威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书

威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 1 重庆重大环境工程研究院有限公司 目目 录录 概概 述述.1 1 总论总论.4 1.1 编制目的及原则.4 1.2 编制依据.4 1.3 评价构思.10 1.4 评价方法.11 1.5 环境影响识别.11 1.6 评价标准.13 1.7 评价等级及评价范围.22 1.8 评价时段.26 1.9 评价工作重点.26 1.10 产业政策及规划符合性分析.27 1.11 环境保护目标及环境敏感目标.44 2 项目概况项目概况.47 2.1 地理位置与交通.47 2.2 项目基本情况.47 2.3 产品方案及生产线规模.47 2.4 项目建设内容及组成.48 2.5 主要生产设备.57 2.6 主要原辅材料及能源消耗.57 2.7 拟建项目总平面布置.59 2.8 工作制度及劳动定员.60 2.9 实施进度.60 3 工程分析工程分析.61 3.1 施工期工程分析.61 威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 2 重庆重大环境工程研究院有限公司 3.2 拟建项目主要工艺流程及产污环节.61 3.3 拟建项目物料平衡和水平衡.73 3.4 污染源强分析.81 3.5 非正常工况.111 4 环境现状调查与评价环境现状调查与评价.112 4.1 自然环境.112 4.2 万州区龙宝组团管理单元（万州经开区高峰园檬子、石梁片）规划及开发情况.117 4.3 环境质量现状监测与评价.118 5 环境影响预测与评价环境影响预测与评价.132 5.1 施工期环境影分析.132 5.2 运营期环境影响预测与评价.133 6 环境风险评价环境风险评价.194 6.1 概述.194 6.2 项目风险识别.194 6.3 源项分析.201 6.4 环境风险预测及评价.204 6.5 事故状态下水环境影响分析.209 6.6 风险评价.212 6.7 风险防范措施及应急预案.213 6.8 小结.225 7 环境保护措施及其经济、技术论证环境保护措施及其经济、技术论证.226 7.1 大气环境保护措施.226 7.2 水环境保护措施.233 7.3 地下水环境保护措施.254 7.4 声环境保护措施.255 7.5 固废污染防治措施.256 威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 3 重庆重大环境工程研究院有限公司 7.6 拟建项目污染防治措施汇总及环保投资估算.257 8 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析.259 8.1 经济效益分析.259 8.2 社会效益分析.259 8.3 环境效益分析.259 9 环境管理、监测计划及竣工验收环境管理、监测计划及竣工验收.262 9.1 环境管理.262 9.2 排污口规整要求.264 9.3 环境监测计划.266 9.4 污染源排放清单及环保验收.267 9.5 总量控制.273 10 评价结论及建议评价结论及建议.275 10.1 评价结论.275 10.2 建议.282 威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 1 重庆重大环境工程研究院有限公司 概概 述述 一、建设项目特点一、建设项目特点 目前，国内化合物半导体芯片行业主要集中在低端 LED 芯片领域，而在高端芯片领域，例如 VCSEL、高功率器件芯片等领域还没有能够产业化的企业。仅有部分高校和科研院所对 VCSEL 开展了不同层次的研究。另外，GaAs 或 InP wafer作为 VCSEL 的衬底材料，其生产技术主要集中在 AXT、FCM、住友等公司，国内鲜有厂家开展大批量半绝缘 GaAs 和 InP wafer 的生产。