半导体测试器件与芯片测试.ppt

第七章第七章 半导体器件测试半导体器件测试一、半导体器件简介一、半导体器件简介 半导体器件半导体器件（semiconductor device）是利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的器件为了与集成电路相区别，有时也称为分立器件半导体分立器件是集成电路的功能基础 半导体器件主要有半导体器件主要有: :二端器件二端器件和和三端器件三端器件 二端器件二端器件: : 基本结构是一个PN结 可用来产生、控制、接收电信号； pnpn结二极管、肖特基二极管结二极管、肖特基二极管 三端器件三端器件: : 各种晶体管 可用来放大、控制电信号； 双极晶体管、双极晶体管、MOSMOS场效应晶体管场效应晶体管等（一）（一）半导体半导体二极管二极管 图 半导体二极管的结构及符号（c）集成电路中的平面型结构; （d）图形符号一般二极管和稳压二极管一般二极管和稳压二极管• 一般二极管一般二极管：主要利用二极管的正向导通、反向截止的特性，实现整流、检波、开关等作用。

符号标注：• 稳压二极管稳压二极管：： 利用PN结在一定的反向电压下,可引起雪崩击穿.这时二极管的反向电流急速增大，但反向电压基本不变但反向电压基本不变. 因此，可以作为稳压电源使因此，可以作为稳压电源使用用反向击穿电压数值在反向击穿电压数值在40V以上的是二极管，低于以上的是二极管，低于40V的稳压管的稳压管符号符号图一普通二极管，第一个是国内标准的画法；图二双向瞬变抑制二极管；图三分别是光敏或光电二极管，发光二极管；图四为变容二极管；图五是肖特基二极管；图六是恒流二极管；图七是稳压二极管； 双极型晶体管的几种常见外形（a）小功率管 （b）小功率管 （c）中功率管 （d）大功率管 双极型晶体管又称三极管电路表示符号：BJTBJT根据功率的不同具有不同的外形结构二）（二）半导体半导体三极管三极管三极管的三极管的基本结构基本结构BECNNP基极基极发射极发射极集电极集电极NPN型型PNP集电极集电极基极基极发射极发射极BCEPNP型型 由两个掺杂浓度不同且背靠背排列的PN结组成，根据排列方式的不同可分为NPN型和PNP型两种,每个PN结所对应区域分别称为发射区、基区和集电区。

BECNNP基极基极发射极发射极集电极集电极基区：较薄，掺杂浓基区：较薄，掺杂浓度低度低集电区：集电区：面积较大面积较大发射区：掺发射区：掺杂浓度较高杂浓度较高BECIBIEICNPN型三极管型三极管BECIBIEICPNP型三极管型三极管制成晶体管的材料可以为制成晶体管的材料可以为Si或或Ge 图三极管电路的三种组态（a）共发射极接法;（b）共基极接法;和各极电流（c）共集电极接法2、三极管的工作模式、三极管的工作模式放大需要的电源接法 （a）NPN型; （b）PNP型•工作的基本条件：工作的基本条件：•EB结正偏；结正偏；•CB结反偏•VCC>VBB >VEE场效应晶体管（Field Effect Transistor,简称FET）是与双极性晶体管工作原理不同双极性晶体管双极性晶体管是利用基极电流控制集电极电流，电流控制型电流控制型的放大元件带有正电荷的空穴及负电荷的电子，具有放大功能的意义，故称为双极性MOSFET是利用栅极电压来控制漏极电流的电压控制型电压控制型的放大元件。

