内壁才用铜衬胶，软化器配备两套，反渗透系统中的储水箱容量为本 15 吨，制备系统才用全自动控制，活性碳配备能调换两次的备料。

9）车间个层次所使用的软化水由去离子水装置供给冷却水要求循环使用，压力为 4.2KG/CM，温度为 20C5C10）废水处理装置（引进设备由香港公司承包设计，施工安装，调试废水排放量为 10M3/时，排出的废水须经过处理才能排入污水管道，排放标准因达到环保规定的要求，废水处理系统占地面积在 33M2 范围内11）（10）厂房内部给排水专业的设计工作遵照国标〈〈洁净厂房设计规范〉〉的有关规定进行11）厂房消防设施要符合洁净厂房消防规范，光刻间采用化学灭火器材，一般房间采用喷洒法9．电力供应 （1）全厂供电采用从不同供电站引入双电，最好有独立端口（专线或共线专用模式）总容量按 20__0KVA 设计，用两台 1000KVA 干式变压器供电，50HZ/380V/220V10KV 中置柜采用双回路备自投设计2）：60HZ 供电系统采用进口 UPS 电，总容量为 600KVA 冗余设计输出电压为：1 相 3 线115V，208V，230V3 相 5 线208V，230V3）采用备用柴油发电机的容量为 600KVA 左右，选噪音小，震动小的柴油发电机，在市电中断后 2 分钟内自动投入，柴油发电机系统，除与市电电气闭锁外还应具备电气与机械闭锁设计。

4）不同频率，不同电压输出应有明显的标志以示区别，并采用不同的插座（随设备而定）5）净化车间照明除光刻间需用黄光照明外其他地放均由日光照明，照明度约为 300L_，照明灯具吸顶按装，插座，布线有吊顶房间的采用暗敷6）高纯化气体 H2，O2，N2 纯化器房和外延间要考虑防爆，防火的照明和浓度超量报警装置7）：厂务及空调控制系统采用 FMCS PLC 控制，洁净室正压自控系统8）纯水制备及废水处理系统控制才 PLC 图控系统9）厂房应有应急照明系统消防喷洒系统的供电系统应采用双电供电，自动切换装置变压器，低压配电屏，照明配电箱，动力配电箱等选用国优厂品洁净厂房要有良好的接地，离子注入机要有单独地线，接地电阻率〈0.5 欧姆.厘米，其它设备的接地电阻率为 4-8 欧姆.厘米10．弱的设计要求：本工程中有净化车间且净化度极高，设备精密贵重，故设防灾报警系统，控制设备设置在一层消防值班室1）：火灾报警系统：在一，二，三层的生产厂房，管理用房，办公室，库房及一，二层技术夹层设置离子感烟探测器、核心净化器设计极早期火灾报警系统在柴油机房，储油间，变压室设感温探测器在门卫，楼梯口附近及人流较多的地放设立人工报警按钮，同。