IC FAB 厂务系统简介.ppt

IC FAB 廠務系統簡介H:\OK000\PUBOK000\PUBLIC\訓練課程教材\SCLIU\FAB-3廠務系統介紹.pptIC FAB / 廠務供應系統酸/鹼 化學藥品 供應站有機溶劑 供應站清潔用 真空廢氣處理 Acid Scrubber Solvent VOC空調 設施UPWDI 回收軟 水 裝 置自來水 儲存槽 (20000m3)設備冷卻水 供應系統208V/480V 電力供應站特殊氣體供應站CDA廢水中和處理站HF 處理站有機溶劑 收集槽維修區/製造支援區潔淨室 (IC 製造設備)CIM + 晶片自動傳送潔淨室 (IC 製造設備)液態氮 液氧 液氬 氦氣 氫氣補 充 空 氣熱 水 ︵ 蒸 氣 ︶廢氣冰 水ROpcw酸/鹼H2SO4 回收有機溶劑IPA 再生系統廢 溶 劑 光 阻 劑酸 鹼 廢 水廢HF260\scliu\fac\FACTTSYS1.PPT, @2000\05\02.清 洗 用 水接地系統大地科管局 廢水/污水 處理站合格環保 處理公司供 應 商氣体供應商氮氣供應商台灣 電力公司 變電站新竹自水公司 (上坪溪) (竹東大圳) (寶山水庫) (永和山水庫) 園區儲水池 園區加壓站合格環保 廢棄物 處理公司濃縮污泥供 應 商供 應 商溪溫水衛生排水設備用 真空柴油 儲槽供應商TFMS/TFPSFuel 天然瓦斯 LPG / 柴油Fire Detection  0.5 mG (AC).ESD (Planar Ground)In between 106 and 108  ; Voltage +/- 50V.Grounding GridProcess Power supply R  5 ; Lighting R  10 .Lighting LevelProcess : 750 Lux ; Other areas 300 - 600 Lux.file: scliu\mf3\fepc1.ppt, @19991005,2000/03/06.General FAB CR Requirement Floor loading: >2000 kg/m2Particle recovery: 60 cycles/hrfile:scliu\fab3\fac-cr1.ppt, @5000\05\04.Vibration 125u“/s @2-250Hz (FAB/M) 500u“/s @2-250Hz (FAB/U) 500u“/s @2-250Hz (SUP)Particle Class-100T/@0.3um (Ball Room) Class-0.1/@0.1um(SMIF)Contamination (NH3,Cl2,HF,Na,TOC) 300 kgfBoron less or Boron freeDI Purity ≦ 1 ppb Ion ≦ 0.1 ppb 22±1℃*Chemicals Purity ≦ 1 ppb Class-1, @ 0.1um (>20LPM)RO 3 kg/cm2 ( for local scrubber )ELECTRICAL208V±10%480V±10% ( Non-Shutdown )B-GAS Purity≦ 1 ppb Class-1, @ 0.1um*S-GAS Purity≦ 1 ppb Mix ≦ ± 1% Class-1, @ 0.1umPVAC 65-130 mbar (absolute)Ground2000mg/lF > 15mg/lYesNoYesNoConsists of FYes* IPA DrainWaste Drain ?DI ReclaimIPA >80%TOC >?2mg/lYesNoYesNoConsists of IPANoYes* Solvent DrainWaste Drain ?DI ReclaimSolvent >80%TOC >?2mg/lYesNoYesNoSolvent Not Incl. IPAYesWaste DrainFDA ReclaimAcid / Alkali >3000us/cmNoYesNoNopu\drainrule1.ppt, @2002\05\01.“ drain line with water seal & exhaust ”EQAcid / Alkali >?800us/cm DI ReclaimYesCLF01 SUGAI FRE-FURNACE CLEANER第 1 槽第 2 槽第 3 槽第 4 槽第 5 槽第 6 槽第 7 槽第 8 槽NH4OHH2O2HFDIWDIWIPA第 9 槽DIWDIWH2O2CDI WHDI WDIWC/CHFO/FSC-1H/C QDRSC-2H/C QDRF/RIPAHDI WHCLHDI WDr-HFDr-RDr-IPADr-WDr-IPADr-HF(W)Dr-HFDr-IPA Dr-IPADIWDr-HFDr-WDr- WDr-HFDr-WDr- FDADr- WasteDr-RDr-RDr-RDr- WDr-RDr-ReclaimDr-WIPA SCRUBBERDr- WDr-IPADr-HFpu\fab3wreq1.pptDr-FDAFSI Water ReclaimPROCESS CONSOLECANISTER CONSOLECANISTER CONSOLEDr-HF ? Dr-Solvent ? Dr-HF ?Dr-HF ?Dr-HF ?Dr-ReclaimDr-HF(W)Dr-WasteHFH2SO4HCLNH4OHH2O2IPApu\fab3wreq1.pptDr-HF (S)Dr-FDA*RS*RS: RS meter。