FET的特征是在低频带有极高的输出阻抗为1011～1012Ω（MOS FET更高）另外，FET比双极性晶体管噪音小，可作为功率放大器使用三）（三）MOS晶体管晶体管结构和电路符号结构和电路符号PNNGSDP型基底型基底两个两个N区区MOS结构结构N沟道增强型沟道增强型GSDN 沟道耗尽型沟道耗尽型PNNGSD预埋了导预埋了导电沟道电沟道 GSDNPPGSDGSDP 沟道增强型沟道增强型P 沟道耗尽型沟道耗尽型NPPGSDGSD予埋了导予埋了导电沟道电沟道 MOSFET 的分类和符号NMOSPMOS增强型耗尽型增强型耗尽型衬底pnS/Dn+p+载流子电子空穴VDS+IDSD  SS  D载流子运动方向S  DS  DVT++符号GDBSGDBSGDBSGDBS二二、、半导体半导体器件的性能测试器件的性能测试l 二极管的测试l 双极晶体管测试l MOS结构C-V特性测试1、、 二极管的主要测试参数二极管的主要测试参数（一）（一） 二极管的二极管的性能性能测试测试二极管二极管I-V特性特性稳压二极管稳压二极管发光二极管发光二极管硅管的正向管压降一般为，锗管的正向管压降则一般为。

图图图图2、、 二极管的二极管的I-V测试测试测试电路测试电路测试设备测试设备—晶体管参数测试仪晶体管参数测试仪1、三极管的主要测试参数、三极管的主要测试参数•共射极增益（电流放大系数）共射极增益（电流放大系数） 交流工作时： 直流工作时：•穿透电流穿透电流ICEO、ICBO•反向击穿电压反向击穿电压•集电极最大允许电流集电极最大允许电流ICM•集电极最大允许功率损耗集电极最大允许功率损耗PCM （二）双极型晶体管（二）双极型晶体管I-V特性测试特性测试图图7.2 共射双极型晶体管的放大特性共射双极型晶体管的放大特性图图 共射双极型晶体管反向击穿特性共射双极型晶体管反向击穿特性2、双极晶体管的性能测试、双极晶体管的性能测试 图图7.16 测试设备测试设备—晶体管参数测试仪晶体管参数测试仪三三、、MOS结构的结构的C-V特性测试特性测试 C-V特性特性测试简介介l MOS（金属－氧化物－半导体）结构的电容是外加压的函数，MOS电容随外加容随外加电压变化的曲化的曲线称之称之为C-V曲曲线，，简称称C－－V特性特性C-V曲线与半导体的导电类型及其掺杂浓度、SiO2-Si系统中的电荷密度有密切的关系。

l 利用实际测量量到的MOS结构的C-V曲线与理想的理想的MOS结构的 C-V特性曲线比较，可求得氧化硅氧化硅氧化硅氧化硅层层厚度厚度厚度厚度、、衬衬底底底底掺杂浓掺杂浓度度度度、、氧化氧化氧化氧化层层中可中可中可中可动电动电荷面密度和固定荷面密度和固定荷面密度和固定荷面密度和固定电电荷面密度荷面密度荷面密度荷面密度等参数l在集成电路特别是MOS电路的生产和开发研制中，MOS电容的C-V测试是极为重要的工艺过程监控测试手段，也是器是器件、件、电路参数分析和可靠性研究的有效工具路参数分析和可靠性研究的有效工具  1、、MOS结构的电容模型结构的电容模型氧化层电容氧化层电容氧化层氧化层半导体表面感应的空半导体表面感应的空间电荷区对应的电容间电荷区对应的电容• MOS电容是电容是Co和和Cs串联而成，总电容串联而成，总电容C: ——与氧化层其厚度成反比，而与外加偏压VG无关——由空由空间电荷区荷区单位面位面积电量量Qs随表面随表面势Vs的的 变化率大小而定化率大小而定 2、、MOS结构的结构的C-V特性特性P型衬底的型衬底的MOSP型衬底型衬底绝缘体（氧化物绝缘体（氧化物））－－ －－ －－ －－ －－ －－＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ b.较小正栅压下较小正栅压下负栅压P型衬底型衬底绝缘体（氧化物）绝缘体（氧化物）＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋－－－－－－引起空间电荷区引起空间电荷区正栅压 a. 负栅压下负栅压下当正偏压较小时，此时半导体表面空间区电容Cs对总电容的贡献不能忽略，与Cox串联的结果使总电容C变小。

