真空知识培训教材.doc

无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.真空理论知识培训拟制：许坤良目录：一. 基础知识：二. 往复式真空泵：三. 旋片式油封机械真空泵四. 罗茨式真空泵：五. 分子真空泵：六. 油扩散泵：七. 低温泵：八. 真空泵流量的测量方法九. 冲洗抽气法：第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.一•基础知识：1.真空及其度量：真空一般是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态在真空状态下，气体的稀薄程度，通常用气体的压力值来表示真空的主要特性真空状态同正常的大气状态相比较，气体较为稀薄，即单位体积内的分子数目较少，分子之间或分子与其他质点（如电子、离子）之间的碰撞几率减少分子在单位时间内碰撞于单位表面积（如器壁）上的次数也相对减少分为：“自然真空”和“人为真空”人为真空---是指人们对一个容器进行抽气而获得的真空空间气体的稀薄程度叫真空度真空度可用气体压强、分子密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间来描述，在真空科学与技术中，通常都用气体的压强来表示。

气体压强越低，真空度越高2.换算关系：1atm=1.01325*105Pa（1Pa=1N/m2）（760mmHg）latm=760mmHg=760Torr（标准大气压）1Torr=133.322Pa（1Pa=7.5*10-3Torr=0.0075Torr=7.5mTorr）lbar=l05Pa=750TorrlPa=7.5mTorrlmbar=750mTorr3. 各真空区域的物理特性及应用：低真空：l*l05Pal*l02Pa=0.75Torr=750mTorr中真空：l*l02l*l0-lPa=0.75mTorr高真空：l*l0-ll*l0-6Pa=7.5mTorr第2页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.超高真空：l*10-6---l*10-i2Pa极高真空：小于10-12Torr3.1低真空(1*105Pa-----1*102Pa)在低真空状态下，气态空间的特性和常压时相比，没有明显的不同气体分子仍以杂乱无章的热运动为主，气体分子间的相互碰撞十分频繁3.2中真空(1*1021*10-1Pa)在中真空状态下，由于压强较低，气体分子的密度和常压相比已有很大差别。

气体的对流现象完全消失气体流动也逐渐从粘滞流状态过渡到分子流态，即气体分子的动力学性质更为明显气体中的带电粒子在电场作用下将会产生定向运动，若与气体分子碰撞使之电离，即发生“气体导电”现象3.3高真空(1*10-11*10-6Pa)高真空时气体分子密度更加降低，分子之间的碰撞次数很少气体流动状态完全呈现分子流态空间的任何物体和残余气体分子的化学作用已经接近于零3.4超高真空(1*10-6---1*10-12Pa)在超高真空区域，气体分子是以在固体表面吸附为主，表面物理化学为决定物理本质的基本规律4. 真空泵性能的表示法：1) 极限压力将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续地抽气，当容器内的气体压力不再下降，而维持某以定值时，此压力即为泵的极限压力Pa2) 流量在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量流量的单位用压力*体积/时间来表示(PaM3/h)通常泵要给出流量与入口压力的关系第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.曲线3) 抽气速率在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。

4) 抽气的概念若真空容器所有的内表面上无气体的吸附和脱附现象发生，这种抽气过程称作理想状态的抽气过程容器内气源产生的气体量为》Q(Pam3)=Q+Qd+Q+Qb+Qldpbr式中：Q]漏气量；Qd容器内表面吸附气体的脱附量；dQp容器内部的扩散或渗透的放气量；pQb泵向真空容器的返流气体量；bQr真空容器内装配的机构的放器量；r为了获得超高真空，烘烤这道工序是必不可少的因为温度高了，气体分子在表面上滞留时间短了，短时间Q能快速下降在250-450条件下烘烤比不烘烤，压力能够下降3-4个数量级除掉水蒸气后，残余气体多为金属中溶解的氢气了容器内压力p不能继续下降的原因是》Q引起的在容器不漏气的情况下，极限压力取决于表面放气率5. 真空泵的分类：5.1气体输送泵：它是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵5.1.1变容真空泵：是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气、压缩和排气的装置1) 往复式真空泵利用泵腔内活塞的往复运动，将气体吸入、压缩并排出活塞式真空泵)第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.2) 旋转式真空泵-----利用泵腔内活塞的旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。

