7列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目环评报告书 (修复的)

建设项目环境影响报告表 （送审版） 项目名称：列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目 建设单位：河南仕佳光子科技股份有限公司 编制日期：2019年8月 国家环保总局制 40 《建设项目环境影响报告表》编制说明 《建设项目环境影响报告表》由具有环境影响评价资质的单位编制。 1项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。 2建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应写明起止地点。 3行业类别——按国标填写。 4总投资——指项目投资总额。 5主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标性质、规模和距厂界距离等。 6结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。 7预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。 8审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。 建设项目基本情况 项目名称 列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目 建设单位 河南仕佳光子科技股份有限公司 法人代表 葛海泉 联系人 常夏森 通讯地址 河南省鹤壁市淇滨区延河路201号 联系电话 0392-2298000 传真 0392-2276819 邮政编码 458030 建设地点 鹤壁市金山产业集聚区河南仕佳光子科技股份有限公司现有厂区内 立项审批部门 鹤壁经济技术开发区经济发展局 批准文号 2019-410671-39-03-035466 建设性质 新建□改扩建√技改□ 行业类别 及代码 C3976光电子器件制造 占地面积（平方米） / 绿化面积（平方米） / 总投资 （万元） 37000 其中:环保投资（万元） 145 环保投资占总投资比例 0.39% 评价经费 （万元） 预期投产日期 2019年12月 工程内容及规模： 1. 项目由来 新一代信息技术产业是我国七大新型产业之一，加快建设宽带、泛在、融合和安全的信息网络基础设施，推动新一代移动通信、下一代互联网核心设备和智能终端的研发及产业化是新一代信息技术的关键所在。随着信息传输、处理、存储爆炸式增长，三网融合、云计算数据中心、Post-Web业务、3G、IPTV、视频会议高速宽带业务的持续增加，密集波分复用技术正逐步由主干网向城域网、接入网推进，密集波分复用已成为构建泛在、全光高速宽带网络的主要技术，可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片是三网融合、云计算数据中心、4G高速宽带网络的关键器件。 河南仕佳光子科技股份有限公司（以下简称“仕佳光子”）位于河南省鹤壁市国家经济开发区电子工业园内，由郑州仕佳通信科技有限公司和中国科学院半导体研究所联合投资成立，是一家PLC光集成芯片及核心器件研发、生产和销售于一体的高新技术企业。经研究市场发展和需求，公司拟在厂区内建设列阵波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目。该项目已取得《河南省企业投资项目备案确认书》（附件2）。 根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》（2017年10月1日施行）、《建设项目环境影响评价分类管理名录》（环境保护部令第44号）及《关于修改<建设项目环境影响评价分类管理名录>部分内容的决定》（生态环境部 第1号令）等有关规定，本项目属于“二十八：计算机、通讯和其他电子设备制造业中第82项电子器件制造中的集成电路制造”，应编制环境影响报告表。河南仕佳光子科技股份有限公司委托河南梦无界环保科技有限公司承担本项目的环境影响评价工作，委托书见附件1。 2. 现有工程概况 自2010年起，河南仕佳光子科技股份有限公司在现有厂区陆续实施了“200万片平面光波导分路器芯片、光电子集成芯片一期项目”（鹤环监表[2010]089号批复、鹤环验[2012]005号验收）、“年产400万片可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片项目”（鹤环审[2014]4号批复）、“年产10万片波分复用器芯片研发与产业化项目”（鹤环审[2014]5号批复）河南仕佳光子科技股份有限公司年产800万片半导体激光器、200万片半导体探测器项目（鹤环监表[2019]19号批复）。现有工程环评批复及验收情况见表1。 