空气泄漏测试方法与仪器.docx

泄漏检测方法气泡法：在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，将工件沉放入水中（或者其它 液体中），观察是否有气泡溢出或者在工件表面涂肥皂水，观察是否有气泡产生 （落后，污染产品，效率低下，无法自动化）压力降法：在密闭的工件腔体内通入一定压力的气体，静止一段时间，再次检测 气体的压力，观察压力是否有降低，根据压力的变化来判断是否有泄漏落后，效率 极其低下，灵敏度最低）压力差法：原理与压力降法类似，但方法更好在密闭的工件腔体内通入一定压 力的气体，同时在一个标准罐体内通入同样压力的气体，静止一段时间，观察标准罐 体内的压力与工件内的压力差这个比压力降法的精度要高，它可以排除环境温度变 化带来的压力偏差但市面上现有的压差表分辨率只有100~1000pa（灵敏度有所提 高，效率也不高）也有公司开发的传感器或泄漏测试仪能识别O.OlPa的压力变化， 也能精密测量泄漏体积，从而对泄漏程度有一个量化数据方法好，效率高微流量测试法：与上面压差法类似，当有O.OlPa的压差时，就能驱使空气流动， 导致传感器的热场变化，从而能在几毫秒内准确测试出微泄漏的量分辨率最小能探 测到 0.1 SCCM（ Standard Cubic Centimeter per Minute:标准大气压下立方厘米/分 钟）。

方法好，效率高泄漏收集法:适合阀类产品，一侧（腔体）加压，另一侧（腔体）收集泄漏气体 且尽可能减小腔体体积，以增加单位泄漏量下的压力的变化速度其它方法如负压或 背压法也是与此法类似压力差法及微流量测试法都可与泄漏收集法配合同时使 用，效果更好，效率更高在产能要求不高时，通过延长收集时间，能达到质谱仪的 探测能力超声波探测法：原理是泄漏点会产生超声波，使用超声波探测仪即可找出泄漏 点这个仅适用于寻找气体管路泄漏点的检测精度很差，最小只能探测到3公斤压 力下100um孔径的泄漏，这时的泄漏速度有100000立方毫米/秒以上）卤素气体检漏法：将一定压力的卤素气体通入密闭的工件腔体中，在工件外部用 卤素探测仪检测是否有卤素气体泄漏精度尚可，能探测到的最小泄漏速度大约为 10~20立方毫米/秒，效率一般，要在所有表面扫描探测，）氢氦气检漏法：原理与卤素气体检漏法类似，不同的是使用分子量更小，运动速 度更快的氢氦气体，所以灵敏度更高在20弋标准大气压下，水分子的运动速率约 1~2m/s （米/秒），氧气分子运动速率约460m/s，氢氦分子运动速率约1600m/s将 一定压力的氦气，通入密闭的工件腔体中，然后使用氦质谱仪检测工件的腔体周围是 否有氢氦元素泄漏，这个是目前高精度检漏所用的方法，比起前面几个方法来说，灵 敏度提高了很多，当然，成本也很高。

灵敏度最高，在真空模式下，每秒泄漏超过 1亿个气体分子时，就能探测到，在标准大气压下约5立方微米/秒，或10人-13立方 米*帕/秒，若在大气模式下，灵敏度减少4个数量级，约0.05立方毫米/秒不仅设备 昂贵，而且需要消耗昂贵的氦气，要配置真空泵等，使用时要在所有表面扫描探测）有没有探测灵敏度接近氢氦气检漏法的，而价格低廉，使用更高效便捷的方法或 仪器？ XL-500A型泄漏测试仪的灵敏度能接近质谱仪，在产能要求不高时，通过延长 收集时间或泄漏时间，能达到质谱仪的探测能力总体而言，只有压力差法，微流量 测试法，泄漏收集法，这几种方法好，性价比、效率高，也比较容易实现自动化 对于密封要求极高的产品，且产能也要求很高时，可以选用质谱仪测试泄漏如何选 择，建议咨询XL-500A型泄漏测试仪的生产厂家-3W点AUTOCXD点COM。