♦油封式机械泵♦干式真空泵----排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵♦液环真空泵♦罗茨真空泵----泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶或多叶形的转子，转子间、转子与泵壳内壁之间均保持有一定的间隙它属于无内压缩式的真空泵5.1.2动量传动式真空泵：是利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使之吸入、压缩、排气的一种装置1) 分子真空泵它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵♦牵引分子泵----高速旋转的转子表面与气体分子相碰，把动量传输给气体分子，将气体分子拖动到泵的出口排出♦涡轮分子泵----泵内装有多级带槽的圆盘或叶片的转子，在定子圆盘(或定片)间旋转，转子的圆周线速度很高，这种泵通常在分子流状态下工作♦复合式分子泵-----它是由涡轮分子泵和牵引式分子泵，优化组合，串联起来工作的一种真空泵2) 喷射真空泵它是利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到泵出口的一种动量传输泵♦水喷射泵♦气体喷射泵♦蒸汽喷射泵3) 扩散泵以油或汞蒸汽作为工作介质第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.5.2气体捕集泵：它是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵1) 吸附泵它主要依靠具有大面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

2) 低温泵利用低温表面来冷凝捕集气体的真空泵6. 真空泵的技术术语：除主要特性、极限压力、流量和抽气速率之外，还有以下有关性能和参数：1) 启动压力泵无损坏启动并有抽气作用时的压力2)前级压力---排气压力低于101325Pa的真空泵出口压力3) 最大前级压力超过它能使泵损坏的前级压力4) 最大工作压力对应最大流量的入口压力在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏5) 压缩比泵对给定气体的出口压力与入口压力之比6) 何氏系数7) 抽气系数---泵的实际抽气速率与泵入口面积按分子泻流计算的理论抽气速率之比8) 返流率泵在规定条件下工作时，与抽气方向相反而通过泵入口的单位面积、单位时间的泵液的质量流率9) 水蒸气允许量在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气的质量流率10) 最大允许水蒸气入口压力在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压力第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.7. 真空泵的用途：1)主泵---在真空系统中，用来获得所要求的真空度的真空泵2) 粗抽泵---从大气压开始，降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵。

3) 前级泵用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵前级泵也可以做粗抽泵使用4) 维持泵在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵，维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵5) 粗(低)真空泵从大气压开始，降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵6) 高真空泵在高真空范围内工作的真空泵7) 超高真空泵---在超高真空范围内工作的真空泵8) 增压泵装于高真空泵和低真空泵之间，用来提供抽气系统在中间压力范围内的抽气量或降低前级泵容量要求的真空泵(如机械增压泵和油增压泵等)第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.二•往复式真空泵：1.概述：往复式真空泵（简称往复泵）又名活塞式真空泵，属于低真空获得设备之一往复式真空泵从结构形式上可分立式和卧式两种；从级数上可分单级、双级和四级泵；从抽气方式上可分为单作用和双作用；从润滑方式上可分有油和无油的一般单级泵可获得极限压力为1330—2660Pa,双级泵极限压力可达4—7Pa,三级泵极限压力可达0.1—2.6Pa（19.5mTorr）。

主要用在石油、化工、医药、食品、轻工、冶金、电气、宇航模拟等领域2.往复泵的结构和工作原理：结构：主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助材料工作原理：运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减少，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔当活塞达到最右位置时，气缸左腔内就完成充满了气体第#页共24页无锡华润晶芯半导体有限公司WuxiChinaResourcesSemiconductorWafers&ChipsLtd.=:、、:率I接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时，排气阀被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环当活塞再自左向右运动时，有重复一循环，如此反复下去，被抽容器内最终达到某一稳定的平衡压力3.往复泵的主要性能参数：3.1抽气速率-----影响抽速的因素较多，主要是入的取值（吸气温度系数）；入的取值（吸气压力系数）；入的取值（相对容积系数）；入的取值（泄漏系数）。

极限压力：丄吸、排气阀的阻力损失丄余隙容积丄曲轴的转速及活塞行程往复泵的转速不宜太高，转速高了，在一定的抽气速率下，行程就短，为装气阀缸径又不能太小，则会引起余隙容积增大，膨胀线和压缩线变短，对提高真空度不利丄填料密封的性能填料密封性能的好坏对泵的真空度影响较大，密封不好，空气会漏入气缸，降低泵的真空度日本设计的无油润滑往复式真空泵的填料采用了。