栅压VG越大，耗尽层宽度变宽，Cs越大，总电容越小P型衬底的型衬底的MOSc.较大正栅压下较大正栅压下P型衬底型衬底绝缘体（氧化物）绝缘体（氧化物）＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋ ＋＋－－－－－－引起空间电荷区引起空间电荷区正栅压 反型时，耗尽区宽度基本不增加，达到了一个极大值，总电容C达到极小值Cmin P型衬底的型衬底的MOS C-V特性特性l 半导体与二氧化硅界面之间的电荷充放电时间常数较长，通常大于10-6s，所以界面态电容只在低频或准静态情形下对所以界面态电容只在低频或准静态情形下对MOSMOS电容有贡献电容有贡献对于1MHz的高频高频C-VC-V测量，通常不考虑界面测量，通常不考虑界面态电容的影响态电容的影响高频高频C-V测试和低频测试和低频C-V测试的差别测试的差别 N型衬底型衬底MOS的高频和低频的高频和低频C-V特性特性P型衬底MOS： i. 加负栅压时，半导体与氧化层界面出现空穴堆积，对应最大电容 ii. 加正栅压时，半导体与氧化层界面出现空穴耗尽，对应最小电容N型衬底MOS： i. 加正栅压时，半导体与氧化层界面出现空穴堆积，对应最大电容 ii. 加负栅压时，半导体与氧化层界面出现空穴耗尽，对应最小电容P型和型和N型半导体衬底型半导体衬底MOS结构的结构的C-V特性差异特性差异 3、几个概念和计算公式、几个概念和计算公式 （（1）平带电压）平带电压VFB和平带电容和平带电容CFB 表面处不发生能带弯曲，此时QSC=O.这种状态称之为平带状态，总MOS电容称为平带电容。

在MOS结构C-V测试中，是一个很有用的参数，用它可以定出实际C-V曲线的平带点（（2）平带电容）平带电容CFB的计算公式：的计算公式： l 在实际的MOS结构中，由于SiO2中总是存在电荷（通常是正电荷），且金属的功函数和半导体的功函数通常并不相等，所以所以平带电压平带电压V VFBFB一般不为零一般不为零金属可以通过交换电荷，这些因素对MOS结构的C-V特性产生显著影响若不考虑界面态的影响 （（3）氧化层固定电荷对平带电压）氧化层固定电荷对平带电压VFB的影响的影响氧化层正的固定电荷越多，平带电压负值越大氧化层正的固定电荷越多，平带电压负值越大，整个C-V曲线向更负电压推移（（4）氧化层厚度）氧化层厚度tox，由测试的最大电容，由测试的最大电容C max确定确定:(5)半导体掺杂浓度半导体掺杂浓度: 根据根据Cmin/Cox或或CFB/Cox的电容比确定的电容比确定实验设备实验设备 所用仪器设备主要包括三部分:l测试台(包括样品台、探针、升温和控温装置等)l高频（1MHz或更高）hp4275A C-V测试仪l计算机实验内容实验内容 第七章第七章 复习题复习题1 1、二极管、二极管的的I-VI-V特性特性可以给出哪些电学参数？画图说明。

可以给出哪些电学参数？画图说明2 2、画出、画出SiSi三极管的共射极工作模式，并简述如何对其进行三极管的共射极工作模式，并简述如何对其进行I-I-V V特性测量特性测量，求取放大倍率，求取放大倍率3 3、、理解理解MOSMOS结构结构的电容模型以及总电容随栅极电压变化的趋的电容模型以及总电容随栅极电压变化的趋势原理画图比较画图比较p p型型SiSi衬底衬底MOSMOS和和n n型型SiSi衬底衬底MOSMOS在高频下在高频下C-VC-V特性的差异特性的差异4 4、利用、利用MOSMOS的的C-VC-V特性可以计算或评估特性可以计算或评估MOSMOS结构的哪些参数？结构的哪些参数？理解其求取过程和方法理解其求取过程和方法。