为了打破国外厂家对这些产品的技术垄断，解决国内高性能 GaAs、InP wafer 和 VCSEL 器件依赖进口的窘境，顺应未来全球 VCSEL 市场的快速增长，进行高性能半绝缘 GaAs、InP wafer和 VCSEL 等芯片器件的国产化已迫在眉睫。在此背景下，广东先导稀材股份有限公司拟在重庆市万州经济开发区成立子公司威科赛乐微电子股份有限公司，威科赛乐微电子股份有限公司成立于 2018年 1 月 18 日，位于重庆市万州经开区高峰园（万州经开区），法定代表人刘留，注册资本叁亿元整，公司拟租用重庆万林投资发展有限公司已建生产厂房建设半导体芯片产业化项目。根据调查，2018 年 1 月 10 日，重庆万林投资发展有限公司通过建设项目环境影响登记表备案系统（重庆市）对万州经开区高峰园檬子标准厂房建设项目进行备案登记，备案登记号为 201850010100000081；通过现场踏勘，目前万州经开区高峰园檬子标准厂房建设项目正在建设，预计于 2018 年 12 月底建设完成，建设内容包括生含 1 栋标准厂房、1 座库房、1 座站房、2 座门卫室、办公生活用房、生产辅助用房、绿化等配套设施。半导体芯片产业化项目建设 1 条高纯镓生产线、1 条砷化镓衬底生产线、1 条锗衬底生产线、1 条磷化铟衬底生产线、1 条氮化镓衬底生产线、1 条氧化镓衬底生产线、1 条碳化硅衬底生产线、3 条外延片生产线、10 条芯片生产线。全部达产后将达到年产砷化镓衬底 240 万片、锗衬底 30 万片、磷化铟衬底 5 万片、碳化硅衬底 12 万片、氮化镓衬底 2 万片、氧化镓衬底 1 万片；年产砷化镓外延片 18 万片、威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 2 重庆重大环境工程研究院有限公司 锗外延片 3 万片、磷化铟外延片 0.2 万片，光通信芯片 15 亿颗/年、3D 传感芯片 5亿颗/年的生产能力。该项目已经于 2018 年 6 月 7 日取得了万州经开区经济发展局关于半导体芯片产业化项目建设的备案证，备案证编号为 2018-500101-39-03-033000，同意该项目建设，并开展环评等前期工作。二、环境影响评价工作程序二、环境影响评价工作程序 根据 中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法 和 建设项目环境保护管理条例等有关规定，拟建项目需编制环境影响报告书，威科赛乐微电子股份有限公司于 2018 年 4 月委托重庆重大环境工程研究院有限公司承担该项目的环境影响评价工作。接受委托后，我公司安排相关专业技术人员多次进行现场踏勘和资料收集，按照环境影响评价技术导则及相关规范要求，编制完成了 威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书，敬请审查。三、主要关注的环境问题三、主要关注的环境问题 本项目生产过程中产生的主要污染源为酸雾废气（盐酸、硝酸、硫酸、氢氟酸）、有机废气、氨气、砷化氢、磷化氢、员工生活污水、含酸废水、含有机物废水、含砷废水、一般固体废物以及危险固废等，所有的废气、废水经处理后均可以达标排放，经影响预测对当地的环境影响很小；所有固废全部妥善处置，不造成二次污染。针对本项目的产排污特点和项目周围的环境特点，本项目的主要关注的环境问题和环境影响是：（1）大气污染物排放对当地大气环境的影响；（2）废气、废水、固废环保治理措施的技术经济可行性；（3）本项目环境风险控制情况以及可接受程度。四、产业政策符合性四、产业政策符合性 本项目属产业结构调整指导目录(2011 年)(2013 年修订)中“鼓励类”项目，符合 重庆市发展和改革委员会关于印发重庆市产业投资准入工作手册的通知（渝府发2018541 号）等文件要求；符合重庆市城乡总体规划、万州区城乡总体规划。拟建项目区域有足够的环境容量，拟建项目平面布局及环境防护距离设置合理，环境风险可控；满足重庆市人民政府办公厅关于印发重庆市工业项目准入规定（修威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 3 重庆重大环境工程研究院有限公司 订）的通知（渝办发（2012）142 号）的要求；拟建项目占地及评价范围内，不涉及生态保护红线，项目建设不违背环境质量底线和资源利用上线，不属于环境准入负面清单内限制的内容。