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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,导 师：黄佐华,报告人：宋亚杰,偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究,目录,主要参考文献,5,论文综述及问题提出,1,论文的理论基础,2,论文计划、进度及待解决的问题,3,研究的基本内容,4,至今人们提出了多种方法：,椭圆偏振测量法、,干涉测量法、,光谱法,阿贝勒,(Abeles),方法、,棱镜耦合法,偏振光反射法,1.,问题研究方法概况,外差干涉测量、等厚干涉法、测量干涉色测量,透射光谱法,反射光谱法,1989,年日本的,Tami Kihara,和,Kiyoshi Yokomori,首次提出通过测量薄膜的反射率可以同时求解出薄膜的厚度和折射率宋敏,研究的理论依据,第一章绪论,1.1,薄膜技术的发展及应用,1.2,薄膜参数测量方法综述,1.3,本论文的研究背景、目的及意义,1.4,本论文主要内容及安排,4.,论文的基本内容：,3.,论文的基本内容：,第二章基于反射法薄膜参数测量系统原理,2.1,单层薄膜的多光束干涉原理,2.2,反射法测定薄膜光学参数原理,2.3,薄膜测量系统装置,4.,论文的基本内容：,第三章优化算法,3.1,三点拟合算法,3.2,多点拟合算法,3.3,逐次逼近拟合算法,3.4,三种算法精度对比,1,、优化算法,2,、光路系统的搭建,3,、实验光路的改进与优化,4,、能精确测量镀膜参数的范围，膜和衬底的选取,突破的难点：,恳请各位老师同学提出宝贵意见！,3,.,论文计划、进度及待解决的问题,1,、论文计划,（,1,）,2011,062011,08,模拟噪声存在时的测试情况。

反射法测量光路的设计及搭建实验平台2,）,2011,082011,10,进行反射法测试实验，从中发现问题并对其逐步完善，反射光强信号的探测及其处理，数据的反演3,）,2011,102012.05,进行论文的撰写4,）,2012.052012.06,审查答辩2,、论文进度：,理论部分，优化了反射法测量薄膜参数的算法推导出反射法测量薄膜参数的公式完成了模拟实验实验部分，完成实验平台的搭建3,、,论文计划、进度及待解决的问题,第五章模拟与实验,5.1,1S,偏振光模拟,5.1,单层薄膜实验模拟,5.1,2P,偏振光模拟,5.1,3,两种偏振光精度对比,5.2,1,二氧化硅膜，硅衬底,5.2,单层薄膜实测数据,5.2,2,二氧化硅膜，玻璃衬底,5.2,3PMMA,膜，玻璃衬底,5.3,多层薄膜实验数据,5.4,测试结果分析,第六章 全文总结与展望,3,、,论文计划、进度及待解决的问题,第四章薄膜测量系统和软件,4.1,薄膜测试系统硬件介绍,4.2,薄膜测试系统软件介绍,3,、待解决的问题：,（,1,）实验平台的改进与优化2,）理论上进一步优化算法3,）通过前期的实验，对实验平台存在的不足进行改进与完善。

论证改进性能的方法及工作的展望4,、主要参考文献：,。