xps 峰拟合规则及测试条件a.doc

XPS Peak 软件拟合数据的简单步骤:1. Excel 中的数据转换成 TXT 格式从 Excel 中的数据只选择要进行拟合的数据点， copy 至 txt 文本中，即 ABC 三列数据(其中 B 列为空的,只包含两列数据)2.XPS Peak41 中导入数据打开 xps peak 41 分峰软件 ,在 XPS Peak Fit 窗口中,从 Data 菜单中选择 Import (ASCII),即可将转换好的 txt 文本导入,出现谱线3.扣背底在打开的 Region 1 窗口中，点击 Backgrond ，选择 Boundary 的默认值，即不改变 High BE 和 Low BE 的位置，Type 一般选择 Shirley 类型扣背底4.加峰选择 Add Peak，选择合适的 Peak Type(如 s,p,d,f),在 Position 处选择希望的峰位，需固定时点 fix 前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM ）、峰面积等各项中的 constaints 可用来固定此峰与另一峰的关系如 W4f 中同一价态的 W4f7/2 和W4f5/2 的峰位间距可固定为 2.15eV，峰面积比可固定为 4:3 等，对于% Lorentzian-Gaussian 选项中的 fix 先去掉对勾，点击 Accept 完成对该峰的设置。

点 Delete Peak 可去掉此峰再选择 Add Peak 可以增加新的峰，如此重复加峰界面举例：对峰的限制 constraints，峰 1 的峰位=峰 0 峰位+1.55.拟合选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点 XPS Peak Processing 中的 Optimise All 进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise All合适图谱6.参数查看拟合完成后，分别点 XPS Peak Processing 窗口总的 Region Peaks 下方的0、1、2 等，可查看每个峰的参数，此时 XPS 峰中变红的曲线为被选中的峰如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点击 Optimise All7.XPS 存图点 Save XPS 可将谱图存为.xps 格式的图，下回要打开时点 Open XPS 可以打开这副图，并可对图进行编辑8.XPS 图的数据输出a.点击 Data 中的 Export（spetrum），可将拟合好的数据存为.dat 格式的 ASCII文件（该文件可用记事本打开），然后再 Origin 中导入该 ASCII 文件，可得到一个包含多列的数据表，这里需要注意的是每列的抬头名称出错（如.dat 文件中的 Raw Intensity 分开到两列中作为两列的抬头，即 Raw、Intensity ），这时需要根据做出的图与.xps 原始谱图比较，更改每列的名称，即可得到正确的谱图b.点击 Data 中的 Export（Peak Parameters ），即将各峰参数导出为 .par 格式的文件（也可用记事本打开），通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比c.点击 Data 中的 Export to clipboard，即将图和数据都复制到剪贴板上，打开文档（如 Word），点粘贴，即把图和数据粘贴过去，不过该图很不清晰d.点击 Data 中的 Print with peak parameters，即可打印带各峰参数的谱图峰拟合中的一些基本原则:1. 元素结合能数据可参考 http://srdata.nist.gov/xps/2. 对于 p、d、f 等能级的次能级（如 p3/2、p 1/2，光电子能谱中一般省略 /2，即为 p3、p 1）强度比是一定的，p 3:p1=2:1；d 5:d3=3:2，f 7:f5=4:3。

在峰拟合过程中要遵循该规则如 W4f 中同一价态的 W4f7 和 W4f5 峰面积比应为 4:33. 对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的，如同一价态的 W4f7 和 W4f5 之间的距离为 2.15eV 左右，Si2p3 和Si2p1 差值为 1.1eV 左右各元素能级分裂数据可参考网上数据库http://srdata.nist.gov/xps/Doublet_Sep.asp4. 全谱扫描((即 Survey)中各峰对应的元素能级参考附件 BE Lookup Table。