五、环境影响评价结论五、环境影响评价结论 本次环境影响评价以工程分析为基础，以环境空气影响评价、环境保护措施及其技术经济论证、厂址选择合理性、公众参与、环境风险为评价重点，预测项目对区域环境可能造成的影响范围、程度，论证污染治理措施的可行性和可靠性，从环保角度对项目的可行性提出明确的结论性意见。根据环境影响评价：拟建项目建设符合国家产业政策；项目选址符万州经开区城市总体规划及入园条件，符合重庆市工业项目环境准入规定，符合重庆市产业投资注入工作手册；项目的环保治理措施恰当，正常生产时所排废气、废水污染物、产生的噪声对大气、地表水、声环境影响较小；项目投产后不会使现有环境质量发生明显的变化；拟建项目潜存泄漏中毒、火灾、爆炸等风险，通过采取相应的风险防范措施后，可将潜在的环境风险控制在环境可接受范围之内。因此，本评价认为，拟建项目在完成评价提出的各项环保设施和风险防范措施的前提下，从环境保护的角度看，该项目选址合理，建设可行。六、致谢六、致谢 报告书编制过程中得到了万州区环保局、重庆市环境工程评估中心、重庆市万州经开区管委会、广东先导稀材股份有限公司、重庆万林投资发展有限公司、威科赛乐微电子股份有限公司等单位的大力支持和帮助，在此一并致谢！威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 4 重庆重大环境工程研究院有限公司 1 总论总论 1.1 编制目的及原则编制目的及原则 1.1.1 评价目的评价目的（1）通过对本项目的工程分析，确定项目生产过程中的污染源特征，主要污染物及其产生量。（2）通过调查掌握本项目所在地自然环境及大气、水、噪声等主要环境要素的质量现状。（3）预测和评价本项目营运期对评价范围内大气、水、声等主要环境要素的影响范围及影响程度。（4）提出控制和缓解污染影响的环保措施、对策和建议，对环境保护措施的可行性作出明确的结论，作为本项目建设和环保管理的科学依据。1.1.2 评价原则评价原则（1）贯彻 国务院关于落实科学发展观加强环境保护的决定 和“达标排放”、“总量控制”原则，并符合国家的有关法律和法规；（2）坚持环评工作为环境管理服务的方针；（3）在保证环评工作质量的前提下，充分利用现有数据，满足工程需要；（4）评价内容力求主次分明，重点突出，数据准确可靠，污染防治及环境影响防治措施可行，结论明确可信。1.2 编制依据编制依据 1.2.1 国家法律、法规及政策文件国家法律、法规及政策文件（1）中华人民共和国环境保护法(2015 年 1 月 1 日期施行)；威科赛乐微电子股份有限公司半导体芯片产业化项目环境影响报告书 5 重庆重大环境工程研究院有限公司 （2）中华人民共和国环境影响评价法(2016 年 9 月 1 日施行)；（3）中华人民共和国大气污染防治法(2016 年 1 月 1 日施行)；（4）中华人民共和国水污染防治法（修订）(2018 年 1 月 1 日施行)；（5）中华人民共和国固体废物污染环境防治法（2016 年 11 月 7 日修正版）；（6）中华人民共和国环境噪声污染防治法(2015 年 6 月 27 日修订)；（7）中华人民共和国清洁生产促进法（2012 年修订）；（8）中华人民共和国水土保持法(2010 年修订)；（9）中华人民共和国城乡规划法(中华人民共和国主席令第 74 号)；（10）中华人民共和国水法(2016 年 7 月修订)；（11）中华人民共和国节约能源法(2016 年 7 月修订)；（12）产业结构调整指导目录(2011 年本)（2013 年修正）(国家发展改革委第 21 号令，2013 年 2 月 16 日)；（13）建设项目环境保护管理条例（国务院令第 253 号，1998 年）；（14）国务院关于修改建设项目环境保护管理条例的决定（国务院令第 682 号，2017 年）；（15）建设项目环境环境影响评价分类管理名录(生环部 1 号令)；（16）环境影响评价公众参与暂行办法(环发200628 号)；（17）关于进一步加强环境保护信息