表1 现有工程环评及批复情况 类别 项目名称 建设内容及规模 环评批复文号 环保验收文号 现有工程 200万片平面光波导分路器芯片、光电子集成芯片一期项目 200万片平面光波导分路器芯片、光电子集成芯片 鹤环监表[2010]089号 鹤环验[2012]005号 年产400万片可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片项目（二期） 年产400万片可调光衰减器、40G/100G高速发射接收器等系列光电子集成芯片 鹤环审[2014]4号 鹤环审[2017]19号 年产10万片波分复用器芯片研发与产业化项目（二期） 年产10万片波分复用器芯片 鹤环审[2014]5号 河南仕佳光子科技股份有限公司年产800万片半导体激光器、200万片半导体探测器项目（三期） 年产800万片半导体激光器、200万片半导体探测器 鹤环监表[2019]19号 / 现有工程主要生产设备见表2。 表2 现有工程主要设备情况一览表 序号 设备名称 型号 数量台/套 1 CVD厚膜生长设备 / 2 2 ICP快速刻蚀系统 / 4 3 高温扩散炉设备 / 1 4 自动切割机 / 1 5 匀胶机 / 1 6 显影机 / 1 7 热板 / 1 8 光刻机 / 1 9 去胶机 / 1 10 电感耦合等离子体干法刻蚀机 DSE200plus 1 11 等离子体增强化学气相淀积系统A CC1-150 1 12 自动切割机 / 1 13 退火炉 D15M 2 14 精密耦合系统 / 2 15 膜厚测试仪 / 1 16 棱镜耦合仪 / 2 17 台阶仪 / 1 18 划片系统 / 2 19 抛光机 / 2 20 显微镜 / 2 21 烘烤平台 / 1 22 氮气柜 / 2 23 栏膜粘片机 / 1 24 清洗处理机 / 2 25 超声清洗 / 2 26 粘片机 / 2 27 超纯水处理工程 / 1 28 6PDI水测试仪 / 1 29 点光源UV机 / 1 30 闸门式UV烘箱 / 1 31 小型离子溅射仪 / 1 32 应力测试设备 / 2 33 6寸贴膜机 / 1 34 台式光源 / 2 35 多通道无源器件损耗分析仪 / 2 36 数控超声波清洗器 / 2 37 空气压缩机 GAe30VSD 2 38 冷冻水补水系统 QPG150-315A 1 39 冷却水塔 YHA-200C×2 1 40 变频控制柜 CKC-2T-30 1 41 屏蔽泵 / 1 42 饱和加速寿命试验机 / 1 43 N2烘片机 / 1 44 循环热水机 / 1 45 单片甩干机 / 1 46 抛光机（不带泵） / 2 47 正置金相显微镜 / 2 48 高精度手动耦合及测试 / 2 49 激光共聚焦显微镜 / 2 50 板式换热机组 / 2 51 电热恒温鼓风干燥箱 / 1 52 吸附剂酸废气净化系统 / 1 54 石英缸 / 2 55 紫外辐照计 / 2 56 光纤热剥器 / 1 57 全效全滤综合水处理器 / 1 58 III型点胶机 / 1 59 新型单芯光纤熔接机 / 1 60 8度角测量仪 / 1 61 在线端检仪 / 1 62 磨床 / 1 63 光纤放大镜 / 1 64 真空吸笔 / 1 65 电子防潮箱 / 1 67 组合式空调机组 / 1 68 热回收循环泵 QPG100-315A 2 69 冷却水循环泵 QPG200-315A 2 70 控制柜 CKC-2T-11 2 71 变频控制柜 CKC-2T-30 2 72 空压系统 SLAD-4.5MXF 2 73 酸碱废气净化系统 / 1 74 纯水系统 / 1 75 冷却塔 YHA-200C×2 1 76 螺杆式冷水机组 RTWC400D-R 2 77 囊式定压补水装置 NZG(P)600×1-CDL2-4×2 1 78 全滤式水处理器 WD—250A1.0QLZH/F 1 79 PECVD等离子气相沉积 SPTS LPX CVD、CC1-150 6 80 APS SPTS LPX APS 3 81 三管退火炉 D15M 1 82 二氧化碳打标机 LSC10 2 83 全自动芯片测试系统 SF300-16CH 2 84 感应耦合等离子体刻蚀设备 DSE200plus 3 85 光波导精密对准系统 / 1 86 Φ300数字式测量投影仪 CPJ-3025CZ 2 87 Scrubber尾气处理器 NSHW600 2 88 真空泵 IH1000/IH80/PDT/Itim/XDS35 3 89 光刻系统 / 1 90 波分复用器测试系统 / 4 （一） 外延材料和检测 1 MOCVD外延设备及其配套设施 进口 2 2 X射线衍射仪 进口 1 3 PL光致发光机图谱扫描 进口 1 4 特殊气体气瓶柜 进口 4 5 纵向掺杂分布测试设备 进口 1 6 霍尔分析仪 进口 1 7 膜厚测试议 进口 1 小计 11　 （二） 芯片加工和监测 1 光学曝光设备及其配套设施 进口 1 2 反应离子刻蚀RIE设备 进口 1 3 感应刻蚀ICP设备 进口 1 4 扫描电镜设备 进口 1 5 湿法设备 国产 6 6 快速退火设备 进口 1 7 单面减薄系统 进口 1 8 光学镀膜设备 进口 1 9 磁控溅射设备 进口 1 10 电子束蒸发设备 进口 1 11 PECVD 进口 1 12 解理机 进口 1 13 扩膜机 进口 1 14 甩胶机 国产 1 15 显影机 国产 1 16 烘烤机 国产 4 小计 24　 （三） 测试设备 1 芯片自动化测试设备及其配套设施 进口 1 2 光谱议 进口 2 3 50G频谱分析仪及其配套设施 进口 2 4 远场测试及其光学配套设施 进口 1 5 50GHz微波网络分析仪和微波探针测试系统 进口 1 6 高速示波器 进口 1 7